一种晶体生长炉进气预热箱制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶体生长炉进气预热箱，包括隔热箱体，隔热箱体内设上、下温度传感器，上、下温度传感器分别接PLC控制器后接电源，隔热箱体两侧分别设置进、出气口，进气口外经流量阀接进气管，出气口接出气管，进、出气口内接设置于隔热箱体内的螺旋加热气管，螺旋加热气管外周绕圆周均布上下对称穿接两个以上外周热电偶，螺旋加热气管中心穿接一中心热电偶，外周热电偶和中心热电偶接PLC控制器；所述出气管经出气温度传感器分两路，一路经流量阀接进气口，另一路接供气阀。其结构简单，能有效兼顾供气安全、温度均衡、无供气冲击压力。无供气冲击压力。无供气冲击压力。

【技术实现步骤摘要】
一种晶体生长炉进气预热箱


[0001]本技术提供了一种加热装置，具体说是一种晶体生长炉进气预热箱。

技术介绍

[0002]现代技术的电子学、光学中常用的单晶材料，大部分采用熔体在坩埚熔炉中生长晶体法制备，许多晶体早已进入不同规模的工业化生产。坩埚熔炉内高温高压生产时，需要进气加压，加压气体温度如与坩埚熔炉内温差较大，极易影响到晶体的生成品质降低，另外如果直接采用送风经加热箱电加热供气，供气直接接触电阻材料，存在一定的使用安全隐患；还有因为供气加热升温，气体膨胀增大进入坩埚熔炉内的风速压力，对炉内原料存在一定的冲击影响，无法稳定供气压力。

技术实现思路

[0003]本技术提供了一种结构简单，能有效兼顾供气安全、温度均衡、无供气冲击压力的晶体生长炉进气预热箱。
[0004]本技术采用的技术方案是：一种晶体生长炉进气预热箱，包括隔热箱体，隔热箱体内设上、下温度传感器，上、下温度传感器分别接PLC控制器后接电源，其特征在于：所述隔热箱体两侧分别设置进、出气口，进气口外经流量阀接进气管，出气口接出气管，进、出气口内接设置于隔热箱体内的螺旋加热气管，螺旋加热气管外周绕圆周均布上下对称穿接两个以上外周热电偶，螺旋加热气管中心穿接一中心热电偶，外周热电偶和中心热电偶接PLC控制器；所述出气管经出气温度传感器分两路，一路经流量阀接进气口，另一路接供气阀。
[0005]进一步地，所述螺旋加热气管为铝制。
[0006]进一步地，所述螺旋加热气管的管径由左至右渐变增大。
[0007]进一步地，所述螺旋加热气管的螺旋直径渐变增大。
[0008]进一步地，所述隔热箱体外包隔热层。
[0009]进一步地，所述隔热箱体外涂绝热材料层。
[0010]进一步地，所述螺旋加热气管外周沿螺旋方向均布外套多个换热环片。
[0011]本技术的有益效果是：
[0012]1、采用螺旋加热气管，外周和中部均穿接热电偶，确保管中靠内、外侧的气体均衡受热，无明显温差，供气无紊流冲击送出；
[0013]2、采用螺旋加热气管管径和/或螺旋直径增大，能避免受热气体膨胀在供气送出时的冲击气压影响内部晶体生长，具有较稳定的供气压力；
[0014]3、采用出气管分两路分别接回进气口和供气阀，在加热温度不足时，经流量阀、温度计返回进气口与原始进气混合后，再次进入预热箱进行预热，确保最终达到设定温度后从供气阀供气，满足坩埚熔炉内的晶体生长增压供气需求，使得温度变化对晶体生长不影响。
附图说明
[0015]图1为本技术结构示意图；
[0016]图中：隔热箱体1、上温度传感器2、下温度传感器3、PLC控制器4、电源5、进气口6、进气管7、出气口8、出气温度传感器9、流量阀10、供气阀11、中心热电偶12、外周热电偶13、螺旋加热气管14、返接流量阀15。
具体实施方式
[0017]以下结合附图和实施例对本技术作进一步说明。
[0018]图1所示：一种晶体生长炉进气预热箱，包括隔热箱体1、上温度传感器2、下温度传感器3、PLC控制器4、电源5、进气管7、出气温度传感器9、流量阀10、供气阀11、中心热电偶12、外周热电偶13、螺旋加热气管14、返接流量阀15。
[0019]隔热箱体1内设上、下温度传感器2、3，上、下温度传感器分别接PLC控制器4后接电源5，隔热箱体1左右侧分别设置进、出气口6、8，进气口6外经流量阀10接进气管7，进、出气口内接设置于隔热箱体内的螺旋加热气管14，出气口8外接出气温度传感器9后分两路，一路经返接流量阀15接进气口6、另一路经供气阀11供气，螺旋加热气管14外周绕圆周均布上下对称穿接两个以上外周热电偶13，螺旋加热气管中心穿接一中心热电偶12，外周热电偶和中心热电偶接PLC控制器。
[0020]在本实施例的基础上，螺旋加热气管可采用铝制，提高加热效率。
[0021]在本实施例的基础上，螺旋加热气管的管径设置为由左至右渐变增大，和/或螺旋加热气管的螺旋直径设置为渐变增大，有效延缓加热时间、防止热气膨胀对外冲击压力。
[0022]在本实施例的基础上，在隔热箱体外包隔热层，和/或外涂绝热材料层，有利于提高内部温度均衡保温。
[0023]在本实施例的基础上，螺旋加热气管外周可沿螺旋方向均布外套多个换热环片，提高气管的受热面积。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉进气预热箱，包括隔热箱体，隔热箱体内设上、下温度传感器，上、下温度传感器分别接PLC控制器后接电源，其特征在于：所述隔热箱体两侧分别设置进、出气口，进气口外经流量阀接进气管，出气口接出气管，进、出气口内接设置于隔热箱体内的螺旋加热气管，螺旋加热气管外周绕圆周均布上下对称穿接两个以上外周热电偶，螺旋加热气管中心穿接一中心热电偶，外周热电偶和中心热电偶接PLC控制器；所述出气管经出气温度传感器分两路，一路经流量阀接进气口，另一路接供气阀。2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉进气预热箱，其特征是：...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈远帆，周申，姚峥华，
申请(专利权)人：江苏晶特晶体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：