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本实用新型公开了电极接线装置及镀膜设备，涉及气相沉积工艺技术领域。该电极接线装置包括接线端子、安装组件和压盖，接线端子用于连接电极，安装组件的一端连接于接线端子，安装组件设置有热丝过穿孔，待固定的热丝能够穿设于热丝过穿孔中并和电极电连接，压...
该专利属于拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司授权不得商用。

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