本发明专利技术涉及半导体检测设备技术领域，具体涉及一种卡盘及晶圆强度检测机构。本发明专利技术提供的一种卡盘，用于晶圆强度检测机构，包括：基座、第一夹具和第二夹具，所述基座中部设有通孔，所述第一夹具和所述第二夹具均与所述基座相连，所述第一夹具用于安装晶圆，所述第二夹具用于安装菲涅尔透镜，所述第一夹具包括至少两个所述上卡爪，所述上卡爪一端与所述基座相连，另一端伸入所述通孔内。本发明专利技术中的卡盘安装了第一夹具和第二夹具，这样使用一个卡盘即可同时固位住晶圆和菲涅尔透镜，操作简单、使用方便。用方便。用方便。
【技术实现步骤摘要】
一种卡盘及晶圆强度检测机构
[0001]本专利技术涉及半导体检测设备
，具体涉及一种卡盘及晶圆强度检测机构。
技术介绍
[0002]晶圆键合完成后，将对两晶圆间的键合强度进行检测。插刀法是常用的检测方法之一，测量时，首先，将刀片插入到已经键合好的两片晶圆中间，使两片晶圆中间产生缝隙，然后，利用相机系统从顶部对晶圆进行拍照，接着对图像进行图像处理，利用算法计算得出两晶圆之间的开口度，从而计算出键合强度。如图1所示，检测系统主要由光源模块13，菲涅尔透镜7，晶圆2以及相机系统12组成。其中，光源模块13设置在晶圆2的下方处，相机系统12设置在晶圆2的上方处，菲涅尔透镜7设置在晶圆2与光源模块13之间起到聚光的作用，光源模块13用于朝晶圆2处打光，相机系统12用于对晶圆2进行拍照。而键合晶圆强度检测需要在晶圆下放置菲涅尔透镜，这就要求夹持晶圆的卡盘必须是空心卡盘，以便光束打在晶圆上，而不会被卡盘所阻挡。
[0003]现有的空心卡盘通常是圆形环真空设计，比晶圆尺寸稍大，常见的尺寸范围从直径50毫米到超过300毫米，其只能放置一个晶圆而不支持同时放置晶圆和菲涅尔透镜，这样在键合晶圆强度检测中，位于晶圆底部的菲涅尔透镜无法一起被晶圆卡盘所夹持。
技术实现思路
[0004](一)本专利技术所要解决的问题是：在键合晶圆强度检测中，晶圆和菲涅尔透镜都是分开放置的，缺乏一种能同时固位晶圆和菲涅尔透镜，还要能够适应不同尺寸的晶圆和透镜的卡盘。
[0005](二)技术方案
[0006]为了解决上述技术问题，本专利技术一方面实施例提供了一种卡盘，用于晶圆强度检测机构，包括：基座、第一夹具和第二夹具，所述基座中部设有通孔，所述第一夹具和所述第二夹具均与所述基座相连，所述第一夹具用于安装晶圆，所述第二夹具用于安装菲涅尔透镜。
[0007]根据本专利技术的一个实施例，所述第一夹具包括至少两个上卡爪，所述上卡爪一端与所述基座转动连接，另一端伸入所述通孔内。
[0008]根据本专利技术的一个实施例，所述卡盘还包括上内环，所述上内环与所述基座同轴设置，且能够在所述基座中转动，所述上卡爪的一端与所述上内环转动连接，所述上内环转动能够带动所述上卡爪绕与所述基座的连接处转动。
[0009]根据本专利技术的一个实施例，所述上卡爪靠近所述上内环内壁的一端开设有第一限位孔，所述第一限位孔为长条孔，所述基座内侧的上表面上设有第一定位销，所述上卡爪与所述第一定位销转动连接，所述上内环内侧的上表面上设有第一限位销，所述第一限位销限位于所述第一限位孔中，且能沿着所述第一限位孔的长度方向滑动。
[0010]根据本专利技术的一个实施例，所述基座通孔内壁上设有一圈第一凹槽，所述上内环
转动安装于所述第一凹槽内，所述基座外壁上设有至少一段与所述第一凹槽连通的上弧形孔，所述卡盘还包括一个上调节杆，所述上调节杆的一端穿过所述上弧形孔与所述上内环连接。
[0011]根据本专利技术的一个实施例，所述基座上表面设有第一弧形滑槽，所述第一弧形滑槽与所述上弧形孔相连通，所述卡盘还包括第一旋钮，所述第一旋钮的一端穿过所述第一弧形滑槽与所述上调节杆相螺接。
[0012]根据本专利技术的一个实施例，所述卡盘还包括弧形弹性件，所述弧形弹性件安装于所述上弧形孔中，所述弧形弹性件的一端与所述上弧形孔一端的内壁相连，另一端与所述上调节杆相连。
[0013]根据本专利技术的一个实施例，所述上卡爪伸入所述通孔内的端部上设有第一销柱，所述第一销柱为圆柱状或沙漏柱状。
[0014]根据本专利技术的一个实施例，所述第二夹具位于所述第一夹具的正下方，所述第二夹具包括至少两个下卡爪，所述下卡爪一端与所述基座相连，另一端伸入所述通孔内。
[0015]根据本专利技术的一个实施例，所述卡盘还包括下内环，所述下内环与所述基座同轴设置，且能够在所述基座中转动，所述下卡爪的一端与所述下内环转动连接，所述下内环转动能够带动所述下卡爪绕与所述基座的连接处转动。
[0016]根据本专利技术的一个实施例，所述下卡爪靠近所述下内环内壁的一端开设有第二限位孔，所述第二限位孔为长条孔，所述基座上设有第二定位销，所述下卡爪与所述第二定位销转动连接，所述下内环内侧的下表面上设有第二限位销，所述第二限位销限位于所述第二限位孔中，且能沿着所述第二限位孔的长度方向滑动。
[0017]根据本专利技术的一个实施例，所述基座通孔底部上设有一圈第二凹槽，所述下内环转动安装于所述第二凹槽内，所述基座外壁上设有至少一段与所述第二凹槽连通的下弧形孔，所述卡盘还包括一个下调节杆，所述下调节杆的一端穿过所述下弧形孔与所述下内环连接。
