一种含多反射腔的氦原子气室制作方法及氦原子气室技术

本发明专利技术公开了一种含多反射腔的氦原子气室制作方法及氦原子气室，其中制作方法包括：提供第一柱面镜和第二柱面镜，分别对第一柱面镜和第二柱面镜的反射面进行两层镀膜处理，内层镀膜处理的材料为五氧化二钽，外层镀膜处理的材料为二氧化硅；将镀膜处理后第一柱面镜和第二柱面镜固定在硅片上，在硅片上设置无底玻璃气室，得到含多反射腔的玻璃气室；对多个玻璃气室进行烧制得到多腔室玻璃泡；使用氦气反复清洗多腔室玻璃泡；向多腔室玻璃泡充入预设气压的氦气；取下多腔室玻璃泡内的不含吸气剂的玻璃气室，得到含多反射腔的氦原子气室。本发明专利技术能够保证最终制备出的氦原子气室的高纯度和长寿命，从而能够有效提升氦原子磁力仪的工作性能。工作性能。工作性能。

【技术实现步骤摘要】
一种含多反射腔的氦原子气室制作方法及氦原子气室


[0001]本专利技术涉及原子传感器
，尤其是涉及一种含多反射腔的氦原子气室制作方法及氦原子气室。

技术介绍

[0002]基于量子精密测量技术的原子传感器包括原子钟、原子磁力仪、原子陀螺仪等。这些原子传感器的发展可满足人们对于高精度授时、极微弱磁场探测、自主导航等方面的需求，并在地球物理、生物医学、军事与国防等领域具备广阔的应用前景。由于原子传感器的核心部件为原子气室，因而上述高精度原子传感器的发展与原子气室的性能密切相关。
[0003]原子气室中的常用工作物质为氦原子和碱金属原子，两者由于各自的特点不同，导致了它们在不同的应用场景下各有作用。举例而言，与碱金属原子相比，氦
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4原子具有线性塞曼分裂、无超精细结构、原子在较大温度范围内都为气态、气室内原子数密度对温度不敏感等优点，因而更适合大范围磁场测量和温度变化较大的外场下应用。然而，氦原子磁力仪的灵敏度直接依赖于气室内氦原子气体的纯度，纯度越高则原子磁力仪的灵敏度越高。传统的氦原子气室制作方法是先抽真空、后向气室本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种含多反射腔的氦原子气室制作方法，其特征在于，包括：提供第一柱面镜和第二柱面镜，分别对所述第一柱面镜和所述第二柱面镜的反射面进行两层镀膜处理，所述两层镀膜处理包括内层镀膜处理和外层镀膜处理，所述内层镀膜处理采用的材料为五氧化二钽，外层镀膜处理采用的材料为二氧化硅；将镀膜处理后的所述第一柱面镜和所述第二柱面镜固定在硅片上，在所述硅片上采用阳极键合技术设置无底玻璃气室，得到含多反射腔的玻璃气室；连接多个所述玻璃气室，并对多个玻璃气室进行烧制得到多腔室玻璃泡，多个所述玻璃气室包括一个含吸气剂的玻璃气室和若干个不含吸气剂的玻璃气室；对所述多腔室玻璃泡抽取真空并进行高温烘烤处理；通过直流电加热所述多腔室玻璃泡，以激活所述吸气剂；使用氦气反复清洗所述多腔室玻璃泡；向所述多腔室玻璃泡充入预设气压的氦气；将所述多腔室玻璃泡放入烤箱高温烘烤预设时长；取下所述多腔室玻璃泡内的不含吸气剂的玻璃气室，得到含多反射腔的氦原子气室。2.如权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭翔，郭弘，刘洋，易凯文，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：