成象装置制造方法及图纸

彩色显示装置具有抽空的容器，其中至少容纳在基底上排列了多个表面传导电子发射器件的电子束产生源，和响应来自所述电子束产生源的电子束辐射而发光的三基色红、绿、蓝荧光物质。设置了一调制器，它根据图象信号调制照射在荧光物质上的电子束，并具有对图像信号进行γ校正的γ校正器。调制器根据预先由γ校正器校正的图像信号调制电子束。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电子源和作为其应用的一种成象装置，诸如显示装置。更具体地说，本专利技术涉及一种成象装置和成象方法，其中多个冷阴极电子源在一个平面中以二维的方式排列，以提供色彩显示。已知的电子发射装置有两种，即热离子阴极和冷阴极电子源。冷阴极电子源的例子是场发射型的电子发射装置(以下缩写为FE)、金属/绝缘物/金属型(以下缩写为MIM)、和表面传导发射型(以下缩写为SCE)。FE型的已知的例子由W.P.Dyke和W.W.Dolan在AdvanceinElectronPhysics，8.89(1956)上的"Fieldemission"的论文中和由C.A.Spindt在J.Appl.Phys.，47.5248(1976)上的"Physicalpropertiesofthin-filmfieldemissioncathodeswithmolybdenumcones"的论文中进行了描述。MIM型的一个已知例子由C.A.Mead在J.Appl.Phys.，32.616(1961)上的论文"Thetunnel-emissionamplifier"中进行了描述。SCE型的一个已知例子，由M.I.Elinson在Radio.Eng.ElectronPhys.，10(1965)中进行了描述。该SCE型利用了在制作在一个基底上的小区域薄膜中使电流平行于膜的表面流过而产生电子发射的现象。已报告了这种表面传导电子发射器件的各种例子。根据上述Elinson的一种器件依赖于一层SnO2薄膜。其他的例子采用了Au薄膜(G.Dillmer"ThinSolid Films"，9.319(1972))、In2O3/SnO2薄膜(M.Harwell和C.G.Fonstad“IEEE Trans.E.D.Conf.”，519(1975))、和碳薄膜(Hisashi Araki等人"Vacuum"，Vol.26，No.1，p.22(1983))。图33显示了M.Hartwell的器件的构造。该器件是典型的表面传导电子发射器件。如图33所示，标号2501表示一绝缘基底。标号2502表示一H形的、用于制作电子发射区的薄膜。薄膜2502包括用溅射制成的金属氧化物薄膜。一电子发射区2503用将在下面描述的、叫做“成形”的电化工艺制成。标号2504表示一薄膜，它包括制作在薄膜上的电子发射区2503，该薄膜用于形成电子发射区。此外，L1被设定为0.5-1mm，而W被设定为0.1mm。在这些传统的表面传导电子发射器件中，电子发射区2503一般是利用所谓的“成形”起电工艺制作在薄膜2502上的。该薄膜用于形成电子发射区。根据该成形工艺，在用于制作电子发射区的薄膜2502上加有一电压，以局部地破坏、变形或改变薄膜2502的性质并形成具有高电阻的电子发射区2503。该成形工艺在用于形成电子发射区的薄膜2502的一部分上造成了裂缝。电子从裂缝的附近被发射出来。在已受到上述成形处理的表面传导电子发射器件中，将一电压加到薄膜2502上，且使一电流经过该器件，从而从电子发射区2503发射出电子。在这些传统的表面传导电子发射器件的实际应用中，遇到了各种问题。然而，本专利技术者通过在以下所述改进方面的深入的研究，解决了这些实际问题。由于上述表面传导电子发射器件结构简单且容易制作，所以一个优点是可在大的表面区域设置大量的器件。因此，已研究了利用这一特征的多种应用。例如，可提到的有电子束源和显示装置。作为其中若干表面传导电子发射器件形成一个阵列的器件的例子，可提到的有一种电子源，其中表面传导电子发射器件被平行地排列且各器件的两端均通过连线连接以获得一行，其中若干行被排列在一个阵列中(例如，参见本申请人递交的日本专利申请公开1-031332号)。