一种硅片清洗机的清洗转运箱制造技术

技术编号:36253223 阅读:67 留言:0更新日期:2023-01-07 09:47
本实用新型专利技术属于硅片清洗设备技术领域,具体的说是一种硅片清洗机的清洗转运箱,包括清洗框架和设置在清洗框架内部的调节机构,所述调节机构包括旋转组件和滑动组件;所述旋转组件包括第一驱动电机和螺纹杆;通过螺纹滑板运动的结构设计,为了提高硅片在清洗箱内清洗的质量,操作人员可以打开第一驱动电机通过螺纹滑板的往复运动对硅片在清洗箱内进行往复清洗的运动,第一驱动电机的驱动通过同步带的转动带动螺纹杆的转动,螺纹杆的转动通过滑槽块沿滑轨杆的外壁滑动带动螺纹滑板进行往复滑动运动,进一步的,带动硅片在清洗箱内进行往复清洗运动,以实现提高对硅片在清洗箱内清洗质量的控制操作。质量的控制操作。质量的控制操作。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗机的清洗转运箱


[0001]本技术涉及硅片清洗设备
,具体是一种硅片清洗机的清洗转运箱。

技术介绍

[0002]硅片正在悄悄走进航空、航天、工业、农业和国防,也正在悄悄进入每一个家庭,小小硅片的巨大“魔力”是我们的前人根本无法想象的,而在硅片的生产制造过程中,往往需要通过清洗转运箱对硅片进行清洗操作,以满足后续产品的生产需求。
[0003]但是现有的清洗转运箱在使用时出现无法有效提高对硅片清洗质量的问题,导致在硅片在清洗箱内进行清洗时,由于清洗的质量较低,使得硅片整体的使用质量下降,进而影响产品整体的生产质量,以及,现有的清洗转运箱在使用时出现无法有效提高对硅片夹持稳定性的问题,使得硅片在清洗箱内进行高质量的清洗时,由于对硅片的夹持稳定性较低,使得硅片易脱落至清洗内,造成资源的浪费;因此,针对上述问题提出一种硅片清洗机的清洗转运箱。

技术实现思路

[0004]为了弥补现有技术的不足,解决无法有效提高对硅片清洗质量与无法有效提高对硅片夹持稳定性的问题,本技术提出一种硅片清洗机的清洗转运箱。
[0005本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗机的清洗转运箱,包括清洗框架(1)和设置在清洗框架(1)内部的调节机构,其特征在于:所述调节机构包括旋转组件和滑动组件;所述旋转组件包括第一驱动电机(6)和螺纹杆(8),所述清洗框架(1)的内部固定连接有固定架(5),所述固定架(5)的外壁固定连接有第一驱动电机(6),所述第一驱动电机(6)的输出端固定连接有同步带(7),所述同步带(7)的一端固定连接有与固定架(5)外壁旋转连接的螺纹杆(8);所述滑动组件包括螺纹滑板(9)和滑槽块(10),所述螺纹杆(8)的外壁螺纹连接有螺纹滑板(9),所述螺纹滑板(9)的底部固定连接有滑槽块(10),所述滑槽块(10)的外壁滑动连接有与固定架(5)外壁固定连接的滑轨杆(11)。2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机的清洗转运箱,其特征在于:所述清洗框架(1)的外壁开设有观察口(2),所述清洗框架(1)的一侧设置有输送带(3),所述清洗框架(1)的内部设置有位于固定架(5)下方的清洗箱(4),所述螺纹滑板(9)的外壁固定连接有第二驱动电机(12),所述第二驱动电机(12)的输出端固定连接有齿轮(13),所述齿轮(13)的外壁啮合有齿板(14),所述螺纹滑板(9)的侧壁与齿板(14)的连接部位开设有固定槽(15),所述螺纹滑板(9)的外壁与齿板(14)的连接部位开设有限位槽(16),所述齿板(14)的一端固定连接有调节板(17),所述调...

【专利技术属性】
技术研发人员:张晓川
申请(专利权)人:江苏工鼎工业技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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