电极接线装置及镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了电极接线装置及镀膜设备，涉及气相沉积工艺技术领域。该电极接线装置包括接线端子、安装组件和压盖，接线端子用于连接电极，安装组件的一端连接于接线端子，安装组件设置有热丝过穿孔，待固定的热丝能够穿设于热丝过穿孔中并和电极电连接，压盖可拆卸地连接于安装组件，热丝能够被夹持固定于压盖与安装组件之间。通过将热丝穿设在安装组件上的热丝过穿孔，并使用压盖将热丝夹持固定在压盖和安装组件之间，使得热丝能够被更牢固地连接在电极接线装置上，同时，由于热丝在穿设至热丝过穿孔时发生了折弯，大大降低了热丝局部断裂后直接落在反应腔的腔体内部的风险。部断裂后直接落在反应腔的腔体内部的风险。部断裂后直接落在反应腔的腔体内部的风险。

【技术实现步骤摘要】
电极接线装置及镀膜设备


[0001]本技术涉及气相沉积工艺
，尤其涉及一种电极接线装置及镀膜设备。

技术介绍

[0002]在热丝类型的镀膜设备中，热丝的端部被电极接线装置固定，并承受电极接线装置所施加的拉紧力，使得热丝能够在镀膜设备中拉伸成预设的工艺形状以满足镀膜的生产需求。但是由于热丝被简单地直接固定在电极接线装置中，导致固定处极易断裂，断裂后的热丝会直接落在腔体内，影响镀膜质量。

