本申请提供一种光刻机照明系统均匀性校正装置，包括：校正组件，所述校正组件包括若干个校正手指和用于支撑所述校正手指的手指支架；调节机构，所述调节机构用于对所述若干个校正手指的共面度进行调节，使所有校正手指背向所述手指支架的一面共面。本申请创新性的在手指支架上切割呈双连杆结构的柔性调节件，配合匚型结构的基准工装，能够便捷且又有效的调节阵列式校正手指的共面度，同时双连杆结构的柔性调节件的挠曲变形是线性的，能够实现更高精度共面度的需求。精度共面度的需求。精度共面度的需求。
【技术实现步骤摘要】
一种光刻机照明系统均匀性校正装置
[0001]本专利技术涉及光刻机
，具体涉及一种光刻机照明系统均匀性校正装置。
技术介绍
[0002]在光刻机照明系统照明均匀性校正装置中，采用阵列式音圈电机作为校正部件，校正手指一般采用粘接式，直接粘接在电机动子支架上，采用工装等方式调节校正手指的共面度；校正手指通过粘接与音圈电机动子支架相连，装调时，很难同时保证手指运动的顺滑性以及共面度，并且操作比较复杂、繁琐等。
技术实现思路
[0003]针对光刻机照明系统均匀性校正装置中调整阵列式校正手指共面度复杂、繁琐的问题，本申请提供一种光刻机照明系统均匀性校正装置，通过设置调节机构对若干个校正手指的共面度进行调节，使所有校正手指背向手指支架的一面共面。
[0004]本专利技术技术方案如下：
[0005]本专利技术提供一种光刻机照明系统均匀性校正装置，包括：
[0006]校正组件，所述校正组件包括若干个校正手指和用于支撑所述校正手指的手指支架；
[0007]调节机构，所述调节机构用于对所述若干个校正手指的共面度进行调节，使所有校正手指背向所述手指支架的一面共面。
[0008]进一步优选的，所述调节机构包括：柔性调节件和可拆卸的基准工装；
[0009]所述手指支架上设有第一粘接区，所述柔性调节件设置于所述第一粘接区上，所述柔性调节件凸出于所述手指支架的一端面与所述校正手指连接；
[0010]所述基准工装呈匚型结构，所述基准工装的匚型开口的宽度与所述校正手指和手指支架通过所述柔性调节件连接后的整体高度相适配，所述适配使得所述校正手指和手指支架通过所述柔性调节件连接后的整体放置于所述基准工装内后，所述柔性调节件通过柔性弹力驱动所述校正手指运动，使所述校正手指背向所述手指支架的一面贴于所述基准工装的内表面上，以紧贴的所述基准工装的内表面为基准面，使所有校正手指背向所述手指支架的一面共面。
[0011]进一步优选的，所述基准工装的匚型开口的宽度小于所述校正手指和手指支架通过所述柔性调节件连接后的整体高度。
[0012]进一步优选的，所述柔性调节件与所述手指支架一体成型。
[0013]进一步优选的，所述柔性调节件为在所述手指支架上切割的呈双连杆结构的调节件。
[0014]进一步优选的，所述柔性调节件与所述手指支架连接的一端为固定端，所述柔性调节件与所述手指支架非连接的一端为运动端，所述运动端与所述固定端之间设置有柔性调节臂，所述柔性调节臂通过柔性弹力驱动所述运动端相对所述手指支架移动，并通过所
述柔性调节臂的倾斜角度调整所述运动端与所述固定端之间的相对高度。
[0015]进一步优选的，所述校正手指粘贴于所述柔性调节件的运动端，所述柔性调节臂通过柔性弹力驱动所述运动端带动所述校正手指相对所述手指支架移动，并通过所述柔性调节臂的倾斜角度调整所述校正手指与所述手指支架之间的相对高度，直至所述校正手指背向所述手指支架的一面贴于所述基准工装的内表面上。
[0016]进一步优选的，所述柔性调节件为钛合金材质。
[0017]进一步优选的，所述手指支架上还设有用于粘接所述手指支架和校正手指的第二粘接区。
[0018]进一步优选的，所述基准工装相对于所述手指支架上设置的第二粘接区设置有用于向所述第二粘接区注入粘性液体的通孔。
[0019]依据本专利技术提供的光刻机照明系统均匀性校正装置，在手指支架上切割呈双连杆结构的柔性调节件，配合匚型结构的基准工装，能够便捷且又有效的调节阵列式校正手指的共面度，同时双连杆结构的柔性调节件的挠曲变形是线性的，能够实现更高精度共面度的需求。
附图说明
[0020]图1为校正组件与柔性调节件配合示意图；
[0021]图2为校正组件与调节机构配合示意图；
[0022]图3为柔性调节件工作示意图。
具体实施方式
[0023]下面通过具体实施方式结合附图对本专利技术作进一步详细说明。
