定位方法、检测方法和检测系统技术方案

一种定位方法、检测方法和检测系统，所述定位方法通过对待测物表面相邻的至少两个参考点进行检测，获取相应的第一待测区第一坐标系下的第一坐标信息，通过获取第一坐标系与所述第二坐标系之间的转换关系，并根据所述转换关系、所述第一待测区在所述第一坐标系下的第一坐标信息和待测区的周期性分布规律，获取所述第一待测区和其他待测区在所述第二坐标系下的第二坐标信息。由于对有限个参考点的检测，可以提高待测区的定位速度，能够根据待测区在第二坐标系下的坐标信息实现对待测点的精确定位，从而可以实现对待测物的待测区进行快速、高精度的检测。高精度的检测。高精度的检测。

【技术实现步骤摘要】
定位方法、检测方法和检测系统


[0001]本专利技术涉及半导体检测
，尤其涉及一种定位方法、检测方法和检测系统。

技术介绍

[0002]随着现代工业的发展，精密加工被用到越来越多的领域；同时，对于加工精度也有越来越高的要求。为了满足加工精度的需求，提高加工样品的合格率，需要经常对加工过程及加工的产品进行关于形貌畸变的测试，以确保畸变在可容忍范围。
[0003]在精密加工的畸变检测应用中，经常需要对待测物的设定测量点(例如，在关键位置处)的高度、膜厚或线宽进行检测。现有技术通过对待测物表面很大区域范围进行扫描从而实现对待测点的检测。当待测点数量较少时，该方法大大降低了检测效率。仅对待测点进行检测能够有效提高检测效率，然而在对特定待测点进行检测过程中，需要对待测点进行精确定位，以保证检测的精度。
[0004]现有技术难以对待测物表面特定位置进行定位，从而导致检测速度较慢，准确性较差。

