一种半导体硅片用的双排石英舟及其加工装置制造方法及图纸

一种半导体硅片用的双排石英舟，属于半导体加工技术领域，包括石英片和转板，转板上固定安装有转轴，转板与石英片转动安装，通过调节转杆将若干个石英片串起来，一种半导体硅片加工装置，包括推出装置，推出装置用于将待加工的硅棒推出并进行夹持，推出装置上设置有作业装置，作业装置上设置有双排石英舟，作业装置用于将硅棒加工成硅片，并将硅片安放在双排石英舟上。本发明专利技术设置的推出装置能够将硅棒不断推出，且对硅棒进行夹持，便于作业装置对硅棒进行不断地线切割形成一片一片硅片，自动化程度高，制造效率高；半导体硅片用的双排石英舟，设置有双排石英舟，每排石英舟设置有多组石英片，通过夹片进行夹紧，使用方便。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体加工，特别涉及一种半导体硅片用的双排石英舟及其加工装置。

技术介绍

1、石英舟半导体是一种在半导体制造过程中会使用到的设备，通常用于承载和运输半导体芯片，石英舟被用于将半导体芯片放置在加热器或反应器中，以便进行各种化学和物理处理。石英舟通常由耐高温、耐腐蚀的石英材料制成，在恶劣的制造环境下也能够保持稳定。此外，石英舟还具有高纯度、低杂质的特点，以确保生产出的半导体芯片具有高质量和高可靠性。近年来，随着半导体行业的飞速发展，半导体硅片的生产工艺不断进化和完善，为各种电子器件的性能提升和应用拓展创造了无限可能。公开号为cn115464485a的中国专利技术专利申请公开了一种半导体硅片加工专用磨轮打磨设备，该现有技术利用传动机构对切割完成的硅片进行打磨属于线割的后续工艺，并未涉及半导体硅片如何进行加工以及安置在相应的石英舟中；

技术实现思路

1、针对上述技术问题，本专利技术采用的技术方案为：一种半导体硅片用的双排石英舟，包括石英片和转板，转板上固定安装有转轴，转板与石英片转动安装，通过调节转杆将本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体硅片用的双排石英舟，包括石英片（201）和转板（204），其特征在于：转板（204）上固定安装有转轴（205），转板（204）与石英片（201）转动安装，通过调节转杆（202）将若干个石英片（201）串起来，调节转杆（202）上滑动安装有夹片（203），调节转杆（202）上设置有正螺纹（2021）和反螺纹（2022），正螺纹（2021）和反螺纹（2022）螺纹方向相反，夹片（203）与正螺纹（2021）和反螺纹（2022）形成螺纹传动，且相邻的两个夹片（203）的内螺纹方向相反，调节转杆（202）上转动安装有限位杆（206）。

2.一种半导体硅片加工装置，包括推...

【技术特征摘要】

1.一种半导体硅片用的双排石英舟，包括石英片（201）和转板（204），其特征在于：转板（204）上固定安装有转轴（205），转板（204）与石英片（201）转动安装，通过调节转杆（202）将若干个石英片（201）串起来，调节转杆（202）上滑动安装有夹片（203），调节转杆（202）上设置有正螺纹（2021）和反螺纹（2022），正螺纹（2021）和反螺纹（2022）螺纹方向相反，夹片（203）与正螺纹（2021）和反螺纹（2022）形成螺纹传动，且相邻的两个夹片（203）的内螺纹方向相反，调节转杆（202）上转动安装有限位杆（206）。

2.一种半导体硅片加工装置，包括推出装置，其特征在于：所述的推出装置包括托架（101），所述的推出装置用于将待加工的硅棒推出并进行夹持，所述的推出装置上设置有作业装置，所述的作业装置包括外架（301）和切换电机（319），外架（301）与托架（101）固定安装，所述的作业装置上设置有双排石英舟，所述的双排石英舟包括石英片（201）和转板（204），转板（204）上固定安装有转轴（205），转板（204）与石英片（201）转动安装，通过调节转杆（202）将若干个石英片（201）串起来，调节转杆（202）上滑动安装有夹片（203），调节转杆（202）上设置有正螺纹（2021）和反螺纹（2022），正螺纹（2021）和反螺纹（2022）螺纹方向相反，夹片（203）与正螺纹（2021）和反螺纹（2022）形成螺纹传动，且相邻的两个夹片（203）的内螺纹方向相反，调节转杆（202）上转动安装有限位杆（206），所述的作业装置用于将硅棒加工成硅片，并将硅片安放在双排石英舟上。

3.根据权利要求2所述的一种半导体硅片加工装置，其特征在于：所述的推出装置包括滑动安装在托架（101）上的滑动板（104），滑动板（104）上滑动安装有推块（126），推块（126）与滑动板（104）之间设置有推块弹簧（127），托架（101）上放置有硅棒（105），托架（101）上固定安装有推进电机（102），托架（101）上转动安装有推进丝杆（103），推进电机（102）的电机轴与推进丝杆（103）固定安装，推进丝杆（103）与滑动板（104）形成螺纹传动，滑动板（104）上转动安装有上转杆（106）和下转杆（119），上转杆（106）上转动安装有上挡圈（109），托架（101）上固定安装有上导柱（107），上挡圈（109）滑动安装在上导柱（107）上，上导柱（107）与上挡圈（109）之间设置有导柱弹簧（108），托架（101）上固定安装有上固定圈（112）和下固定圈（118），上挡圈（109）上固定安装有上齿条（110），下固定圈（118）上固定安装有下柱（129），下柱（129）上滑动安装有下挡圈（120），下挡圈（120）上固定安装有下内齿条（128），下转杆（119）与下挡圈（120）转动安装，上固定圈（112）上设置有夹持机构。

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【专利技术属性】
技术研发人员：汤芳，常永喜，张勇，孙秋谨，
申请(专利权)人：浙江浩锐石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：