一种用于改善拉晶环境的封气装置制造方法及图纸

技术编号:36195934 阅读:50 留言:0更新日期:2023-01-04 11:48
本实用新型专利技术公开了一种用于改善拉晶环境的封气装置,涉及直拉单晶技术领域。本实用新型专利技术包括有封气环,封气环的两侧均开设有间隙孔,封气环为一扁平的圆环,间隙孔的截面为一半圆形和一正方形的组合。本实用新型专利技术通过设置封气环能够有效改善炉内气流走向,使气流走向更为集中,可以有效的改善炉内环境,达到改善拉晶的目的,并使气流走向更为集中,减少分散气流带走的热量,有利于拉晶温度的控制,有利于晶体的生长,同样能够改善并减少分散气流带走的热量,可以降低引放的功率,有利于成本控制和单晶氧含量的控制,且安装方便,通过设置多个弹性件对半月环的位置进行调节,能够自动对环体的安装位置进行调节。对环体的安装位置进行调节。对环体的安装位置进行调节。

【技术实现步骤摘要】
一种用于改善拉晶环境的封气装置


[0001]本技术属于直拉单晶
,特别是涉及一种用于改善拉晶环境的封气装置。

技术介绍

[0002]单晶是指其内部微粒有规律地排列在一个空间格子内的晶体。其晶体结构是连续的,或者可以说,在宏观尺度范围内单晶不包含晶界,在对单晶的加工过程中,直拉单晶是其中一道重要的工序,在直拉单晶的过程中需要使用到炉内的水冷屏与内导流筒,但现有技术中炉内气流走向容易形成分叉,不利于现场拉晶,形成的单晶品质较差,且气流从水冷屏内部及水冷屏和内导流筒间缝隙通过,形成气流双流向,同时带走水冷屏下部和内导流筒表面的温度,带走温度较多,需要更高的外部温度支持,引放及等径功率偏高,温度与石英埚反应加剧,不利于成本控制和单晶氧含量的控制。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于改善拉晶环境的封气装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为解决上述技术问题,本技术是通过以下技术方案实现的:
[0005]本技术为一种用于改善拉晶环境的封气装置,包括有封气环,所述封气环的两侧均开设有间隙孔。
[0006]进一步地,所述封气环为一扁平的圆环。
[0007]进一步地,所述间隙孔的截面为一半圆形和一正方形的组合。
[0008]进一步地,所述圆形的直径和正方形的边长相同。
[0009]进一步地,所述封气环由两个环体拼合而成。
[0010]进一步地,两个所述环体对称设置。
[0011]进一步地,所述环体包括有半月环,所述半月环的周侧均设置设置有多个弹性件,用以对半月环进行定位。
[0012]进一步地,所述弹性件包括有套筒,所述套筒固定连接在半月环的内部,所述套筒的一端滑动连接有撑杆,所述撑杆远离半月环的一端固定连接有撑板,所述套筒的内部设置有复位弹簧。
[0013]进一步地,所述半月环的上端和下端均开设有多个工作腔,所述工作腔的内部设置有弹性板,所述弹性板远离半月环的一端固定连接有滑板,所述滑板的表面为光滑的平面。
[0014]本技术具有以下有益效果:
[0015]1.本技术通过设置封气环能够有效改善炉内气流走向,使气流走向更为集中,可以有效的改善炉内环境,达到改善拉晶的目的,并使气流走向更为集中,减少分散气流带走的热量,有利于拉晶温度的控制,有利于晶体的生长,同样能够改善并减少分散气流
带走的热量,可以降低引放的功率,有利于成本控制和单晶氧含量的控制,且安装方便。
[0016]2.本技术通过环体套接在内导流筒和水冷屏之间,并通过弹性板的设置,在复位弹簧的作用下,使得套筒移动时会带动半月环挤压内导流筒,并使得撑板挤压水冷屏,由此使其连接更稳固,而且方便内导流筒和水冷屏的拆卸,以及相对位置的调整。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本技术一种用于改善拉晶环境的封气装置的结构示意图;
[0019]图2为本技术一种用于改善拉晶环境的封气装置环体的结构示意图;
[0020]图3为本技术一种用于改善拉晶环境的封气装置环体的整体剖切结构示意图;
[0021]图4为本技术一种用于改善拉晶环境的封气装置环体弹性件的剖切结构示意图;
[0022]图5为本技术一种用于改善拉晶环境的封气装置环体的局部剖切结构示意图;
[0023]图6为本技术一种用于改善拉晶环境的封气装置图5中A处的大样图。
[0024]附图中,各标号所代表的部件列表如下:
[0025]1、封气环;2、间隙孔;3、环体;4、半月环;5、弹性件;6、工作腔;7、滑板;8、弹性板;9、套筒;10、撑杆;11、复位弹簧;12、撑板。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1

