本实用新型专利技术公开一种密封组件及真空装置。密封组件包含两个环形保护件以及一第一环形密封件。两个环形保护件各自独立地包含一第一单元以及一第二单元，第一单元包含一第一卡合部以及一第二卡合部，第二单元包含一第三卡合部以及一第四卡合部，第一卡合部与第三卡合部彼此卡合，第二卡合部与第四卡合部彼此卡合。第一环形密封件设置于两个环形保护件之间。真空装置包含密封组件。空装置包含密封组件。空装置包含密封组件。
【技术实现步骤摘要】
密封组件及真空装置
[0001]本技术涉及一种密封组件及包含其的真空装置，特别涉及一种可降低腐蚀性物质的影响且有利于快速组装、不易产生永久形变的密封组件及包含其的真空装置。
技术介绍
[0002]O形环(O
‑
ring)是一种截面为圆形的环状弹性垫片，因价格便宜、制造简单、安装要求简单而成为最常见的密封元件。O形环的主要材质为合成橡胶或热塑性塑料，当接触到酸、碱、等离子体等腐蚀性物质时，易受损害，而无法提供所需的密封效果。因此，当O形环安装于有使用酸、碱、等离子体等腐蚀性物质的装置时，如何减缓酸、碱、等离子体等腐蚀性物质对O形环的影响，遂成为相关业者努力的目标。
技术实现思路
[0003]本技术的一目的在于提供一密封组件及真空装置，以解决上述问题。
[0004]依据本技术一实施方式是提供一种密封组件，包含两个环形保护件以及一第一环形密封件。两个环形保护件各自独立地包含一第一单元以及一第二单元，第一单元包含一第一卡合部以及一第二卡合部，第二单元包含一第三卡合部以及一第四卡合部，第一卡合部与第三卡合部彼此卡合，第二卡合部与第四卡合部彼此卡合。第一环形密封件设置于两个环形保护件之间。
[0005]依据本技术一实施方式，该第一单元还包含第一本体，该第一卡合部以及该第二卡合部分别一体形成于该第一本体的两个端面，该第二单元还包含第二本体，该第三卡合部以及该第四卡合部分别一体形成于该第二本体的两个端面。
[0006]依据本技术一实施方式，该第一卡合部与该第三卡合部的其中一者为第一凸结构、其中另一者为第一凹结构，该第二卡合部与该第四卡合部的其中一者为第二凸结构、其中另一者为第二凹结构。
[0007]依据本技术一实施方式，该第一凸结构及该第二凸结构各自独立地包含圆形凸块、矩形凸块、三角形凸块或卡钩凸块。
[0008]依据本技术一实施方式，该第一环形密封件包含弧形凸面，至少一该环形保护件朝向该第一环形密封件的表面形成有弧形凹槽。
[0009]依据本技术一实施方式，该密封组件还包含环形间隔件以及第二环形密封件，该第二环形密封件设置于该两个环形保护件之间，且该环形间隔件设置于该第一环形密封件及该第二环形密封件之间。
[0010]依据本技术一实施方式，该第一环形密封件及该第二环形密封件分别包含弧形凸面，该环形间隔件包含彼此相对的两个表面，该两个表面分别朝向该第一环形密封件及该第二环形密封件，且该两个表面分别形成弧形凹槽。
[0011]依据本技术一实施方式，该环形间隔件的材质包含铁氟龙。
[0012]依据本技术一实施方式，各该环形保护件的材质包含铁氟龙。
[0013]依据本技术另一实施方式是提供一种真空装置，包含一管道以及一密封组件，密封组件设置于管道中。密封组件包含两个环形保护件以及一第一环形密封件。两个环形保护件各自独立地包含一第一单元以及一第二单元，第一单元包含一第一卡合部以及一第二卡合部，第二单元包含一第三卡合部以及一第四卡合部，第一卡合部与第三卡合部彼此卡合，第二卡合部与第四卡合部彼此卡合。第一环形密封件设置于两个环形保护件之间。
[0014]依据本技术另一实施方式，该真空装置还包含：固定部，该管道形成于该固定部中；以及轴件，可活动地设置于该管道中，该密封组件套设于该轴件上，且该密封组件密封该轴件与该固定部之间的间隙。
[0015]依据本技术另一实施方式，该轴件的外表面形成有凹陷空间，该密封组件设置于该凹陷空间。
[0016]依据本技术另一实施方式，该第一单元还包含第一本体，该第一卡合部以及该第二卡合部分别一体形成于该第一本体的两个端面，该第二单元还包含第二本体，该第三卡合部以及该第四卡合部分别一体形成于该第二本体的两个端面。
[0017]依据本技术另一实施方式，该第一卡合部与该第三卡合部的其中一者为第一凸结构、其中另一者为第一凹结构，该第二卡合部与该第四卡合部的其中一者为第二凸结构、其中另一者为第二凹结构。
[0018]依据本技术另一实施方式，该第一凸结构及该第二凸结构各自独立地包含圆形凸块、矩形凸块、三角形凸块或卡钩凸块。
[0019]依据本技术另一实施方式，该第一环形密封件包含弧形凸面，至少一该环形保护件朝向该第一环形密封件的表面形成有弧形凹槽。
