【技术实现步骤摘要】
一种颗粒物过滤收集装置
[0001]本技术涉及颗粒物过滤回收
，具体涉及一种颗粒物过滤收集装置。
技术介绍
[0002]随着真空技术的不断发展，真空技术被广泛应用于生产和科学研究领域。真空技术是建立低于大气压力的物理环境，以及在此环境中进行工艺制作、物理测量和科学试验等所需的技术。真空技术主要包括真空获得、真空测量、真空检漏和真空应用四个方面。在真空技术发展中，真空获得技术尤为重要，真空获得技术为通过机械、物理或化学等手段在特定容器中获得真空的专门技术。
[0003]目前比较常见的真空获得技术是采用所需真空环境的密闭容器通过抽气管路与真空泵直接连通，通过真空泵的抽气，将所需真空环境的密闭容器达到真空状态。但是一般所需真空环境的密闭容器中的空间较为复杂，通常会存在粉尘和颗粒物，这将会导致粉尘和颗粒物直接被真空泵抽取，进入到真空泵中，易堵塞真空泵，导致真空泵高负载运转造成卡死等异常现象，降低真空泵的使用寿命。
[0004]因此，现有的真空获得技术普遍存在颗粒物抽入真空泵中，造成真空泵卡死，降低真空泵的使用寿
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种颗粒物过滤收集装置，其特征在于，所述颗粒物过滤收集装置包括：过滤收集装置本体，设于密闭容器与真空泵之间，所述过滤收集装置本体的两侧分别设有进气口和出气口，所述进气口与所述密闭容器连接，所述出气口与所述真空泵连接，所述出气口的高度高于所述进气口的高度；过滤机构，设于所述过滤收集装置本体之中，所述过滤机构包括倾斜方向互为相反设置的第一过滤组件和第二过滤组件，其中，所述第一过滤组件包括若干个以第一倾斜角度设置的第一过滤板，所述第一过滤板上设有若干第一过滤孔，所述第二过滤组件包括若干个以第二倾斜角度设置的第二过滤板，所述第二过滤板上设有若干的第二过滤孔，其中，所述第一过滤孔的孔径大于所述第二过滤孔的孔径；收集机构，设于所述进气口远离所述过滤机构的一侧，被抽气体中的颗粒物从进气口入，经过过滤机构的阻挡落入收集机构以实现颗粒物的过滤收集，所述收集机构包括收集组件和控制板，所述控制板设于所述收集组件朝向所述过滤机构的开口一侧，通过所述控制板的开合以控制所述收集组件收集颗粒物。2.根据权利要求1所述的颗粒物过滤收集装置，其特征在于，所述第一过滤板设于过滤机构靠近所述进气口的一侧，第一倾斜角度为45
‑
75
°
。3.根据权利要求1所述的颗粒物过滤收集装置，其特征在于，所述第二过滤板设于过滤机构靠近所述出气口的一侧，第二倾斜角度为4...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐吉红，刘德林，戴文锦，朱帅，董国庆，文国昇，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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