一种半导体加工用烤箱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体加工用烤箱，涉及烤箱技术领域，该半导体加工用烤箱包括烤箱本体，该烤箱本体内部设置有第一腔体和第二腔体，且在第一腔体和第二腔体之间设置有隔板；所述的第一腔体的顶部固定安装有第一加热器，且在第二腔体的底部固定安装有第二加热器；当外部空气潮湿的时候，潮湿的空气势必会对第一腔体内的温度产生影响，为此将成品的半导体放入到网格板上，将网格板放入到第二腔体中的C型滑架上排列分布，然后将第二密封门关闭，通过控制面板控制第二加热器进行加热，从而实现半导体的烘干；然后真空泵对第二腔体内的空气进行抽取，减少空气中的水分，提高烘干效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体加工用烤箱


[0001]本技术具体涉及烤箱
，具体是一种半导体加工用烤箱。

技术介绍

[0002]在半导体的制造过程中，需要借助烘箱对半导体进行加热，以使得半导体表面涂覆的材料固化，以确保半导体在后续的使用过程中，具有良好的工作性能。
[0003]中国专利申请号202123368660.X公开一种半导体高温烘箱，属于烘箱
，其主要针对现有的半导体烘箱没有设置对半导体固定的装置的问题，提出如下技术方案,包括烘箱本体，烘箱本体内腔的底部设置有加热装置，加热装置的上方设置有固定组件，固定组件包括支撑架，支撑架的两端设置有第一固定架，支撑架的中部设置有第二固定架，第二固定架的两侧和两组第一固定架的相对面分别均匀设置有多组限位板，烘箱本体的一端设置有鼓风组件，箱门的一端与烘箱本体的一端铰链连接，箱门的另一端通过锁块固定在烘箱本体上。
[0004]现有的半导体高温烘箱只有一种烘干模式，当外界空气较为潮湿的时候，鼓风机吹进去的空气是潮湿的，导致烘箱内部的半导体烘干效率减缓；对于一些需要快速烘干的半导体无法满足快速烘干的目的。为此，本技术提供一种能够进行常规烘干和快速烘干的烘箱，以满足不同工作环境和不同要求的半导体烘干。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种半导体加工用烤箱，以解决现有的半导体高温烘箱只有一种烘干模式，当外界空气较为潮湿的时候，鼓风机吹进去的空气是潮湿的，导致烘箱内部的半导体烘干效率减缓；对于一些需要快速烘干的半导体无法满足快速烘干的目的的问题。r/>[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种半导体加工用烤箱，包括烤箱本体，该烤箱本体内部设置有第一腔体和第二腔体，且在第一腔体和第二腔体之间设置有隔板；所述的第一腔体的顶部固定安装有第一加热器，且在第二腔体的底部固定安装有第二加热器；所述的第一腔体和第二腔体内均设置有温度传感器，并与控制面板电性连接；
[0008]所述的烤箱本体的顶部嵌装有两个风机；所述的烤箱本体的外部固定安装有真空泵；所述的真空泵与第二腔体相连通。
[0009]作为本技术的进一步技术方案，所述的第一加热器和第二加热器均通过导线与控制面板连接；所述的控制面板嵌装在烤箱本体上端；
[0010]所述的真空泵和风机均通过导线与控制面板连接。
[0011]作为本技术的进一步技术方案，所述的烤箱本体上端的一侧开设有通风口，该通风口与第一腔体互通。
[0012]作为本技术的进一步技术方案，所述的第一腔体和第二腔体的内壁上均呈对
称式安装多个C型滑架；多个所述的C型滑架两个为一组，每组所述的C型滑架内滑动连接有网格板。
[0013]作为本技术的进一步技术方案，所述的第一腔体和第二腔体的外侧设置有第一密封门和第二密封门，且第一密封门和第二密封门与烤箱本体通过铰链活动连接。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]1.本技术，在正常使用的时候，可以将成品的半导体放入到网格板上，将网格板放入到第一腔体中的C型滑架上排列分布，然后将第一密封门关闭，通过控制面板控制风机和第一加热器打开，然后风机将第一加热器产生的热量吹送到半导体上，从而实现对半导体的烘干，在烤箱本体的外侧开设有通风口，以便于第一腔体内的空气正常流通；
[0016]2.本技术，当外部空气潮湿的时候，潮湿的空气势必会对第一腔体内的温度产生影响，为此将成品的半导体放入到网格板上，将网格板放入到第二腔体中的C型滑架上排列分布，然后将第二密封门关闭，通过控制面板控制第二加热器进行加热，从而实现半导体的烘干；然后真空泵对第二腔体内的空气进行抽取，减少空气中的水分，提高烘干效率；
[0017]3.本技术，网格板上开设有若干通孔，以便于加快热量的穿透效果，从而来提高半导体的烘干效率；
[0018]4.本技术，还可以将半导体放入到第一腔体和第二腔体中，从而可以同时工作，可以单次提高半导体的烘干数量。
附图说明
