一种晶圆硅片搬运用提篮制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆硅片搬运用提篮，属于提篮领域，包括提篮箱，提篮箱的固定安装有若干个卡槽，卡槽内活动安装有晶圆片，提篮箱的前侧、后侧位置固定安装有转杆，转杆上活动安装有转动轮，转动轮之间固定安装有限位杆，转动轮上在位于限位杆的侧面位置固定安装有推动杆，提篮箱的上方位置固定安装有两个把手杆，把手杆的两端固定安装有把手板，把手板的下端活动安装有侧连杆，通过设置的限位杆卡住晶圆片，通过设置的把手板固定住推动杆，从而固定住限位杆，避免晶圆片在走动过程中掉落，通过设置的缓冲板等结构，使得提篮箱放置于地面时，缓冲板内的一号弹簧能够缓冲部分冲击力，降低提篮箱内晶圆片损坏的可能性。降低提篮箱内晶圆片损坏的可能性。降低提篮箱内晶圆片损坏的可能性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆硅片搬运用提篮


[0001]本技术涉及提篮领域，特别涉及一种晶圆硅片搬运用提篮。

技术介绍

[0002]在晶圆硅片的生产过程中，单晶硅棒切割成一片一片薄薄的晶圆硅片，然后进行后续加工，制成我们常见的晶片，由于晶圆硅片在生产过程中，需要短途转移运输，因此会使用到提篮结构，提篮内设置有卡槽将这些晶圆硅片活动安装，工作人员提着提篮进行晶圆硅片的短途运输，但是现有的提篮没有限制晶圆硅片的结构，当提篮在走动中，剧烈晃动时，部分晶圆硅片容易掉出提篮，另外将提篮放下的时候，由于工人松手过快等意外原因，导致提篮容易从高处掉落至地面，由于提篮结构没有缓冲结构，剧烈的震动容易损坏提篮内的晶圆硅片。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种晶圆硅片搬运用提篮，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0005]一种晶圆硅片搬运用提篮，包括提篮箱，所述提篮箱的固定安装有若干个卡槽，所述卡槽内活动安装有晶圆片，所述提篮箱的前侧、后侧位置固定安装有转杆，所述转杆上活动安装有转动轮，所述转动轮之间固定安装有限位杆，所述转动轮上在位于限位杆的侧面位置固定安装有推动杆，所述提篮箱的上方位置固定安装有两个把手杆，所述把手杆的两端固定安装有把手板，所述把手板的下端活动安装有侧连杆，所述侧连杆的一端与提篮箱的侧面固定安装，所述提篮箱的底面位置固定安装有缓冲板，所述缓冲板和提篮箱之间固定安装有若干个一号弹簧，所述缓冲板的两侧位置固定安装有连接板，所述连接板上活动安装有一号连接杆。
[0006]优选的，所述一号连接杆的一端与提篮箱的底部固定安装，所述连接板上对应一号连接杆的位置固定开设有一号活动槽，所述一号连接杆活动安装在一号活动槽内，所述一号连接杆的另一端固定安装有一号限位板。
[0007]优选的，所述一号弹簧的一端与提篮箱的底面固定安装，所述一号弹簧的另一端与缓冲板固定安装。
[0008]优选的，所述限位杆的两端与转动轮固定安装，所述推动杆的两端同样与转动轮固定安装，所述转杆的一端与提篮箱固定安装，所述转杆的另一端固定安装有二号限位板。
[0009]优选的，所述把手板的下端固定开设有侧转动孔，所述侧连杆活动安装在把手板的侧转动孔中，所述把手板位于提篮箱的左侧、右侧位置。
[0010]优选的，所述侧连杆的另一端固定安装有三号限位板，所述把手板位于三号限位板的内侧位置。
[0011]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0012]1.通过将两个限位杆向上转动，使得限位杆卡在晶圆片的侧面位置，限制住晶圆片，然后将把手杆向上转动，使得把手板抵住推动杆，从而固定住限位杆，用户通过握住把手杆提动提篮箱进行移动，由于限位杆的作用，导致晶圆片无法脱离卡槽，避免走动中，晶圆片掉落。
[0013]2.通过设置的缓冲板等结构，将提篮箱放置于地面时，缓冲板先与地面接触，通过一号弹簧的压缩，缓冲掉部分冲击力，使得提篮箱内晶圆片受到冲击力减小，从而降低晶圆片损坏的可能性。
附图说明
[0014]图1为本技术的整体结构示意图；
[0015]图2为本技术的缓冲板的结构示意图；
[0016]图3为本技术的限位杆和推动杆的结构示意图；
[0017]图4为本技术的把手杆的结构示意图。
[0018]图中：1、提篮箱；2、晶圆片；3、卡槽；4、缓冲板；5、连接板；6、一号连接杆；7、一号限位板；8、一号活动槽；9、一号弹簧；10、限位杆；11、推动杆；12、转动轮；13、转杆；14、二号限位板；15、把手杆；16、把手板；17、侧连杆；18、三号限位板；19、侧转动孔。
