激光退火装置及激光退火系统制造方法及图纸

本公开关于一种激光退火装置及激光退火系统。涉及激光退火技术领域。激光退火装置包括激光发射器、补偿机构和出光镜组。补偿机构包括分光组件、第一翻转组件、第二翻转组件和光路引导组件；分光组件用于将激光发射器发射的激光至少分为第一光束和第二光束；第一翻转组件和第二翻转组件用于将第一光束进行不同方向上的翻转。出光镜组光路引导组件用于引导第一光束在依次经过第一翻转组件和第二翻转组件后照射至出光镜组，以及引导第二光束照射至出光镜组，并与翻转后的第二光束叠加。并与翻转后的第二光束叠加。并与翻转后的第二光束叠加。

【技术实现步骤摘要】
激光退火装置及激光退火系统


[0001]本公开涉及激光退火
，具体而言，涉及一种激光退火装置及激光退火系统。

技术介绍

[0002]目前，采用多晶硅薄膜晶体管的显示面板应用较为广泛，在制造过程中，通常采用ELA(Excimer Laser Annealing，准分子激光退火)工艺，对基板上的非晶硅(A
‑
Si)进行照射，使其熔融后再结晶变成多晶硅(P
‑
Si)。但现有激光退火形成的多晶硅晶粒的均匀性较低，影响薄膜晶体管的迁移率等电学特性的均一性，从而导致显示不良。
[0003]需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