技术实现思路

[0005]本专利技术解决的问题是提供一种通过定位方法、检测方法和检测系统，能够提高待测区定位的速度和精度。
[0006]为解决上述问题，本专利技术实施例提供了一种定位方法，用于对待测物中的待测区进行定位，所述方法包括：
[0007]提供检测设备，所述检测设备具有第一坐标系；
[0008]提供待测物，所述待测物具有第二坐标系；所述待测物表面具有参考点，所述参考点为所述检测设备可识别的点；
[0009]采用所述检测设备获取所述待测物中相邻的至少两个参考点在所述第一坐标系下的参考点坐标信息；
[0010]根据所述相邻的至少两个参考点在所述第一坐标系下的参考点坐标信息和待测区与所述参考点之间的位置对应关系，获取与所述至少两个参考点对应的第一待测区在所述第一坐标系下的第一坐标信息；
[0011]获取所述第一坐标系与所述第二坐标系之间的转换关系；
[0012]根据所述转换关系、所述第一待测区在所述第一坐标系下的第一坐标信息和待测区的周期性分布规律，获取所述第一待测区和其他待测区在所述第二坐标系下的第二坐标信息。
[0013]可选地，所述待测物包括多个周期性排列的待测区，所述相邻的至少两个参考点包括第一参考点；
[0014]采用所述检测设备获取所述待测物中相邻的至少两个参考点在所述第一坐标系下的参考点坐标信息的步骤包括：
[0015]对所述待测区进行初始定位处理，获取待测区的初始排列方向及第一参考点在第一坐标系下的第一参考点坐标；
[0016]通过检测设备根据所述第一参考点坐标、所述初始排列方向及待测区的排列周期对其他参考点进行查找，获取其他参考点在所述第一坐标系下的参考点坐标信息。
[0017]可选地，所述待测物边缘具有参考标记，所述参考标记与待测物中心点的连线表征第二坐标系的坐标轴的方向，所述待测物中心点表征第二坐标系的原点位置；
[0018]对所述待测区进行初始定位处理，获取待测区的初始排列方向及第一参考点在第一坐标系下的参考点坐标的步骤包括：
[0019]对所述待测物边缘进行扫描，获取所述待测物的边缘轮廓信息；
[0020]根据所述边缘轮廓获取所述待测物中心点及所述参考标记在第一坐标系下的位置坐标；
[0021]根据所述待测物中心点及所述参考标记在第一坐标系下的位置坐标，获取所述待测区的初始排列方向。
[0022]可选地，所述待测物的待测区呈周期性阵列排列方式，待测区的初始排列方向包括第一排列方向和第二排列方向；所述相邻的至少两个参考点还包括第二参考点和第三参考点；
[0023]通过检测设备根据所述参考点坐标、所述初始排列方向及待测区的排列周期对其他参考点进行查找，获取其他参考点在所述第一坐标系下的参考点坐标信息的步骤包括：
[0024]通过所述检测设备获取在所述第一排列方向上与所述第一参考点相邻的下一参考点作为第二参考点，并获取所述第二参考点在所述第一坐标系下的第二参考点坐标；
[0025]通过所述检测设备获取在所述第二排列方向上与所述第一参考点相邻的下一参考点作为第三参考点，并获取所述第三参考点在所述第一坐标系下的第三参考点坐标。
[0026]可选地，获取所述第一坐标系与所述第二坐标系之间的转换关系的步骤包括：
[0027]根据所述待测物中心点及所述参考标记在第一坐标系下的位置坐标，获取所述第一坐标系与第二坐标系之间的转换关系。
[0028]可选地，采用所述检测设备获取所述待测物中相邻的至少两个参考点在所述第一坐标系下的参考点坐标信息的步骤包括：
[0029]获取待测物表面的图像；
[0030]根据所获取的待测物表面的图像，获取相邻的至少两个参考点在所述第一坐标系下的参考点坐标信息。
[0031]可选地，所述第一参考点位于所述待测物中心点附近。
[0032]可选地，所述至少两个参考点包括第一参考点、第二参考点和第三参考点；
[0033]获取相应的第一待测区在所述第一坐标系下的第一坐标信息的步骤包括：
[0034]根据所述第一参考点坐标与所述第二参考点坐标，获取所述第一待测区的第一延伸方向和所述第一待测区在所述第一延伸方向上的第一尺寸；
[0035]根据所述第一参考点坐标与所述第三参考点坐标，获取所述第一待测区的第二延伸方向和所述第一待测区在所述第二延伸方向上的第二尺寸。
[0036]可选地，所述第一参考点、所述第二参考点和所述第三参考点的数量均为多个；所述第一参考点坐标、所述第二参考点坐标和所述第三参考点坐标为相应数量的多个；所述
第一延伸方向、所述第二延伸方向、所述第一尺寸和所述第二尺寸均为相应数量的多个；
[0037]获取所述第一待测区的第一延伸方向和所述第一待测区在所述第一延伸方向上的第一尺寸的步骤包括：获取多个所述第一延伸方向的中值，作为所述第一待测区的第一延伸方向；获取多个所述第一尺寸的中值，作为所述第一待测区在所述第一延伸方向上的第一尺寸；
[0038]获取所述第一待测区的第二延伸方向和所述第一待测区在所述第二延伸方向上的第二尺寸的步骤包括：获取多个所述第二延伸方向的中值，作为所述第一待测区的第二延伸方向；获取多个所述第二尺寸的中值，作为所述第一待测区在所述第二延伸方向上的第二尺寸。
[0039]可选地，选取任一直线作为参考直线，所述第一延伸方向采用所述第一参考点与所述第二参考点之间的连线与所述参考直线之间的第一夹角表征；多个所述第一延伸方向的中值为多个所述第一夹角的平均值、中间值或加权平均值；