[0018]根据本专利技术的一个实施例，所述基座下表面设有第二弧形滑槽，所述第二弧形滑槽与所述下弧形孔相连通，所述卡盘还包括第二旋钮，所述第二旋钮的一端穿过所述第二弧形滑槽与下调节杆相螺接。
[0019]根据本专利技术的一个实施例，所述卡盘还包括第二弧形弹性件，所述第二弧形弹性件安装于下弧形孔中，所述弧形弹性件的一端与所述下弧形孔一端的内壁相连，另一端与所述下调节杆相连。
[0020]根据本专利技术的一个实施例，所述下卡爪伸入所述通孔内的端部上设有第二销柱，第二销柱为圆柱状或沙漏柱状。
[0021]一种晶圆强度检测机构，包括上述的一种卡盘、光源模块、菲涅尔透镜、晶圆和相机系统，所述菲涅尔透镜安装在所述第二夹具上，所述晶圆安装在所述第一夹具上，且所述晶圆位于所述菲涅尔透镜的上方，所述相机系统设置在所述卡盘的上方处，拍摄所述晶圆的图片，所述光源模块设置在所述卡盘的下方处，用于向所述卡盘发射光线。
[0022]本专利技术的有益效果：
[0023]本专利技术提供的一种卡盘，用于晶圆强度检测机构，包括：基座、第一夹具和第二夹具，所述基座中部设有通孔，所述第一夹具和所述第二夹具均与所述基座相连，所述第一夹
具用于安装晶圆，所述第二夹具用于安装菲涅尔透镜。相比于现有的晶圆和透镜的安装方式，本专利技术中的卡盘安装了第一夹具和第二夹具，这样使用一个卡盘即可同时安装晶圆和菲涅尔透镜，操作简单、使用方便。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1为本专利技术实施例提供的键合强度检测方法示意图；
[0026]图2为本专利技术实施例提供的卡盘、晶圆和菲涅尔透镜的第一立体图；
[0027]图3为本专利技术实施例提供的卡盘、晶圆和菲涅尔透镜的第二立体图；
[0028]图4为本专利技术实施例提供的卡盘的立体图；
[0029]图5为本专利技术实施例提供的图2中A部分的放大示意图；
[0030]图6为本专利技术实施例提供的图3中B部分的放大示意图。
[0031]图标：1
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种卡盘，用于晶圆强度检测机构，其特征在于，包括：基座、第一夹具和第二夹具，所述基座中部设有通孔，所述第一夹具和所述第二夹具均与所述基座相连，所述第一夹具用于安装晶圆(2)，所述第二夹具用于安装菲涅尔透镜(7)。2.根据权利要求1所述的一种卡盘，其特征在于，所述第一夹具包括至少两个上卡爪(5)，所述上卡爪(5)一端与所述基座转动连接，另一端伸入所述通孔内。3.根据权利要求2所述的一种卡盘，其特征在于，所述卡盘还包括上内环(3)，所述上内环(3)与所述基座同轴设置，且能够在所述基座中转动，所述上卡爪(5)的一端与所述上内环(3)转动连接，所述上内环(3)转动能够带动所述上卡爪(5)绕与所述基座的连接处转动。4.根据权利要求3所述的一种卡盘，其特征在于，所述上卡爪(5)靠近所述上内环(3)内壁的一端开设有第一限位孔，所述第一限位孔为长条孔，所述基座内侧的上表面上设有第一定位销，所述上卡爪(5)与所述第一定位销转动连接，所述上内环(3)内侧的上表面上设有第一限位销，所述第一限位销限位于所述第一限位孔中，且能沿着所述第一限位孔的长度方向滑动。5.根据权利要求4所述的一种卡盘，其特征在于，所述基座通孔内壁上设有一圈第一凹槽，所述上内环(3)转动安装于所述第一凹槽内，所述基座外壁上设有至少一段与所述第一凹槽连通的上弧形孔(102)，所述卡盘还包括一个上调节杆(9)，所述上调节杆(9)的一端穿过所述上弧形孔(102)与所述上内环(3)连接。6.根据权利要求5所述的一种卡盘，其特征在于，所述基座上表面设有第一弧形滑槽(101)，所述第一弧形滑槽(101)与所述上弧形孔(102)相连通，所述卡盘还包括第一旋钮(10)，所述第一旋钮(10)的一端穿过所述第一弧形滑槽(101)与所述上调节杆(9)相螺接。7.根据权利要求6所述的一种卡盘，其特征在于，所述卡盘还包括弧形弹性件，所述弧形弹性件安装于所述上弧形孔(102)中，所述弧形弹性件的一端与所述上弧形孔(102)一端的内壁相连，另一端与所述上调节杆(9)相连。8.根据权利要求2
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7中任一所述的一种卡盘，其特征在于，所述上卡爪(5)伸入所述通孔内的端部上设有第一销柱(501)，所述第一销柱(501)为圆柱状或沙漏柱状。9.根据权利要求1所述的一种卡盘，其特征在于，所述第二夹具位于所述第一夹具的正下方，所述第二夹具包括至少两个下卡爪(6)，所述下卡爪(6)...
【专利技术属性】
技术研发人员：王茁，
申请(专利权)人：拓荆键科海宁半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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