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一种基板取放装置制造方法及图纸
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下载一种基板取放装置的技术资料
文档序号:36304847
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本实用新型涉及搬运设备技术领域,公开了一种基板取放装置。该基板取放装置升降模组,升降模组包括并排设置的多组顶升组件以及调偏装置,多组顶升组件能够从传输设备的间隔内穿过,并能够沿竖直方向升降;顶升组件包括上下排列的若干组支撑组件,若干组顶升组...
该专利属于苏州晶洲装备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州晶洲装备科技有限公司授权不得商用。
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