本实用新型专利技术公开了一种测试装置及测试设备，包括：基台；运料机构，所述运料机构用于承载产品料盘进行上料及分选下料；产品扫描机构，用于对上料工位上的待测产品进行扫描纪录；产品测试工站，所述产品测试工站用于对产品进行不同信号性能的测试；产品分料机构，所述产品分料机构用于将上料工位上的产品搬运到产品测试工站上进行测试。本实用新型专利技术提供的测试装置通过运料机构进行产品的上料测试和产品的下料分选；测试装置上的产品在分料机构的搬运下进行上料测试和分选下料，分选下料效率高；测试装置上的空料盘搬运机构快速的对上料工位和分选工位的空料盘进行搬运，测试装置整体运行效率高，产品测试效率高。产品测试效率高。产品测试效率高。
【技术实现步骤摘要】
一种测试装置及测试设备
[0001]本技术涉及半导体测试
更具体地，涉及一种测试装置及测试设备。
技术介绍
[0002]当前，在进行半导体芯片等产品进行测试时，现有技术的测试设备一般包括机械手搬运芯片、测试模组进行测试、空料盘移栽和识别系统，可适配产品进行不同功能的测试。现有的测试设备在进行测试时，根据芯片测试时间长短适配的测试模组工位较多，每个测试组件可以同时共测试4site芯片，最高支撑28site并行测试，但此种设备测试工站较多的时候，产品的上下料效率低，等待时间较长，机械手在搬运的运行避让点较多，取放料效率低，产品料盘的搬运效率比较低，从而影响测试设备的运行效率。
技术实现思路
[0003]鉴于上述问题，本技术的至少一个目的在于提供一种测试装置及测试设备，提高了产品的测试及搬运效率，自动化程度高，可高效的对产品进行多种信号性能测试。
[0004]为达到上述目的，本技术采用下述技术方案：
[0005]本技术的第一个实施例提供一种测试装置，所述测试装置包括：基台；
[0006]运料机构，所述运料机构包括上料工位、分选工位、上空料盘工位和下空料盘工位，所述运料机构用于承载产品料盘进行上料及分选下料；
[0007]产品扫描机构，设置于所述运料机构的上料工位的边侧，用于对上料工位上的待测产品进行扫描纪录；
[0008]产品测试工站，所述产品测试工站用于对产品进行不同信号性能的测试；
[0009]产品分料机构，所述产品分料机构用于将上料工位上的产品搬运到产品测试工站上进行测试，在测试完成后，将产品测试工站上的产品搬运到分选工位进行分选下料；
[0010]空料盘搬运机构，所述空料盘搬运机构用于将上料工位处的空料盘搬运至下空料盘工位或分选工位。
[0011]优选地，所述产品分料机构包括机械手和设置在机械手上的移料组件，所述移料组件用于对产品测试工站上的产品进行取料和放料的切换。
[0012]优选地，所述移料组件包括移料支座、第一移料部件和第二移料部件，其中，所述第一移料部件和第二移料部件设置在移料支座的两侧，所述第一移料部件和第二移料部件用于在移料支座的旋转下进行取料和放料的切换。
[0013]优选地，所述移料组件包括移料支座、第一移料部件和第二移料部件，其中，所述第一移料部件和第二移料部件设置在移料支座的一侧，所述第一移料部件和第二移料部件用于在移料支座的平移下进行取料和放料的切换。
[0014]优选地，在基台上的产品暂存平台，所述产品暂存平台用于产品在检测过程中的存放。
[0015]优选地，所述空料盘搬运机构包括设置于所述运料机构上方的搬运支板，所述搬
运支板上设置有搬运模组，所述搬运模组上设置有提升模组，所述提升模组用于将空料盘提升，所述搬运模组用于对空料盘进行搬运。
[0016]优选地，所述产品扫描机构包括第一直线移动模组、设置在所述第一直线移动模组活动端的第二直线移动模组以及设置于所述第二直线移动模组的活动端的视觉扫描器。
[0017]优选地，所述产品测试工站包括测试模组，所述测试模组的下侧设置有测试台，所述测试模组的下端设置有与测试台相对应的快拆测试压头。
[0018]优选地，所述测试模组设置有多个，多个测试模组分别测试产品的不同性能或者同时测试产品的相同性能。
[0019]本技术的第二个实施例还提供一种测试设备，其特征在于，包括基架，所述基架承载所述的测试装置。
[0020]本技术的有益效果如下：