另外，在诸如显示装置之类的成象装置中，利用液晶的平面型显示器最近变得流行起来，以代替CRT。然而，由于这种显示器自己不发光，所以一个问题是它们需要背景光。因此，需要开发一种可自己发光的显示装置。由于上述表面传导电子发射器件结构简单且容易制作，所以一个优点是可在大的表面区域上设置大量的器件。因此，利用这一特征有大量的应用。在利用上述已知的表面传导电子发射器件制作的原型成象装置中，遇到了某些问题。现在来描述这些问题。例如，如在日本专利公开45-31615号的说明书中所描述的，已经开发了如图34和35所示的显示装置。图35表示从图34中的箭头A的方向所看到的显示装置。该显示装置包括串联的横向电流电子发射体2512和条形的透明电极2514;适当的设置电极2514，以与电子发射体2512一起形成晶格。每个均具有小孔2513’的玻璃板2513被设置在横向电流电子发射体2512和透明电极2514之间。以适当的方式设置玻璃板2513，从而使孔2513’处在与横向电流电子发射体2512和透明电极2514相交的位置。另外，在孔2513’中封闭有气体。由于该气体的放电，只有发射电子的横向电流电子发射体2512和加有加速电压E2的透明电极2514的相交处发射光。虽然在上述日本专利公开45-31615号中没有详细地描述横向电流电子发射体2512，但所公布的材料(一金属薄膜，一NESA膜)和颈部分2512的结构都与上述表面传导电子发射器件的相同，所以相信所公布的器件属于表面传导电子发射器件的范围。(另外，本申请的专利技术人所用的术语“表面传导电子发射器件”与薄膜手册中的描述相符合。)上述显示装置所遇到的问题如下(1)从横向电流电子发射体发射的电子得到了加速并与气体分子碰撞，以在显示装置中产生放电。然而，即使相同的电流通过横向电流电子发射体，放电所发射的光的亮度也不一致，而且就是对同一象素也有亮度的增减现象。这是由于放电的强度与气体的状态有密切关系，因而导致了很差的可控制性。另一原因是横向电流电子发射体的输出在15mmHg的压强下并不总是稳定的，这是在实验中引入的。因此，上述显示装置在提供多色调显示上有困难，且这种显示装置的使用受到了限制。(2)虽然有可能通过改变封闭在上述显示装置中的气体类型来改变所发射的光的色彩，但一般借助放电光发射而获得的可见光的波长受到限制，而且并不是总能得到宽的色彩范围。另外，也有这样的情况，即放电光发射的最佳压强随着气体的类型而变化。因此，当试图改变借助单一的显示屏显示的色彩时，必须改变封闭在每个孔中的气体的类型和压强。这使得显示屏的结构非常复杂。把三个显示屏-其每个当中均封闭有不同的气体以改变色彩-叠在一起是不实际的。(3)上述显示装置具有复杂的结构，因为它是诸如横向电流电子发射体的基底、透明电极和充气孔的元件的组合。这使得难以提供成本低廉的显示装置。另外，如上述专利公开所述，放电光发射的阈值电压高达35V。这意味着需要在驱动显示屏的电路中采用具有高耐压的电器件。这也造成了显示装置成本的增加。因此，在用传统的表面传导电子发射器件的情况下，当通过引起气体放电来发光并产生色彩时，就产生了上述的问题。有一种可行的方法，它利用荧光物质来在装有表面传导电子发射器件的图象显示装置中发射光和产生色彩。然而，借助荧光物质所发出的光的亮度一般与照射到它上面的电流密度不成线性关系。另外，该特性对每种基色(红(R)、绿(G)和蓝(B))是不同的。因此本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成象装置包括： 电子束产生源，其中在基底上排列了多个表面传导电子发射器件； 三基色红、绿、蓝荧光物质，用于根据被来自所述电子束产生源的电子束辐射的情况发光；以及 调制装置，用于根据图象信号调制辐射所述荧光物质的电子束； 所述调制装置具有用于对图象信号进行γ校正的校正装置，所述调制装置根据预先由所述校正装置校正的图象信号对电子束进行调制。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山口英司，长田芳幸，鲈英俊，武田俊彦，户岛博彰，矶野青儿，铃木朝岳，外处泰之，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]