[0020]依据本技术另一实施方式，该真空装置还包含环形间隔件以及第二环形密封件，该第二环形密封件设置于该两个环形保护件之间，且该环形间隔件设置于该第一环形密封件及该第二环形密封件之间。
[0021]依据本技术另一实施方式，该第一环形密封件及该第二环形密封件分别包含弧形凸面，该环形间隔件包含彼此相对的两个表面，该二表面分别朝向该第一环形密封件及该第二环形密封件，且该两个表面分别形成弧形凹槽。
[0022]依据本技术另一实施方式，该环形间隔件的材质包含铁氟龙。
[0023]依据本技术另一实施方式，各该环形保护件的材质包含铁氟龙。
[0024]相较于现有技术，本技术的优点在于，通过第一环形密封件设置于两个环形保护件之间，有利于降低腐蚀性物质对第一环形密封件的影响，而可延长第一环形密封件的使用寿命。本技术的环形保护件，第一单元及第二单元是通过卡合方式连接，有利于快速组装，且可避免在组装过程中产生永久形变。
附图说明
[0025]图1是本技术一实施方式的密封组件的立体分解图；
[0026]图2是图1中密封组件的组合剖视图；
[0027]图3是图1中环形保护件的俯视分解示意图；
[0028]图4是本技术另一实施方式的环形保护件的俯视分解示意图；
[0029]图5是本技术又一实施方式的环形保护件俯视分解示意图；
[0030]图6是本技术再一实施方式的环形保护件的俯视分解示意图；
[0031]图7是本技术另一实施方式的密封组件的组合剖视图；
[0032]图8是本技术又一实施方式的密封组件的立体分解图；
[0033]图9是本技术又一实施方式的密封组件的组合剖视图；
[0034]图10是本技术又一实施方式的真空装置的局部示意图。
[0035]主要元件符号说明
[0036]10,20,30,40:密封组件
[0037]80:真空装置
[0038]81:管道
[0039]82:固定部
[0040]83:轴件
[0041]84:凹陷空间
[0042]100,100b,100c,100d,100e,200,200e:环形保护件110,110b,110c,110d,110e,210,210e,410,410a:第一单元111,211,411:第一本体
[0043]112,112b,112c,112d,212,412:第一卡合部
[0044]113,11本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种密封组件，其特征在于，该密封组件包含：两个环形保护件，各自独立地包含第一单元以及第二单元，该第一单元包含第一卡合部以及第二卡合部，该第二单元包含第三卡合部以及第四卡合部，该第一卡合部与该第三卡合部彼此卡合，该第二卡合部与该第四卡合部彼此卡合；以及第一环形密封件，设置于该两个环形保护件之间。2.如权利要求1所述的密封组件，其特征在于，该第一单元还包含第一本体，该第一卡合部以及该第二卡合部分别一体形成于该第一本体的两个端面，该第二单元还包含第二本体，该第三卡合部以及该第四卡合部分别一体形成于该第二本体的两个端面。3.如权利要求1所述的密封组件，其特征在于，该第一卡合部与该第三卡合部的其中一者为第一凸结构、其中另一者为第一凹结构，该第二卡合部与该第四卡合部的其中一者为第二凸结构、其中另一者为第二凹结构。4.如权利要求3所述的密封组件，其特征在于，该第一凸结构及该第二凸结构各自独立地包含圆形凸块、矩形凸块、三角形凸块或卡钩凸块。5.如权利要求1所述的密封组件，其特征在于，该第一环形密封件包含弧形凸面，至少一该环形保护件朝向该第一环形密封件的表面形成有弧形凹槽。6.如权利要求1所述的密封组件，其特征在于，该密封组件还包含环形间隔件以及第二环形密封件，该第二环形密封件设置于该两个环形保护件之间，且该环形间隔件设置于该第一环形密封件及该第二环形密封件之间。7.如权利要求6所述的密封组件，其特征在于，该第一环形密封件及该第二环形密封件分别包含弧形凸面，该环形间隔件包含彼此相对的两个表面，该两个表面分别朝向该第一环形密封件及该第二环形密封件，且该两个表面分别形成弧形凹槽。8.如权利要求6所述的密封组件，其特征在于，该环形间隔件的材质包含铁氟龙。9.如权利要求1所述的密封组件，其特征在于，各该环形保护件的材质包含铁氟龙。10.一种真空装置，其特征在于，该真空装置包含：管道；以及密封组件，该密封组件设置于该管道中且包含：两个环形保护件，各自独立地包含第一单元以及第二单元，该第一单元包含第一卡合部以及第二卡合部，该第二单元包含第三...
【专利技术属性】
技术研发人员：王献伟，罗庆蜀，谈文毅，
申请(专利权)人：联芯集成电路制造厦门有限公司，
类型：新型
国别省市：
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