技术实现思路

[0003]本技术的一个目的在于提出一种电极接线装置，既能够满足热丝的张紧和固定需求，也能够更稳定地固定热丝，减少固定处断裂的概率。
[0004]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0005]电极接线装置，包括：接线端子，所述接线端子用于连接电极；安装组件，所述安装组件的一端连接于所述接线端子，所述安装组件设置有热丝过穿孔，待固定的热丝能够穿设于所述热丝过穿孔中并和所述电极电连接；压盖，所述压盖可拆卸地连接于所述安装组件，所述热丝能够被夹持固定于所述压盖与所述安装组件之间。
[0006]可选地，所述安装组件包括至少两个所述热丝过穿孔。
[0007]可选地，所述安装组件的远离所述接线端子的一端设置有热丝导向孔，所述热丝导向孔在所述安装组件的远离所述接线端子的端面和所述安装组件的侧面均具有开口。
[0008]可选地，所述压盖包括第一压紧件和第二压紧件，所述第一压紧件和所述第二压紧件分别可拆卸地连接于至少部分所述安装组件的两侧。
[0009]可选地，所述接线端子包括导电金属件和绝缘壳体，所述安装组件的一端可拆卸地连接于所述导电金属件，所述导电金属件连接所述电极，所述绝缘壳体安装在所述导电金属件上，且部分所述导电金属件外露于所述绝缘壳体。
[0010]可选地，所述电极接线装置还包括绝缘套管，所述绝缘套管套设在所述安装组件上，所述绝缘套管能够穿设在镀膜设备的腔体壁上，以将所述安装组件与所述腔体壁绝缘。
[0011]可选地，所述电极接线装置还包括固定组件，所述固定组件包括安装底座，所述安装底座固定连接于所述接线端子，所述安装底座可拆卸地连接于所述腔体壁，所述安装底座与所述腔体壁之间夹设有第一密封圈。
[0012]可选地，所述绝缘套管穿过所述安装底座设置，所述绝缘套管与所述安装底座之间夹设有第二密封圈。
[0013]可选地，所述固定组件还包括保护壳体，所述保护壳体可拆卸地连接于所述接线端子，所述安装底座固定连接于所述保护壳体，所述保护壳体与所述接线端子之间夹设有第三密封圈。
[0014]本技术的电极接线装置的有益效果在于：通过将热丝穿设在安装组件上的热丝过穿孔，并使用压盖将热丝夹持固定在压盖和安装组件之间，使得热丝能够被更牢固地连接在电极接线装置上，同时，由于热丝在穿设至热丝过穿孔时发生了折弯，大大降低了热丝局部断裂后直接落在反应腔的腔体内部的风险。
[0015]本技术的另一个目的在于提出一种镀膜设备，能够稳定地固定和张紧热丝，并且使得热丝固定处不易断裂。
[0016]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0017]镀膜设备，包括热丝以及成对设置的上述的电极接线装置，所述热丝的两端分别连接于成对设置的所述电极接线装置，所述电极接线装置穿过所述镀膜设备的腔体壁设置。
[0018]本技术的镀膜设备的有益效果在于：通过在镀膜设备中使用上的电极接线装置，将热丝穿设在安装组件上的热丝过穿孔，并使用压盖将热丝夹持固定在压盖和安装组件之间，使得热丝能够被更牢固地连接在电极接线装置上，同时，由于热丝在穿设至热丝过穿孔时发生了折弯，大大降低了热丝局部断裂后直接落在反应腔的腔体内部的风险。
[0019]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0020]图1是本技术的电极接线装置的立体图；
[0021]图2是本技术的电极接线装置的剖视图；
[0022]图3是图2中A处的局部放大剖视图；
[0023]图4是本技术的电极接线装置的热丝安装杆的立体图；
[0024]图5是本技术的电极接线装置的热丝安装杆的正视图；
[0025]图6是图5中沿B
‑
B的剖视图；
[0026]图7是图6中C处的局部放大剖视图；
[0027]图8是本技术的镀膜设置的立体图。
[0028]图中：
[0029]1、接线端子；11、导电金属件；12、绝缘壳体；121、接电开口；2、安装组件；21、导杆；22、热丝安装杆；221、热丝过穿孔；222、热丝导向孔；2221、端面开口；2222、侧面开口；223、压盖安装孔；3、压盖；31、第一压紧件； 32、第二压紧件；4、绝缘套管；5、固定组件；51、安装底座；52、保护壳体； 53、高分子绝缘套；54、陶瓷绝缘套；61、第一密封圈；62、第二密封圈；63、第三密封圈；64、第四密封圈；7、腔体壁。
具体实施方式
[0030]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0031]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的
方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0032]此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0033]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0034]下面参考图1至图8介绍本技术的电极接线装置及镀膜设备。该电极接线装置设置于镀膜设备中，镀膜工艺所使用的热丝(图中未示出)与电极接线装置固定连接，在电机接线装置所提供的拉紧力作用下，经陶瓷柱等折弯结构，使得热丝在镀膜设备的反应腔内弯折成预设的工艺形状。并且，热丝的两个端部分别与一个电极接线装置连接，两个电极接线装置分别连接至电源的正电极本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.电极接线装置，其特征在于，包括：接线端子(1)，所述接线端子(1)用于连接电极；安装组件(2)，所述安装组件(2)的一端连接于所述接线端子(1)，所述安装组件(2)设置有热丝过穿孔(221)，待固定的热丝能够穿设于所述热丝过穿孔(221)中并和所述电极电连接；压盖(3)，所述压盖(3)可拆卸地连接于所述安装组件(2)，所述热丝能够被夹持固定于所述压盖(3)与所述安装组件(2)之间。2.根据权利要求1所述的电极接线装置，其特征在于，所述安装组件(2)包括至少两个所述热丝过穿孔(221)。3.根据权利要求1所述的电极接线装置，其特征在于，所述安装组件(2)的远离所述接线端子(1)的一端设置有热丝导向孔(222)，所述热丝导向孔(222)在所述安装组件(2)的远离所述接线端子(1)的端面和所述安装组件(2)的侧面均具有开口。4.根据权利要求1所述的电极接线装置，其特征在于，所述压盖(3)包括第一压紧件(31)和第二压紧件(32)，所述第一压紧件(31)和所述第二压紧件(32)分别可拆卸地连接于至少部分所述安装组件(2)的两侧。5.根据权利要求1所述的电极接线装置，其特征在于，所述接线端子(1)包括导电金属件(11)和绝缘壳体(12)，所述安装组件(2)的一端可拆卸地连接于所述导电金属件(11)，所述导电金属件(11)连接所述电极，所述绝缘壳体(12)安装在所述导电金属件(11)上，且部分所述导电金属件(11)外露于所述绝缘壳体(12...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱鹤囡，戴佳，董雪迪，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：