[0021]本技术提供的测试装置通过运料机构进行产品的上料测试和产品的下料分选，产品上下料和分选效率高，产品运料等待时间短，测试效率高；测试装置上的产品在分料机构的搬运下进行上料测试和分选下料，分料机构上的机械手控制移料组件进行搬运测试，搬运效率高，测试完成后，移料组件将产品移送至分选工位，运行快速，分选下料效率高；测试装置上的空料盘搬运机构快速的对上料工位和分选工位的空料盘进行搬运，测试装置整体运行效率高；测试装置上的多个产品测试工站，产品在分料机构的搬运下，进行多种信号功能的测试，测试功能齐全。本技术提供的测试设备自动化程度高，产品测试效率高，具备大规模批量自动化检测能力。
附图说明
[0022]下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细的说明。
[0023]图1示出本技术所提供测试装置的结构示意图。
[0024]图2示出本技术所提供测试装置的产品分料机构的结构示意图。
[0025]图3示出本技术所提供测试装置的移料组件的结构示意图。
[0026]图4示出本技术所提供测试装置的产品扫描的结构示意图。
[0027]图5示出本技术所提供测试装置的产品测试工站的结构示意图。
[0028]图6示出本技术所提供测试装置的空料盘搬运机构的结构示意图。
[0029]图7示出本技术所提供测试设备的结构示意图。
具体实施方式
[0030]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0031]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0032]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0033]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0034]本实施例提供的测试装置主要对大批量、多信号性能的产品进行测试，测试效率高，分选下料效率高，现有的测试设备在测试时，测试工站较多的时候，产品的上下料效率低，等待时间较长，机械手在搬运的运行避让点较多，取放料效率低，产品料盘本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种测试装置，其特征在于，所述测试装置包括：基台（1）；运料机构（2），所述运料机构（2）包括上料工位（21）、分选工位（22）、上空料盘工位（23）和下空料盘工位（24），所述运料机构（2）用于承载产品料盘进行上料及分选下料；产品扫描机构（3），设置于所述运料机构（2）的上料工位（21）的边侧，用于对上料工位（21）上的待测产品进行扫描纪录；产品测试工站（4），所述产品测试工站（4）用于对产品进行不同信号性能的测试；产品分料机构（5），所述产品分料机构（5）用于将上料工位（21）上的产品搬运到产品测试工站（4）上进行测试，在测试完成后，将产品测试工站（4）上的产品搬运到分选工位（22）进行分选下料；空料盘搬运机构（6），所述空料盘搬运机构（6）用于将上料工位（21）处的空料盘搬运至下空料盘工位（24）或分选工位（22）。2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述产品分料机构（5）包括机械手（51）和设置在机械手（51）上的移料组件（52），所述移料组件（52）用于对产品测试工站（4）上的产品进行取料和放料的切换。3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述移料组件（52）包括移料支座（521）、第一移料部件（522）和第二移料部件（523），其中，所述第一移料部件（522）和第二移料部件（523）设置在移料支座（521）的两侧，所述第一移料部件（522）和第二移料部件（523）用于在移料支座（521）的旋转下进行取料和放料的切换。4.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述移料组件（52）包括移料支座（521）、第一移料部件（522）和第二移料部件...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯利民，蔡灿承，
申请(专利权)人：苏州华兴源创科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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