下载一种半导体硅片用的双排石英舟及其加工装置的技术资料

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一种半导体硅片用的双排石英舟,属于半导体加工技术领域,包括石英片和转板,转板上固定安装有转轴,转板与石英片转动安装,通过调节转杆将若干个石英片串起来,一种半导体硅片加工装置,包括推出装置,推出装置用于将待加工的硅棒推出并进行夹持,推出装置上...
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