一种太阳能电池硅片扩散用立式石英舟制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体技术领域，且公开了一种太阳能电池硅片扩散用立式石英舟，包括五边形板、推拉环、顶杆、上开槽棒、下开槽棒、侧板、底板、底杆、舟槽、卡套以及沟槽，在使用时，首先将卡套卡接在沟槽内，之后将硅片放置在上开槽棒以及下开槽棒上开设的舟槽中，通过钩杆钩住推拉环将其推入加热区进行加热，卡套与硅片厚度相契合，可以保证硅片扩散加工时不会出现晃动剐蹭，导致残次品增多，而卡套在多次使用后可以进行更换，不需要经常更换石英舟，变相减少了硅片的加工成本。相减少了硅片的加工成本。相减少了硅片的加工成本。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池硅片扩散用立式石英舟


[0001]本技术涉及半导体
，具体为一种太阳能电池硅片扩散用立式石英舟。

技术介绍

[0002]在太阳能电池的生产制造过程中，常需要用一种工具用作硅片传送、清洗及加工，这种承载硅片的工具一般称为晶舟，其上会设置有多个晶圆槽，每一个晶圆槽用来放置一片硅片，在半导体晶片的制造过程中，炉管的扩散制程是基本制程之一，扩散制程中，就是先将多片硅片放于一个石英舟上，再将石英舟放在炉管内进行批次制造。
[0003]普通石英舟都是长方形的或长条型，而且其舟槽都是垂直其轴心线方向；舟槽的宽度会大于硅片的厚度,舟槽的宽度等于硅片的厚度时，舟槽在插拔过程中会与硅片存在摩擦，损伤硅片，因此舟槽的宽度要大于硅片的厚度以保证硅片方便放置同时避免舟槽与硅片之间存在不必要摩擦划割，但是这样也会造成硅片放在石英舟里面并不是完全垂直的，会有一定的倾斜,随着石英舟的使用,舟槽的宽度会有一定程度的增大，当舟槽宽度增大后,装在石英舟上的硅片的倾斜度也会增大,相邻的硅片如果倾斜到一定程度,硅片上面就容易搭到一起，为了避免舟槽在插拔过程中会与硅片存在摩擦，损伤硅片，为此我们提出了一种太阳能电池硅片扩散用立式石英舟。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种太阳能电池硅片扩散用立式石英舟，解决了上述的问题。
[0005]为实现上述所述目的，本技术提供如下技术方案：一种太阳能电池硅片扩散用立式石英舟，包括五边形板、推拉环、顶杆、上开槽棒、下开槽棒、侧板、底板以及底杆，两组所述五边形板背侧中心处皆固定安装有推拉环，两侧所述五边形板中间两个拐角处均焊接有顶杆，所述五边形板底部的两个拐角处焊接有底杆,所述五边形板侧面对应顶杆与底杆之间焊接有上开槽棒，两侧所述五边形板底部设置有下开槽棒，所述上开槽棒以及下开槽棒靠近中心点的一侧等距开设有多组用于放置电池硅片的舟槽，所述舟槽的上端卡皆有卡套（10），所述卡套共有六组，分别卡接在每段舟槽上。
[0006]优选的，所述上开槽棒背侧分段焊接有若干组侧板，两侧所述五边形板底部分段焊接有底板，所述底板中心处焊接有下开槽棒。
[0007]优选的，所述侧板以及底板宽度为石英舟总长的10%，所述侧板以及底板分别焊接在石英舟两端以及中心点上，所述下开槽棒固定安装在底板上，分三段式对装置提供足够的支撑，同时又不会因为占用过多位置导致硅片加热不均匀。
[0008]优选的，两侧所述上开槽棒的上沿开设有沟槽，所述卡套卡接在沟槽上，卡套通过背侧突出的限位条卡接在沟槽内部进行稳固，方便安装与拆卸，并且对于硅片也可以起到良好的稳固作用。
[0009]与现有技术相比，本技术提供了一种太阳能电池硅片扩散用立式石英舟 ，具备以下有益效果：
[0010]1、该太阳能电池硅片扩散用立式石英舟，侧板以及底板皆为梯形支撑结构，通过侧板以及底板的支撑结构来稳固上开槽棒对硅片的夹持，保证其不会轻易晃动，避免剐蹭硅片以导致残次品概率增加。
[0011]2、该太阳能电池硅片扩散用立式石英舟，舟槽宽度大于硅片的宽度，而卡套的宽度正好与硅片相契合，同时卡套材质与石英舟整体材质相同，确保在高温扩散硅片时不会出现形态上的变化，在使用完成后可以将卡套拆下，这样在使用多次后硅片只会对卡套接触磨损，而石英舟更换卡套后还是可以继续使用，有效节约了资源，降低了硅片加工产生的成本。