[0004]本公开的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种激光退火装置及激光退火系统，可提高激光的均匀性，有利于降低显示不良的风险。
[0005]根据本公开的一个方面，提供一种激光退火装置，包括：
[0006]激光发射器，用于发射激光；
[0007]补偿机构，包括分光组件、第一翻转组件、第二翻转组件和光路引导组件；所述分光组件用于将所述激光发射器发射的激光至少分为第一光束和第二光束；所述第一翻转组件和所述第二翻转组件用于将所述第一光束进行不同方向上的翻转；
[0008]出光镜组；所述光路引导组件用于引导所述第一光束在依次经过所述第一翻转组件和所述第二翻转组件后照射至所述出光镜组，以及引导所述第二光束照射至所述出光镜组，并与翻转后的所述第二光束叠加。
[0009]在本公开的一种示例性实施方式中，所述第一翻转组件包括沿第一方向分布的第一柱面透镜和第二柱面透镜，所述第一柱面透镜和所述第二柱面透镜的柱面相向设置；所述第一柱面透镜和所述第二柱面透镜的中轴线平行，且垂直于所述第一方向延伸。
[0010]在本公开的一种示例性实施方式中，所述第二翻转组件包括沿所述第一方向分布的第三柱面透镜和第四柱面透镜，所述第三柱面透镜和所述第四柱面透镜的柱面相向设置；所述第三柱面透镜和所述第四柱面透镜的中轴线平行，且垂直于所述第一方向延伸；所述第三柱面透镜和所述第四柱面透镜的中轴线与所述第一柱面透镜和所述第二柱面透镜的中轴线垂直。
[0011]在本公开的一种示例性实施方式中，所述第一柱面透镜、所述第二柱面透镜、所述第三柱面透镜和所述第四柱面透镜沿沿所述第一方向直线分布，且所述第二柱面透镜与所述第三柱面透镜为一体结构。
[0012]在本公开的一种示例性实施方式中，所述光路引导组件包括第一反射镜组和第二反射镜组，所述第一反射镜组用于将所述第一光束反射至所述第一翻转组件；所述第二反
射镜组用于将经过所述第二翻转组件的第一光束和来自所述分光组件的第二光束叠加后传播至所述出光镜组。
[0013]在本公开的一种示例性实施方式中，所述分光组件包括第一分光镜。
[0014]在本公开的一种示例性实施方式中，所述第一反射镜组包括第一反射镜；所述第二反射镜组包括第二反射镜和第二分光镜；
[0015]所述第二分光镜、所述分光组件和所述出光镜组沿第一直线轨迹分布，所述第一直线轨迹沿所述第一方向延伸；所述第二分光镜位于所述出光镜组和所述第二分光镜之间；
[0016]所述第一翻转组件、所述第二翻转组件、所述第一反射镜和所述第二反射镜沿第二直线轨迹分布，所述第二直线轨迹沿所述第一方向延伸，且与所述第一直线轨迹平行；所述第一翻转组件和所述第二翻转组件位于所述第一反射镜和所述第二反射镜之间；
[0017]所述第一反射镜用于将所述第一光束反射至所述第一翻转组件；所述第二反射镜用于将经过所述第二翻转组件的第一光束反射至所述第二分光镜；所述第二分光镜用于将来自所述第二翻转组件的第一光束和来自所述分光组件的第二光束叠加后引导至所述出光镜组。
[0018]在本公开的一种示例性实施方式中，所述第一翻转组件用于在长轴方向上翻转所述第一光束；所述第二翻转组件用于在短轴方向上翻转所述第一光束；所述长轴方向和所述短轴方向垂直。
[0019]在本公开的一种示例性实施方式中，所述第一分光镜和所述第二分光镜的透射率相同。
[0020]在本公开的一种示例性实施方式中，所述激光退火装置还包括：
[0021]线光源机构，用于将所述激光发射器发出的激光调整为线性的光束，并传播至所述分光组件。
[0022]在本公开的一种示例性实施方式中，所述线光源机构包括第一聚光组件、第二聚光组件和整形调节组件；所述第一聚光组件和所述第二聚光组件用于沿不同方向聚光，以形成线性的光束；所述整形调节组件用于调节光束的形状和位置。
[0023]在本公开的一种示例性实施方式中，所述第一聚光组件包括第一聚光镜组和第二聚光镜组，所述整形调节组件包括第一整形镜组、第二整形镜组、第一调节镜组和第二调节镜组；
[0024]所述激光退火装置还包括第三反射镜和第四反射镜；
[0025]所述第一聚光镜组、所述第一整形镜组、所述第二聚光组件、所述第二整形镜组、所述第一调节镜组和所述第三反射镜沿第三直线轨迹分布，所述第三直线轨迹沿所述第一方向延伸，且位于所述第一直线轨迹远离所述第二直线轨迹的一侧；所述第一整形镜组、所述第二聚光组件、所述第二整形镜组、所述第一调节镜组位于所述第一聚光镜组和所述第三反射镜之间；
[0026]所述第四反射镜、所述第二调节镜组、所述第二聚光镜组、所述第二分光镜、所述分光组件和所述出光镜组沿所述第一直线轨迹分布；所述第二调节镜组位于所述第四反射镜和所述第二聚光镜组之间；
[0027]所述第三反射镜用于将经过所述第一聚光镜组、所述第一整形镜组、所述第二聚
光组件、所述第二整形镜组、所述第一调节镜组的光束反射至所述第四反射镜；所述第四反射镜用于将来自所述第三反射镜的光束反射至所述第二调节镜组；
[0028]所述第一整形镜组和所述第二整形镜组用于对光束进行整形；所述第一调节镜组和所述第二调节镜组用于对光束的尺寸和/或位置进行调节。
[0029]在本公开的一种示例性实施方式中，所述激光退火装置还包括：
[0030]聚光组件，包括第五反射镜组和聚焦镜组；
[0031]所述出光镜组用于将来自所述补偿机构的光束反射至所述第五反射镜组；所述聚焦镜组用于对来自所述第五反射镜组的光束的形状进行调节。
[0032]根据本公开的一个方面，提供一种激光退火系统，包括上述任意一项所述的激光退火装置。
[0033]本公开激光退火装置及系统，可通过分光组件将激光发射器发射的一束激光分为第一光束和第二光束，通过第一翻转组件和第二翻转组件对第一光束进行两个不同方向的翻转，再与第二光束叠加，实现互相补偿，使叠加后的光束的能量更加均匀，有利于使激光退火后的多晶硅晶粒差异缩小，从而降低发生显示不良的风险。
[0034]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光退火装置，其特征在于，包括：激光发射器，用于发射激光；补偿机构，包括分光组件、第一翻转组件、第二翻转组件和光路引导组件；所述分光组件用于将所述激光发射器发射的激光至少分为第一光束和第二光束；所述第一翻转组件和所述第二翻转组件用于将所述第一光束进行不同方向上的翻转；出光镜组；所述光路引导组件用于引导所述第一光束在依次经过所述第一翻转组件和所述第二翻转组件后照射至所述出光镜组，以及引导所述第二光束照射至所述出光镜组，并与翻转后的所述第二光束叠加。2.根据权利要求1所述的激光退火装置，其特征在于，所述第一翻转组件包括沿第一方向分布的第一柱面透镜和第二柱面透镜，所述第一柱面透镜和所述第二柱面透镜的柱面相向设置；所述第一柱面透镜和所述第二柱面透镜的中轴线平行，且垂直于所述第一方向延伸。3.根据权利要求2所述的激光退火装置，其特征在于，所述第二翻转组件包括沿所述第一方向分布的第三柱面透镜和第四柱面透镜，所述第三柱面透镜和所述第四柱面透镜的柱面相向设置；所述第三柱面透镜和所述第四柱面透镜的中轴线平行，且垂直于所述第一方向延伸；所述第三柱面透镜和所述第四柱面透镜的中轴线与所述第一柱面透镜和所述第二柱面透镜的中轴线垂直。4.根据权利要求3所述的激光退火装置，其特征在于，所述第一柱面透镜、所述第二柱面透镜、所述第三柱面透镜和所述第四柱面透镜沿沿所述第一方向直线分布，且所述第二柱面透镜与所述第三柱面透镜为一体结构。5.根据权利要求1所述的激光退火装置，其特征在于，所述光路引导组件包括第一反射镜组和第二反射镜组，所述第一反射镜组用于将所述第一光束反射至所述第一翻转组件；所述第二反射镜组用于将经过所述第二翻转组件的第一光束和来自所述分光组件的第二光束叠加后传播至所述出光镜组。6.根据权利要求5所述的激光退火装置，其特征在于，所述分光组件包括第一分光镜。7.根据权利要求6所述的激光退火装置，其特征在于，所述第一反射镜组包括第一反射镜；所述第二反射镜组包括第二反射镜和第二分光镜；所述第二分光镜、所述分光组件和所述出光镜组沿第一直线轨迹分布，所述第一直线轨迹沿所述第一方向延伸；所述第二分光镜位于所述出光镜组和所述第二分光镜之间；所述第一翻转组件、所述第二翻转组件、所述第一反射镜和所述第二反射镜沿第二直线轨迹分布，所述第二直线轨迹沿所述第一方向延伸，且与所述第一直线轨迹平行；所述第一翻转组件和所述第二翻转组件位于所述第一反射镜和所述第二反射镜之间；所述第一反射镜用于将所述第一光束反射至所述第一翻转组件；所述第二反射镜用于将经过所述第二翻转组件的第一光束反射至所述第二分光镜；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈科全，路兆里，全祥皓，李若尧，江玲，刘晓锋，王丙海，于泽，倪仁旺，熊月，张苁，王云飞，易靖洋，罗平，季子云，罗晓霜，程正东，
申请(专利权)人：重庆京东方显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：