一种基板取放装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及搬运设备技术领域，公开了一种基板取放装置。该基板取放装置升降模组，升降模组包括并排设置的多组顶升组件以及调偏装置，多组顶升组件能够从传输设备的间隔内穿过，并能够沿竖直方向升降；顶升组件包括上下排列的若干组支撑组件，若干组顶升组件的支撑组件形成若干层顶升结构，基板能够从顶升结构和传输设备顶部之间的间隙内，以及相邻两层顶升结构的间隙内穿过；调偏装置位于顶升结构的两侧，用于对顶升结构上的基板进行位置调整。本实用新型专利技术所提供的基板取放装置，实现基板的分批取放，解决机械手完成单次动作时长较长的问题；且能够通过调偏装置对顶升结构上的基板进行位置调整，避免因基板位置偏移影响后续工艺单元的处理。续工艺单元的处理。续工艺单元的处理。

【技术实现步骤摘要】
一种基板取放装置


[0001]本技术涉及搬运设备
，特别是涉及一种基板取放装置。

技术介绍

[0002]在平板显示屏、半导体、玻璃等基板的制造工艺中，一般使用机械手对产品进行抓取/搬运/摆放。在一般的工艺流程中，机械手抓取未进行工艺制程的产品后，摆放于制程设备的入口端，而后退出设备，从设定位置抓取下一片产品；同时，在产品完成制程工艺后，机械手在设备的出口端等待，设备发出交互信号，命令机械手在出口端抓取产品，而后摆放至设定的位置。
[0003]机械手通常对产品进行单次取/放，机械手需要完成以下几个动作：1)从设定位置抓取产品；2)将未进行制程工艺的产品摆放至设备入口端；3)在设备的出口端，将已完成工艺的产品摆放至设定位置。在设备越发稳定的情况下，需求的产品取/放时间已越来越短，而机械手完成每个动作均需一定时间，无法满足需求的产品取/放时间，从而影响到整体产能无法提升。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种基板取放装置，该基板取放装置能够实现基板的分批取放，以解决机械手完成单次动作时长较长的问题，可显著提高基本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板取放装置，其特征在于，包括：升降模组(100)，所述升降模组(100)包括：多组顶升组件，多组所述顶升组件并排设置，且能够从传输设备(300)的间隔内穿过，并能够沿竖直方向升降；所述顶升组件包括上下排列的若干组支撑组件(110)，若干组所述顶升组件的所述支撑组件(110)形成若干层顶升结构，所述基板(400)能够从所述顶升结构和所述传输设备(300)顶部之间的间隙内穿过；所述基板(400)能够从相邻两层所述顶升结构的间隙内穿过；调偏装置(130)，所述调偏装置(130)位于所述顶升结构的两侧，用于对顶升结构上的基板(400)进行位置调整。2.根据权利要求1所述的基板取放装置，其特征在于，所述调偏装置(130)包括调偏辊(133)，所述调偏辊(133)能够绕其轴线转动，所述调偏辊(133)与所述基板(400)的位置相对应，所述调偏辊(133)能够沿垂直于所述传输设备(300)的方向移动。3.根据权利要求2所述的基板取放装置，其特征在于，所述调偏装置(130)包括调偏气缸(131)，所述调偏辊(133)由所述调偏气缸(131)带动位移。4.根据权利要求3所述的基板取放装置，其特征在于，所述调偏装置(130)包括连杆(132)，所述调偏辊(133)通过所述连杆(132)与所述调偏气缸(13...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓波，蒋新，施利君，
申请(专利权)人：苏州晶洲装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：