[0040]所述第二延伸方向采用所述第一参考点与所述第三参考点之间的连线与所述参考直线之间的第二夹角表征；多个所述第一延伸方向的中值为多个所述第二夹角的平均值、中间值或加权平均值；
[0041]所述第一尺寸为所述第一参考点与所述第二参考点之间的第一距离；所述第一尺寸的中值为多个所述第一距离的平均值、中间值或加权平均值；
[0042本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种定位方法，用于对待测物中的待测区进行定位，其特征在于，包括：提供检测设备，所述检测设备具有第一坐标系；提供待测物，所述待测物具有第二坐标系；所述待测物表面具有参考点，所述参考点为所述检测设备可识别的点；采用所述检测设备获取所述待测物中相邻的至少两个参考点在所述第一坐标系下的参考点坐标信息；根据所述相邻的至少两个参考点在所述第一坐标系下的参考点坐标信息和待测区与所述参考点之间的位置对应关系，获取与所述至少两个参考点对应的第一待测区在所述第一坐标系下的第一坐标信息；获取所述第一坐标系与所述第二坐标系之间的转换关系；根据所述转换关系、所述第一待测区在所述第一坐标系下的第一坐标信息和待测区的周期性分布规律，获取所述第一待测区和其他待测区在所述第二坐标系下的第二坐标信息。2.根据权利要求1所述的定位方法，其特征在于，所述待测物包括多个周期性排列的待测区，所述相邻的至少两个参考点包括第一参考点；采用所述检测设备获取所述待测物中相邻的至少两个参考点在所述第一坐标系下的参考点坐标信息的步骤包括：对所述待测区进行初始定位处理，获取待测区的初始排列方向及第一参考点在第一坐标系下的第一参考点坐标；通过检测设备根据所述第一参考点坐标、所述初始排列方向及待测区的排列周期对其他参考点进行查找，获取其他参考点在所述第一坐标系下的参考点坐标信息。3.根据权利要求2所述的定位方法，其特征在于，所述待测物边缘具有参考标记，所述参考标记与待测物中心点的连线表征第二坐标系的坐标轴的方向，所述待测物中心点表征第二坐标系的原点位置；对所述待测区进行初始定位处理，获取待测区的初始排列方向及第一参考点在第一坐标系下的参考点坐标的步骤包括：对所述待测物边缘进行扫描，获取所述待测物的边缘轮廓信息；根据所述边缘轮廓获取所述待测物中心点及所述参考标记在第一坐标系下的位置坐标；根据所述待测物中心点及所述参考标记在第一坐标系下的位置坐标，获取所述待测区的初始排列方向。4.根据权利要求2或3所述的定位方法，其特征在于，所述待测物的待测区呈周期性阵列排列方式，待测区的初始排列方向包括第一排列方向和第二排列方向；所述相邻的至少两个参考点还包括第二参考点和第三参考点；通过检测设备根据所述参考点坐标、所述初始排列方向及待测区的排列周期对其他参考点进行查找，获取其他参考点在所述第一坐标系下的参考点坐标信息的步骤包括：通过所述检测设备获取在所述第一排列方向上与所述第一参考点相邻的下一参考点作为第二参考点，并获取所述第二参考点在所述第一坐标系下的第二参考点坐标；通过所述检测设备获取在所述第二排列方向上与所述第一参考点相邻的下一参考点
作为第三参考点，并获取所述第三参考点在所述第一坐标系下的第三参考点坐标。5.根据权利要求3所述的定位方法，其特征在于，获取所述第一坐标系与所述第二坐标系之间的转换关系的步骤包括：根据所述待测物中心点及所述参考标记在第一坐标系下的位置坐标，获取所述第一坐标系与第二坐标系之间的转换关系。6.根据权利要求1所述的定位方法，其特征在于，采用所述检测设备获取所述待测物中相邻的至少两个参考点在所述第一坐标系下的参考点坐标信息的步骤包括：获取待测物表面的图像；根据所获取的待测物表面的图像，获取相邻的至少两个参考点在所述第一坐标系下的参考点坐标信息。7.根据权利要求3所述的定位方法，其特征在于，所述第一参考点位于所述待测物中心点附近。8.根据权利要求1所述的定位方法，其特征在于，所述至少两个参考点包括第一参考点、第二参考点和第三参考点；获取相应的第一待测区在所述第一坐标系下的第一坐标信息的步骤包括：根据所述第一参考点坐标与所述第二参考点坐标，获取所述第一待测区的第一延伸方向和所述第一待测区在所述第一延伸方向上的第一尺寸；根据所述第一参考点坐标与所述第三参考点坐标，获取所述第一待测区的第二延伸方向和所述第一待测区在所述第二延伸方向上的第二尺寸。9.根据权利要求8所述的定位方法，其特征在于，所述第一参考点、所述第二参考点和所述第三参考点的数量均为多个；所述第一参考点坐标、所述第二参考点坐标和所述第三参考点坐标为相应数量的多个；所述第一延伸方向、所述第二延伸方向、所述第一尺寸和所述第二尺寸均为相应数量的多个；获取所述第一待测区的第一延伸方向和所述第一待测区在所述第一延伸方向上的第一尺寸的步骤包括：获取多个所述第一延伸方向的中值，作为所述第一待测区的第一延伸方向；获取多个所述第一尺寸的中值，作为所述第一待测区在所述第一延伸方向上的第一尺寸；获取所述第一待测区的第二延伸方向和所述第一待测区在所述第二延伸方向上的第二尺寸的步骤包括：获取多个所述第二延伸方向的中值，作为所述第一待测区的...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，祖建成，马砚忠，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：