6所示,本技术为一种用于改善拉晶环境的封气装置,包括有封气环1,封气环1为一扁平的圆环,封气环1的两侧均开设有间隙孔2,间隙孔2的截面为一半圆形和一正方形的组合,圆形的直径和正方形的边长相同;
[0028]在此,封气环1由两个环体3拼合而成,两个环体3对称设置;
[0029]其中,环体3包括有半月环4,半月环4的周侧均设置设置有多个弹性件5,用以对半月环4进行定位;
[0030]具体的,弹性件5包括有套筒9,套筒9固定连接在半月环4的内部,套筒9的一端滑动连接有撑杆10,撑杆10远离半月环4的一端固定连接有撑板12,套筒9的内部设置有复位弹簧11;
[0031]更进一步的,为了防止内导流筒的上沿重压损坏环体3,以及为了防止环体3重压损坏水冷屏,半月环4的上端和下端均开设有多个工作腔6,工作腔6的内部设置有弹性板8,
弹性板8远离半月环4的一端固定连接有滑板7,滑板7的表面为光滑的平面。
[0032]本实施例的一个具体应用为:在使用前将两个环体3安装在水冷屏的内部,使两个环体3位于水冷屏与内导流筒之间,在水冷屏与内导流筒之间拼合成一个完整的封气环1,在使用时通过设置封气环1能够有效改善炉内气流走向,使气流走向更为集中,可以有效的改善炉内环境,达到改善拉晶的目的,并使气流走向更为集中,减少分散气流带走的热量,有利于拉晶温度的控制,有利于晶体的生长,同样能够改善并减少分散气流带走的热量,可以降低引放的功率,有利于成本控制和单晶氧含量的控制,且安装方便;
[0033]在安装时,将环体3套接在内导流筒和水冷屏之间,并通过弹性板8的设置,在复位弹簧11的作用下,使得套筒9移动时会带动半月环4挤压内导流筒,并使得撑板12挤压水冷屏,由此使其连接更稳固,而且方便内导流筒和水冷屏的拆卸,以及相对位置的调整。
[0034]在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0035]以上公开的本技术优选实施例只是用于帮助阐述本技术。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该技术仅为所述的具体实施方式。显然,根据本说明书的内容,可作很多的修改和本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于改善拉晶环境的封气装置,其特征在于,包括有封气环(1),所述封气环(1)的两侧均开设有间隙孔(2)。2.根据权利要求1所述的一种用于改善拉晶环境的封气装置,其特征在于,所述封气环(1)为一扁平的圆环。3.根据权利要求1所述的一种用于改善拉晶环境的封气装置,其特征在于,所述间隙孔(2)的截面为一半圆形和一正方形的组合。4.根据权利要求3所述的一种用于改善拉晶环境的封气装置,其特征在于,所述圆形的直径和正方形的边长相同。5.根据权利要求1所述的一种用于改善拉晶环境的封气装置,其特征在于,所述封气环(1)由两个环体(3)拼合而成。6.根据权利要求5所述的一种用于改善拉晶环境的封气装置,其特征在于,两个所述环体(3)对称设置。7.根据权利要求5所述的一种用于改善拉晶环境的封气装置,...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨昊赵秀雷李江峰
申请(专利权)人:弘元新材料包头有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1