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本发明涉及一种大尺寸ICP供气模组与ICP设备。大尺寸ICP供气模组包括供气模块与区域供气管。供气模块用于环形设置于线圈周侧，供气模块包括多个供气分块，供气分块具有供气通道，供气通道具有出气口，多个供气分块首尾可拆卸连接；供气模块包括多个供...
该专利属于西实显示高新材料（沈阳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西实显示高新材料（沈阳）有限公司授权不得商用。

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