【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于检测设备，具体涉及一种磁场探针检测装置。
技术介绍
1、探针台测试设备是一种应用广泛的非破坏性测试手段，在物理及半导体领域中的应用十分丰富。在测试过程中，需要使探针与被测物的预设位置或触点接触，并借助探针向被测物输入信号，和/或借助探针接收被测物的信号，进而根据探针输入和/或输出的信号，对被测物的性能进行分析。其中，需要按检测需求调整探针的位置，以使得探针能够达到相应的位置。
2、部分情形下，需要对被测物在磁场环境下的性能进行检测，需要使用相应的励磁组件产生磁场，并将被测物设置于磁场环境下。由于磁场在空间中的分布一般并不均匀，一般需要对预设位置的磁场进行标定，并使被测物的被测区域处于预设位置，当被测物的被测区域与预设位置不匹配时，将无法确定被测区域的磁场状况，进而导致检测失败或引起巨大误差。因此，确定被测物在磁场中的位置，对于检测效果十分重要。
3、在
技术介绍
部分中公开的上述信息仅仅用于增强对本专利技术背景的理解，因此可能包含不构成本领域普通技术人员公知的现有技术的信息。
技术实现思路
1、为了对磁场探针台中的被测物在磁场中的位置进行定位，本专利技术提供了一种磁场探针检测装置，包括励磁组件、第一探针组件、承载组件、驱动组件、支架，所述驱动组件、承载组件安装于所述支架；
2、所述励磁组件设置有励磁线圈，所述励磁线圈被配置为其磁路至少部分地在预设区域延伸的形式；所述第一探针组件设置有探针卡，所述探针卡上设置有探针，所述探针向所述承载组件
3、所述移动端与所述励磁组件搭接时，所述励磁组件能够在所述驱动组件的驱动下在靠近与远离所述承载组件的方向上移动；所述励磁组件、第一探针组件的相对一侧设置有至少两组定位机构，所述定位机构包括相互匹配的锥台、锥槽。
4、优选地，所述支架设置有导向机构，所述导向机构与所述励磁组件限位连接，所述导向机构对所述励磁组件在垂直于所述移动端的移动方向上限位。
5、优选地，所述励磁装置设置有极头，所述磁路至少部分地在所述极头中行进，所述极头的磁场延伸端靠近所述预设位置。
6、进一步优选地，所述第一探针组件设置有容纳所述极头的镂空部，所述极头至少部分地穿过所述镂空部。
7、进一步优选地，所述极头包括面内极头、垂直极头的其中至少之一。
8、优选地，所述承载组件设置有位移台，所述位移台被构造成能够带动所述承载组件所承托的被测物移动的形式。
9、优选地，至少两组所述定位机构之间设置有预设距离。
10、优选地，所述磁场探针检测装置还包括第二探针组件，所述第二探针组件包括探针座、安装于所述探针座并向所述承载组件的承托被测物的一侧伸出的探针，所述第二探针组件安装于所述励磁组件、支架的其中至少之一。
11、本专利技术还提供了另一种形式的磁场探针检测装置，包括励磁组件、探针组件、承载组件、驱动组件、支架，所述驱动组件、承载组件安装于所述支架；
12、所述励磁组件设置有励磁线圈，所述励磁线圈被配置为其磁路至少部分地在预设区域延伸的形式；所述探针组件包括探针、探针座，所述探针安装于所述探针座，所述探针座安装于所述励磁组件，所述探针向所述承载组件的承托被测物的一侧伸出；所述驱动组件设置有移动端，所述移动端能够在所述驱动组件的驱动下，与所述励磁组件搭接或分离；
13、所述移动端与所述励磁组件搭接时，所述励磁组件能够在所述驱动组件的驱动下在靠近与远离所述承载组件的方向上移动。
14、优选地，所述支架设置有导向机构，所述导向机构与所述励磁组件限位连接，所述导向机构对所述励磁组件在垂直于所述移动端的移动方向上限位。
15、本专利技术至少具有以下有益效果：通过励磁组件、第一探针组件之间的定位方式，将难以确定被测物所处磁场环境的问题，转换为了被测物与探针的对准问题，并利用能够直观地观察探针与被测物的接触位置的特点解决该对准问题，从而使被测物能够快速调整至预设的位置和磁场环境下，进而提高检测效果；无需使用其他装置即可确定被测物所处磁场环境，极大地便利了磁场探针测试设备的使用。
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1.一种磁场探针检测装置，其特征在于：包括励磁组件、第一探针组件、承载组件、驱动组件、支架，所述驱动组件、承载组件安装于所述支架；
2.如权利要求1所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述支架设置有导向机构，所述导向机构与所述励磁组件限位连接，所述导向机构对所述励磁组件在垂直于所述移动端的移动方向上限位。
3.如权利要求1所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述励磁装置设置有极头，所述磁路至少部分地在所述极头中行进，所述极头的磁场延伸端靠近所述预设位置。
4.如权利要求3所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述第一探针组件设置有容纳所述极头的镂空部，所述极头至少部分地穿过所述镂空部。
5.如权利要求3所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述极头包括面内极头、垂直极头的其中至少之一。
6.如权利要求1所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述承载组件设置有位移台，所述位移台被构造成能够带动所述承载组件所承托的被测物移动的形式。
7.如权利要求1所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：至少两组所
8.如权利要求1所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述磁场探针检测装置还包括第二探针组件，所述第二探针组件包括探针座、安装于所述探针座并向所述承载组件的承托被测物的一侧伸出的探针，所述第二探针组件安装于所述励磁组件、支架的其中至少之一。
9.一种磁场探针检测装置，其特征在于：包括励磁组件、探针组件、承载组件、驱动组件、支架，所述驱动组件、承载组件安装于所述支架；
10.如权利要求9所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述支架设置有导向机构，所述导向机构与所述励磁组件限位连接，所述导向机构对所述励磁组件在垂直于所述移动端的移动方向上限位。
...【技术特征摘要】
1.一种磁场探针检测装置，其特征在于：包括励磁组件、第一探针组件、承载组件、驱动组件、支架，所述驱动组件、承载组件安装于所述支架；
2.如权利要求1所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述支架设置有导向机构，所述导向机构与所述励磁组件限位连接，所述导向机构对所述励磁组件在垂直于所述移动端的移动方向上限位。
3.如权利要求1所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述励磁装置设置有极头，所述磁路至少部分地在所述极头中行进，所述极头的磁场延伸端靠近所述预设位置。
4.如权利要求3所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述第一探针组件设置有容纳所述极头的镂空部，所述极头至少部分地穿过所述镂空部。
5.如权利要求3所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述极头包括面内极头、垂直极头的其中至少之一。
6.如权利要求1所述的一种磁场探针检测装...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜洪磊，李烜，张学莹，刘洋，周同德，
申请(专利权)人：致真精密仪器青岛有限公司，
类型：发明
国别省市：
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