具体实施方式
[0019]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0020]如图1
‑
4所示，一种晶圆硅片搬运用提篮，包括提篮箱1，提篮箱1的固定安装有若干个卡槽3，卡槽3内活动安装有晶圆片2。
[0021]提篮箱1的前侧、后侧位置固定安装有转杆13，转杆13上活动安装有转动轮12，转动轮12之间固定安装有限位杆10，转动轮12上在位于限位杆10的侧面位置固定安装有推动杆11，提篮箱1的上方位置固定安装有两个把手杆15，把手杆15的两端固定安装有把手板16，把手板16的下端活动安装有侧连杆17，侧连杆17的一端与提篮箱1的侧面固定安装，限位杆10的两端与转动轮12固定安装，推动杆11的两端同样与转动轮12固定安装，转杆13的一端与提篮箱1固定安装，转杆13的另一端固定安装有二号限位板14，把手板16的下端固定开设有侧转动孔19，侧连杆17活动安装在把手板16的侧转动孔19中，把手板16位于提篮箱1的左侧、右侧位置，侧连杆17的另一端固定安装有三号限位板18，把手板16位于三号限位板18的内侧位置，将限位杆10通过转动轮12向上转动，从而使得限位杆10转动至上方位置，移动至提篮箱1的卡槽3内的晶圆片2的侧面位置，晶圆片2向上移出时会被限位杆10挡住，随着限位杆10的移动，使得推动杆11同步移动，然后将把手杆15向上转动，使得两个把手杆15相互靠近，便于用户握住两个把手杆15，从而提着提篮箱1移动，把手杆15移动至上方位置，把手板16的内侧和推动杆11相互接触，从而使得推动杆11不能向下转动，将限位杆10限制在上方位置，固定住晶圆片2，放置走动时，提篮箱1晃动，晶圆片2掉落。
[0022]提篮箱1的底面位置固定安装有缓冲板4，缓冲板4和提篮箱1之间固定安装有若干个一号弹簧9，缓冲板4的两侧位置固定安装有连接板5，连接板5上活动安装有一号连接杆6，一号连接杆6的一端与提篮箱1的底部固定安装，连接板5上对应一号连接杆6的位置固定
开设有一号活动槽8，一号连接杆6活动安装在一号活动槽8内，一号连接杆6的另一端固定安装有一号限位板7，一号弹簧9的一端与提篮箱1的底面固定安装，一号弹簧9的另一端与缓冲板4固定安装，在提篮箱1的底部位置设置的缓冲板4，当将提篮箱1放置于地面时，缓冲板4先于地面接触，然后提篮箱1继续向下移动，使得一号弹簧9被向下移动的提篮箱1压缩，通过压缩的一号弹簧9将部分冲击力缓冲掉，从而使得提篮箱1放置时，卡槽3内的晶圆片2的所受的冲击力降低，从而降低晶圆片2受到损坏的可能性。
[0023]需要说明的是，本技术为一种晶圆硅片搬运用提篮，将晶圆片2活动安装至卡槽3内，然后将限位杆10向上转动，使得限位杆10两端的转动轮12在转杆13上向上转动，使得转动轮12侧面位置的推动杆11同步向上转动，限位杆10转动至上方位置，位于晶圆片2的侧面位置，从而限制住晶圆片2脱离卡槽3，然后将把手杆15向上转动，两个把手杆15转动至提篮箱1的上方位置，并相互靠近，把手板16同步向上转动，使得推动杆11位于把手板16的内侧位置，由于把手板16的阻挡作用，使得推动杆11和限位杆10本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆硅片搬运用提篮，包括提篮箱(1)，所述提篮箱(1)的固定安装有若干个卡槽(3)，所述卡槽(3)内活动安装有晶圆片(2)，其特征在于：所述提篮箱(1)的前侧、后侧位置固定安装有转杆(13)，所述转杆(13)上活动安装有转动轮(12)，所述转动轮(12)之间固定安装有限位杆(10)，所述转动轮(12)上在位于限位杆(10)的侧面位置固定安装有推动杆(11)，所述提篮箱(1)的上方位置固定安装有两个把手杆(15)，所述把手杆(15)的两端固定安装有把手板(16)，所述把手板(16)的下端活动安装有侧连杆(17)，所述侧连杆(17)的一端与提篮箱(1)的侧面固定安装，所述提篮箱(1)的底面位置固定安装有缓冲板(4)，所述缓冲板(4)和提篮箱(1)之间固定安装有若干个一号弹簧(9)，所述缓冲板(4)的两侧位置固定安装有连接板(5)，所述连接板(5)上活动安装有一号连接杆(6)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆硅片搬运用提篮，其特征在于：所述一号连接杆(6)的一端与提篮箱(1)的底部固定安装，所述连接板(5)上对应一号连接杆(6)的位置固定开设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：蓝爰毅，
申请(专利权)人：深圳市东虹鑫静电器材有限公司，
类型：新型
国别省市：