[0019]图1是本技术的立体结构示意图。
[0020]图2是本技术中图1的右视图。
[0021]图3是本技术的平面结构示意图。
[0022]图4是本技术中图3的A
‑
A剖视图。
[0023]图中：1
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烤箱本体，2
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控制面板，3
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风机，4
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第一腔体，5
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第二腔体，6
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通风口，7
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第一密封门，8
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第二密封门，9
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第一加热器，10
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第二加热器，11
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C型滑架，12
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网格板，13
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真空泵。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1
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4，本技术实施例中，一种半导体加工用烤箱，包括烤箱本体1，该烤箱本体1内部设置有第一腔体4和第二腔体5，且在第一腔体4和第二腔体5之间设置有隔板；所述的第一腔体4的顶部固定安装有第一加热器9，且在第二腔体5的底部固定安装有第二加热器10；所述的第一腔体4和第二腔体5内均设置有温度传感器，并与控制面板2电性连接；
[0026]所述的烤箱本体1的顶部嵌装有两个风机3；所述的烤箱本体1的外部固定安装有真空泵13；所述的真空泵13与第二腔体5相连通。
[0027]本实施例中，所述的烤箱本体1上端的一侧开设有通风口6，该通风口6与第一腔体4互通；所述的第一腔体4和第二腔体5的内壁上均呈对称式安装多个C型滑架11；多个所述的C型滑架11两个为一组，每组所述的C型滑架11内滑动连接有网格板12。
[0028]通过采用上述技术方案，在正常使用的时候，可以将成品的半导体放入到网格板12上，将网格板12放入到第一腔体4中的C型滑架11上排列分布，然后将第一密封门7关闭，通过控制面板2控制风机3和第一加热器9打开，然后风机3将第一加热器9产生的热量吹送到半导体上，从而实现对半导体的烘干，在烤箱本体1的外侧开设有通风口6，以便于第一腔体4内的空气正常流通。
[0029]本实施例中，所述的第一加热器9和第二加热器10均通过导线与控制面板2连接；所述的控制面板2嵌装在烤箱本体1上端；所述的真空泵13和风机3均通过导线与控制面板2连接。
[0030]具体一点的，当外部空气潮湿的时候，潮湿的空气势必会对第一腔体4内的温度产生影响，为此本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体加工用烤箱，其特征在于：包括烤箱本体（1），该烤箱本体（1）内部设置有第一腔体（4）和第二腔体（5），且在第一腔体（4）和第二腔体（5）之间设置有隔板；所述的第一腔体（4）的顶部固定安装有第一加热器（9），且在第二腔体（5）的底部固定安装有第二加热器（10）；所述的第一腔体（4）和第二腔体（5）内均设置有温度传感器，并与控制面板（2）电性连接；所述的烤箱本体（1）的顶部嵌装有两个风机（3）；所述的烤箱本体（1）的外部固定安装有真空泵（13）；所述的真空泵（13）与第二腔体（5）相连通。2.根据权利要求1所述的半导体加工用烤箱，其特征在于：所述的第一加热器（9）和第二加热器（10）均通过导线与控制面板（2）连接；所述的控制面板（2）嵌装在烤箱本...

【专利技术属性】
技术研发人员：伍永为，刘丽娟，陈香花，
申请(专利权)人：佛山科锐光电有限公司，
类型：新型
国别省市：