附图说明
[0012]图1为石英舟整体示意图；
[0013]图2为石英舟俯视示意图；
[0014]图3为图2中的A处局部放大示意图；
[0015]图4为卡套示意图；
[0016]图5为侧板与底板示意图。
[0017]图中：1、五边形板；2、推拉环；3、顶杆；4、上开槽棒；5、下开槽棒；6、侧板；7、底板；8、底杆；9、舟槽；10、卡套；11、沟槽。
实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1
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5，一种太阳能电池硅片扩散用立式石英舟，包括五边形板1、推拉环2、顶杆3、上开槽棒4、下开槽棒5、侧板6、底板7以及底杆8，两组五边形板1背侧中心处皆固定安装有推拉环2，两侧所述五边形板1中间两个拐角处均焊接有顶杆3，所述五边形板1底部的两个拐角处焊接有底杆8,所述五边形板1侧面对应顶杆3与底杆8之间焊接有上开槽棒4，两侧所述五边形板1底部设置有下开槽棒5，所述上开槽棒4以及下开槽棒5靠近中心点的一侧等距开设有多组用于放置电池硅片的舟槽9，所述舟槽9的上端卡皆有卡套10，所述卡套10共有六组，分别卡接在每段舟槽9上，舟槽9上端卡接有卡套10，舟槽9宽度大于硅片的宽度，而卡套10的宽度正好与硅片相契合，同时卡套10材质与石英舟整体材质相同，确保在高温扩散硅片时不会出现形态上的变化，在使用完成后可以将卡套10拆下，这样在使用多次后硅片只会对卡套10接触磨损，而石英舟更换卡套10后还是可以继续使用，有效节约了资源，降低了硅片加工产生的成本。
[0020]进一步的，上开槽棒4背侧分段焊接有若干组侧板6，两侧五边形板1底部分段焊接有底板7，底板7中心处焊接有下开槽棒5。
[0021]进一步的，侧板6以及底板7宽度为石英舟总长的10%，侧板6以及底板7分别焊接在
石英舟两端以及中心点上，下开槽棒5固定安装在底板7上，分三段式对装置提供足够的支撑，同时又不会因为占用过多位置导致硅片加热不均匀。
[0022]进一步的，两侧上开槽棒4的上沿开设有沟槽11，卡套10卡接在沟槽11上，卡套10通过背侧突出的限位条卡接在沟槽11内部进行稳固，方便安装与拆卸，并且对于硅片也可以起到良好的稳固作用。
[0023]工作时：本装置包括五边形板1、推拉环2、顶杆3、上开槽棒4、下开槽棒5、侧板6、底板7、底杆8、舟槽9、卡套10以及沟槽11，在使用时，首先将卡套10卡接在沟槽11内，之后将硅片放置在上开槽棒4以及下开槽棒5上开设的舟槽9中，通过钩杆钩住推拉环2将其推入加热区进行加热，卡套10与硅片厚度相契合，可以保证硅片扩散加工时不会出现晃动剐蹭，导致残次品增多，而卡套10在多次使用后可以进行更换，不需要经常更换石英舟，变相减少了硅片的加工成本，本装置使用性强，有效降低了硅片加工的残次品率，减少了硅片的加工成本。
[0024]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池硅片扩散用立式石英舟，包括五边形板（1）、推拉环（2）、顶杆（3）、上开槽棒（4）、下开槽棒（5）、侧板（6）、底板（7）以及底杆（8），其特征在于，两组所述五边形板（1）背侧中心处皆固定安装有推拉环（2），两侧所述五边形板（1）中间两个拐角处均焊接有顶杆（3），所述五边形板（1）底部的两个拐角处焊接有底杆（8）,所述五边形板（1）侧面对应顶杆（3）与底杆（8）之间焊接有上开槽棒（4），两侧所述五边形板（1）底部设置有下开槽棒（5），所述上开槽棒（4）以及下开槽棒（5）靠近中心点的一侧等距开设有多组用于放置电池硅片的舟槽（9），所述舟槽（9）的上端卡接有卡套（10），所述卡套（10）共有六组，分别卡接在每...

【专利技术属性】
技术研发人员：李秀霞，常永喜，汤芳，
申请(专利权)人：浙江浩锐石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：