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一种颗粒物过滤收集装置制造方法及图纸
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文档序号:36227526
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本实用新型提供了一种颗粒物过滤收集装置,该装置包括:过滤收集装置本体,设于密闭容器与真空泵之间,过滤收集装置本体的两侧分别设有进气口和出气口;过滤机构,设于过滤收集装置本体之中,过滤机构包括相反倾斜方向设置的第一过滤组件和第二过滤组件,其中...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。
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