大尺寸ICP供气模组与ICP设备制造技术

本发明专利技术涉及一种大尺寸ICP供气模组与ICP设备。大尺寸ICP供气模组包括供气模块与区域供气管。供气模块用于环形设置于线圈周侧，供气模块包括多个供气分块，供气分块具有供气通道，供气通道具有出气口，多个供气分块首尾可拆卸连接；供气模块包括多个供气区域，供气区域内设置有至少一个供气分块。区域供气管的数量与供气区域的数量相同，且一一对应，区域供气管用于向对应供气区域内的所有供气分块供气。将大尺寸供气模块转化为小尺寸的供气分块，可以降低制作成本且提高供气分块的通用性。通过调节不同的区域供气管实现对供气气体的调控，从而即时调控供气气体的均匀性，从而提高膜层质量。提高膜层质量。提高膜层质量。

【技术实现步骤摘要】
大尺寸ICP供气模组与ICP设备


[0001]本专利技术涉及电感耦合等离子体镀膜
，特别是涉及大尺寸ICP供气模组与ICP设备。

技术介绍

[0002]ICP设备(电感耦合等离子体)是一种对工件进行等离子体镀膜的设备，其原理是通过感应电场对ICP设备内的工作气体进行电感耦合，使工作气体形成等离子体，以对位于ICP设备的腔体内的产品的表面进行沉积或刻蚀。感应电场通常通过线圈通电后形成。
[0003]常见的ICP设备中，通过供气模组将工作气体输入至腔体内。一般地，供气模组包括输气管与筏板，输气管将工作气体通入筏板。筏板具有出气口，以供工作气体进行输出。
[0004]然而采用上述方式进行工作气体供气时，工作气体分布不够均匀，从而导致等离子体不均匀，影响成膜质量。尤其是针对一些大尺寸的ICP设备来说，上述供气模组对工作气体分布均匀性影响较为严重，大大影响膜层质量。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对大尺寸的ICP设备的工作气体分布不均匀的问题，提供一种大尺寸ICP供气模组与ICP设备。
[0006本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸ICP供气模组，其特征在于，包括：供气模块，设置于线圈周侧，所述供气模块包括多个供气分块，所述供气分块具有供气通道，所述供气通道具有出气口，多个所述供气分块首尾可拆卸连接；所述供气模块包括多个供气区域，所述供气区域内设置有至少一个所述供气分块；区域供气管，所述区域供气管的数量与所述供气区域的数量相同，且一一对应，所述区域供气管用于向对应的所述供气区域内的所有的所述供气分块供气。2.根据权利要求1所述的大尺寸ICP供气模组，其特征在于，所述供气模块沿所述线圈周侧环形设置。3.根据权利要求1所述的大尺寸ICP供气模组，其特征在于，至少部分所述供气分块为第一分块，所述第一分块具有沿基准方向相对设置的两个第一连接面，两个所述第一连接面平行设置，所述出气口设置于两个所述第一连接面之间的平面；剩余的所述供气分块为第二分块，所述第二分块具有沿基准方向相对设置的两个第二连接面，两个所述第二连接面非平行设置，所述出气口设置于两个所述第二连接面之间的平面；至少部分所述第一分块之间相互连接，对应的所述第一连接面相抵接，剩余所述第一分块与所述第二分块连接，所述第一连接面与所述第二连接面相抵接。4.根据权利要求1所述的大尺寸ICP供气模组，其特征在于，所述供气分块包括两个可拆卸设置的板体，两个所述板体均设置有供气槽，当两个所述板体连接时，所述两个板体上的两个所述供气槽对齐以形成所述供气通道。5.根据权利要求1所述的大尺寸ICP供气模组，其特征在于，所述出气口的数量为多个，多个所述出气口间隔设置；所述供气通道包括多级分气路，任一所述分气...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵成伟，邬文波，
申请(专利权)人：西实显示高新材料沈阳有限公司，
类型：发明
国别省市：