[0024]在先技术“光刻机照明均匀性校正装置和校正方法”(公开号CN107065443A)中描述了一种光刻机照明系统的照明均匀性校正装置，其原理是将一块柔性薄板作为校正单元沿扫描方向伸入照明光场，通过控制柔性薄板不同点产生的位移来得到相应的挠曲变形，从而达到校正积分均匀性的目的。但是，柔性薄板结构类似于四连杆结构，该四连杆结构较为复杂。基于此，本申请提供一种光刻机照明系统均匀性校正装置，该校正装置中设计有简易的校正手指共面度的调节机构，类似双连杆结构，能够方便、快捷的调节校正手指共面。
[0025]如图1、图2所示，本申请提供的光刻机照明系统均匀性校正装置包括校正组件100和调节机构200，其中，校正组件100包括若干个校正手指101和用于支撑校正手指101的手指支架102，调节机构200用于对若干个校正手指101的共面度进行调节，使所有校正手指101背向手指支架102的一面共面。
[0026]在本申请中，若干个校正手指101呈阵列式排布，例如，由58根校正手指并排组成，在安装时要求所有校正手指共面，且每一个校正手指101配置有一个手指支架102。
[0027]如图2所示，调节机构200包括柔性调节件201和可拆卸的基准工装202；手指支架102上设有第一粘接区103，柔性调节件201设置于第一粘接区103上，柔性调节件201凸出于手指支架102的一端面与校正手指101连接；基准工装202呈匚型结构，基准工装202的匚型开口的宽度与校正手指101和手指支架102通过柔性调节件201连接后的整体高度相适配，该适配使得校正手指101和手指支架102通过柔性调节件201连接后的整体放置于基准工装
202内后，柔性调节件201通过柔性弹力驱动校正手指101运动，使校正手指101背向手指支架102的一面贴于基准工装202的内表面上，以紧贴的基准工装202的内表面为基准面，使所有校正手指101背向手指支架102的一面共面。
[0028]请继续参考图2，以基准工装202的顶部内表面为基准面，基准工装202的顶部内表面和底部内表面之间的高度为基准高度，校正手指101和手指支架102通过柔性调节件201连接后的整体放置于基准工装202内的状态是：校正手指101靠近基准工装202的顶部内表面，手指支架102靠近基准工装202的底部内表面，且，手指支架102与基准工装202的底部之间固定连接；例如，手指支架102与基准工装202的底部分别开设有螺纹孔，通过螺钉使手指支架102固定于基准工装202的底部。
[0029]由于手指支架102相对基准工装202是固定的，本申请是基于柔性调节件201的柔性弹力驱动校正手指101运动，使校正手指101背向手指支架102的一面贴于基准工装202的顶部内表面上，以紧贴的基准工装的顶部内表面为基准面，使所有校正手指101背向手指支架102的一面共面。
[0030]进一步，柔性调节件201与手指支架102一体成型，优选的，柔性调节件201本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻机照明系统均匀性校正装置，其特征在于，包括：校正组件，所述校正组件包括若干个校正手指和用于支撑所述校正手指的手指支架；调节机构，所述调节机构用于对所述若干个校正手指的共面度进行调节，使所有校正手指背向所述手指支架的一面共面。2.如权利要求1所述的光刻机照明系统均匀性校正装置，其特征在于，所述调节机构包括：柔性调节件和可拆卸的基准工装；所述手指支架上设有第一粘接区，所述柔性调节件设置于所述第一粘接区上，所述柔性调节件凸出于所述手指支架的一端面与所述校正手指连接；所述基准工装呈匚型结构，所述基准工装的匚型开口的宽度与所述校正手指和手指支架通过所述柔性调节件连接后的整体高度相适配，所述适配使得所述校正手指和手指支架通过所述柔性调节件连接后的整体放置于所述基准工装内后，所述柔性调节件通过柔性弹力驱动所述校正手指运动，使所述校正手指背向所述手指支架的一面贴于所述基准工装的内表面上，以紧贴的所述基准工装的内表面为基准面，使所有校正手指背向所述手指支架的一面共面。3.如权利要求2所述的光刻机照明系统均匀性校正装置，其特征在于，所述基准工装的匚型开口的宽度小于所述校正手指和手指支架通过所述柔性调节件连接后的整体高度。4.如权利要求2所述的光刻机照明系统均匀性校正装置，其特征在于，所述柔性调节件与所述手指支架一体成型。5.如权利要求4所述的光刻...
【专利技术属性】
技术研发人员：王振，程伟林，张学成，任冰强，曾爱军，黄惠杰，
申请(专利权)人：上海镭望光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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