本发明专利技术所提供的磁光克尔测试设备，通过光路调整组件对光路进行调整，可以至少实现被测物的入射光的倾斜程度的调整，实现被测物的测试光入射角的调整；本发明专利技术所提供的磁光克尔测试设备，可以实现被测物的入射光在倾斜与垂直方向的切换，打破了入射光为垂直入射、成夹角入射的磁光克尔测试装置之间的隔离，将两种类型的磁光克尔设备融合为同一设备，并实现相应的功能，极大地降低了磁光克尔测试的成本。极大地降低了磁光克尔测试的成本。极大地降低了磁光克尔测试的成本。
【技术实现步骤摘要】
磁光克尔测试装置
[0001]本专利技术属于磁变量的测量
，涉及利用磁光效应进行测量，具体地，涉及磁光克尔测试装置。
技术介绍
[0002]磁光表征技术是通过探测光与材料之间彼此作用诱发的磁光响应，从而探究材料的磁性状态。其中，磁光克尔效应是指一束由左旋圆偏振光和右旋圆偏振光组成的线偏振光射经磁性被测物反射后，反射光变为椭圆偏振光，且以椭圆长轴的偏振面与入射光的偏振面的角度发生一定偏转的现象。磁光克尔测试装置是利用磁光克尔效应，测量被测物的磁性的装置。
[0003]图1示出了一种现有的磁光克尔测试装置的技术方案，其中，光发生组件100向被测物300射出一束偏振光，该偏振光经分光组件200后照射至被测物300表面；被测物300反射的光经过分光组件200后照射至光感受组件400，光感受组件400根据接收到的光的偏振态输出相应信号。在部分应用场景中，为了满足特殊的测试需求，需要调整照射至被测物300的入射角度。但是，根据图1所示出的现有的磁光克尔测试装置，通过倾斜入射光路或倾斜被测物300以调整偏振光照射被测物300的入射角度时，将导致反射光无法经分光组件200照射至光感受组件400，更甚地，将导致反射光无法照射至分光组件200，导致无法测量。因此，现有技术中，偏振光以垂直于被测物300的方向入射的磁光克尔测试装置，与偏振光以与被测物300成预设夹角的方向入射的磁光克尔测试装置，二者相互独立，无法组合。
[0004]图6示出了另一种现有的磁光克尔测试装置的技术方案，即前述的偏振光以与被测物300成预设夹角的方向入射的磁光克尔测试装置。其中，光发生组件100向被测物300射出一束偏振光，被测物300反射的光照射至光感受组件400，光感受组件400根据接收到的光的偏振态输出相应信号；其中，光发生组件100与被测物300的被测表面成一非垂直夹角，即入射被测物300的偏振光以非垂直的方向入射被测物300的被测位置。在此情形下，若需要调整照射至被测物300的入射角度，需要同步调整光发生组件100、光感受组件400的角度、位置，同时调整角度、位置，对调整的精度需求较高；同时，由于光发生组件100、光感受组件400的通常具有较大的重量和体积，调整较为困难。
技术实现思路
[0005]针对现有技术存在的垂直入射的磁光克尔测试装置无法改变入射角度、成夹角入射的磁光克尔测试装置的入射光角度调整困难的问题，本专利技术提供了磁光克尔测试装置。
[0006]本专利技术提供的一种磁光克尔测试装置，包括光发生组件、光感受组件、分光组件、聚光组件、光路调整组件，所述光发生组件被配置为产生偏振光，所述光感受组件被设置为根据接收到的光的偏振态输出信号的形式；被测物的被测位置位于所述聚光组件的焦点，所述光发生组件产生的偏振光经过所述光路调整组件、分光组件、聚光组件照射于所述被测物，所述被测物反射的偏振光经过所述聚光组件、分光组件照射于所述光感受组件的入
射位置；所述光路调整组件包括成对设置的楔形镜，成对设置的所述楔形镜被构造成具有固定角度且能够相对移动的形式，所述光路调整组件的入射光的方向与出射光的方向相互平行，入射所述光路调整组件的光依次经过所述楔形镜。
[0007]可选地，所述磁光克尔测试装置还包括第二聚光组件，所述光感受组件的入射位置设置于所述第二聚光组件的焦点；所述被测物反射的偏振光经所述聚光组件、分光组件、第二聚光组件照射于所述光感受组件的入射位置。
[0008]可选地，所述磁光克尔测试装置还包括第二光路调整组件，所述被测物反射的光经所述聚光组件、分光组件、第二光路调整组件，进入所述光感受组件。
[0009]可选地，所述光感受组件被构造成能够至少在垂直于其光轴的方向上移动的形式。
[0010]优选地，所述光感受组件的入射端为入射区域。
[0011]优选地，所述光路调整组件能够在以下状态间切换：第一状态：各个所述楔形镜的相互靠近的透光面相互接触；第二状态：各个所述楔形镜的相互靠近的透光面之间设置有预设间距。
[0012]可选地，第一状态下，入射所述被测物的光为垂直入射；第二状态下，入射所述被测物的光为非垂直入射。
[0013]可选地，还包括第三状态，所述第三状态为所述第一状态、第二状态切换过程的中间一时刻的状态。进一步地，第三状态下，入射所述被测物的光为垂直入射；第一状态与第二状态下，入射所述被测物的光位于所述被测物的被测位置的垂线两侧。进一步优选地，入射所述被测物的光与所述被测物的夹角范围为(0
