一种光刻机照明系统均匀性校正装置制造方法及图纸

本申请提供一种光刻机照明系统均匀性校正装置，包括：校正组件，所述校正组件包括若干个校正手指和用于支撑所述校正手指的手指支架；调节机构，所述调节机构用于对所述若干个校正手指的共面度进行调节，使所有校正手指背向所述手指支架的一面共面。本申请创新性的在手指支架上切割呈双连杆结构的柔性调节件，配合匚型结构的基准工装，能够便捷且又有效的调节阵列式校正手指的共面度，同时双连杆结构的柔性调节件的挠曲变形是线性的，能够实现更高精度共面度的需求。精度共面度的需求。精度共面度的需求。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机照明系统均匀性校正装置


[0001]本专利技术涉及光刻机
，具体涉及一种光刻机照明系统均匀性校正装置。

技术介绍

[0002]在光刻机照明系统照明均匀性校正装置中，采用阵列式音圈电机作为校正部件，校正手指一般采用粘接式，直接粘接在电机动子支架上，采用工装等方式调节校正手指的共面度；校正手指通过粘接与音圈电机动子支架相连，装调时，很难同时保证手指运动的顺滑性以及共面度，并且操作比较复杂、繁琐等。

技术实现思路

[0003]针对光刻机照明系统均匀性校正装置中调整阵列式校正手指共面度复杂、繁琐的问题，本申请提供一种光刻机照明系统均匀性校正装置，通过设置调节机构对若干个校正手指的共面度进行调节，使所有校正手指背向手指支架的一面共面。
[0004]本专利技术技术方案如下：
[0005]本专利技术提供一种光刻机照明系统均匀性校正装置，包括：
[0006]校正组件，所述校正组件包括若干个校正手指和用于支撑所述校正手指的手指支架；
[0007]调节机构，所述调节机构用于对所述若干个校正手指的共面度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机照明系统均匀性校正装置，其特征在于，包括：校正组件，所述校正组件包括若干个校正手指和用于支撑所述校正手指的手指支架；调节机构，所述调节机构用于对所述若干个校正手指的共面度进行调节，使所有校正手指背向所述手指支架的一面共面。2.如权利要求1所述的光刻机照明系统均匀性校正装置，其特征在于，所述调节机构包括：柔性调节件和可拆卸的基准工装；所述手指支架上设有第一粘接区，所述柔性调节件设置于所述第一粘接区上，所述柔性调节件凸出于所述手指支架的一端面与所述校正手指连接；所述基准工装呈匚型结构，所述基准工装的匚型开口的宽度与所述校正手指和手指支架通过所述柔性调节件连接后的整体高度相适配，所述适配使得所述校正手指和手指支架通过所述柔性调节件连接后的整体放置于所述基准工装内后，所述柔性调节件通过柔性弹力驱动所述校正手指运动，使所述校正手指背向所述手指支架的一面贴于所述基准工装的内表面上，以紧贴的所述基准工装的内表面为基准面，使所有校正手指背向所述手指支架的一面共面。3.如权利要求2所述的光刻机照明系统均匀性校正装置，其特征在于，所述基准工装的匚型开口的宽度小于所述校正手指和手指支架通过所述柔性调节件连接后的整体高度。4.如权利要求2所述的光刻机照明系统均匀性校正装置，其特征在于，所述柔性调节件与所述手指支架一体成型。5.如权利要求4所述的光刻...

【专利技术属性】
技术研发人员：王振，程伟林，张学成，任冰强，曾爱军，黄惠杰，
申请(专利权)人：上海镭望光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：