°
, 180
°
)。
[0014]可选地，所述聚光组件的光轴与所述被测物垂直；所述第一状态时，出射所述光路调整组件的光与所述聚光组件的光轴重合。
[0015]优选地，所述分光组件为分光棱镜，入射、出射所述分光棱镜的光与相应入射面、出射面相互垂直。
[0016]本专利技术还提供了另一种磁光克尔测试装置，包括光发生组件、光感受组件、聚光组件、第一光路调整组件、第二光路调整组件，所述光发生组件被配置为产生偏振光，所述光感受组件被设置为根据接收到的光的偏振态输出信号的形式；所述光发生组件的光轴与所述被测物成非垂直夹角；被测物的被测位置位于所述聚光组件的焦平面；所述光发生组件产生的偏振光经过所述第一光路调整组件、聚光组件照射于所述被测物，所述被测物反射的偏振光经所述聚光组件、第二光路调整组件照射于所述光感受组件的入射位置；所述第一光路调整组件与所述聚光组件之间的光，与所述第二光路调整组件与所述聚光组件之间的光，具有相互平行的传播路径；所述光路调整组件包括成对设置的楔形镜，成对设置的所述楔形镜被构造成具有固定角度且能够相对移动的形式，入射所述光路调整组件的光依次经过所述楔形镜。
[0017]可选地，所述第一光路调整组件中的楔形镜的至少之一，与所述第二光路调整组件中的楔形镜的至少之一，被构造成能够同步移动的形式。
[0018]本专利技术还提供了一种磁光克尔测试装置，包括光发生组件、光感受组件、分光组件、聚光组件、光路调整组件，所述光发生组件被配置为产生偏振光，所述光感受组件被设置为根据接收到的光的偏振态输出信号的形式；被测物的被测位置位于所述聚光组件的焦
点，所述光发生组件产生的偏振光经过所述光路调整组件、分光组件、聚光组件照射于所述被测物，所述被测物反射的偏振光经过所述聚光组件、分光组件照射于所述光感受组件的入射位置；所述光路调整组件包括楔形镜；所述光发生模块的光轴与所述聚光组件的光轴成预设夹角，出射所述楔形镜的光的方向与所述聚光组件的光轴平行，所述楔形镜被构造成能够至少在入射所述楔形镜的光的传播方向上移动的形式。
[0019]可选地，所述磁光克尔测试装置还包括第二聚光组件，所述光感受组件的入射位置设置于所述第二聚光组件的焦点；所述被测物反射的偏振光经所述聚光组件、分光组件、第二聚光组件照射于所述光感受组件的入射位置。
[0020]可选地，所述磁光克尔测试装置还包括第二光路调整组件，所述被测物反射的光经所述聚光组件本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磁光克尔测试装置，其特征在于：包括光发生组件、光感受组件、分光组件、聚光组件、光路调整组件，所述光发生组件被配置为产生偏振光，所述光感受组件被设置为根据接收到的光的偏振态输出信号的形式；被测物的被测位置位于所述聚光组件的焦点，所述光发生组件产生的偏振光经过所述光路调整组件、分光组件、聚光组件照射于所述被测物，所述被测物反射的偏振光经过所述聚光组件、分光组件照射于所述光感受组件的入射位置；所述光路调整组件包括成对设置的楔形镜，成对设置的所述楔形镜被构造成具有固定角度且能够相对移动的形式，所述光路调整组件的入射光的方向与出射光的方向相互平行，入射所述光路调整组件的光依次经过所述楔形镜。2.如权利要求1所述的一种磁光克尔测试装置，其特征在于：所述磁光克尔测试装置还包括第二聚光组件，所述光感受组件的入射位置设置于所述第二聚光组件的焦点；所述被测物反射的偏振光经所述聚光组件、分光组件、第二聚光组件照射于所述光感受组件的入射位置。3.如权利要求1所述的一种磁光克尔测试装置，其特征在于：所述光感受组件被构造成能够至少在垂直于其光轴的方向上移动的形式。4.如权利要求1所述的一种磁光克尔测试装置，其特征在于：所述光路调整组件能够在以下状态间切换：第一状态：各个所述楔形镜的相互靠近的透光面相互接触；第二状态：各个所述楔形镜的相互靠近的透光面之间设置有预设间距。5.如权利要求4所述的一种磁光克尔测试装置，其特征在于：所述聚光组件的光轴与所述被测物垂直；所述第一状态时，出射所述光路调整组件的光与所述聚光组件的光轴重合。6.如权利要求1所述的一种磁光克尔测试装置，其特征在于：所述分光组件为分光棱镜，入射、出射所述分光棱镜的光与相应入射面、出射面相互垂直。7.一种磁光克尔测试装置，其特征在于：包括光发生组件、光感受组件、聚光组件、第一光路调整组件、第二光路调整组件，所述光发生组件被配置为产生偏振光，所述光感受组件被设置为根据接收到的光的偏振态输出信号的形式；...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏家琦，张学莹，王麟，孙蒲正，
申请(专利权)人：致真精密仪器青岛有限公司，
类型：发明
国别省市：
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