蒸镀掩模单元制造技术

本发明专利技术提供耐久性高的蒸镀掩模单元和蒸镀掩模单元的制造方法。本发明专利技术的一个实施方式的蒸镀掩模单元包括：具有多个框的支承框架；设置在所述多个框各自的内侧的蒸镀掩模，其由具有多个第1开口和比所述第1开口大的第2开口的金属膜构成；和设置在所述多个框各自的内侧的连接部，其将所述多个框与所述蒸镀掩模连接，所述第2开口在距所述连接部的端部规定的距离以内的位置具有外缘。距离以内的位置具有外缘。距离以内的位置具有外缘。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模单元


[0001]本专利技术的一个实施方式涉及蒸镀掩模单元和蒸镀掩模单元的制造方法。

技术介绍

[0002]近年来，已知使用有机EL元件作为发光元件的有机EL显示装置。有机EL元件具有阳极电极、阴极电极、和设置在阳极电极与阴极电极之间的包含有机EL材料的层(下面，称为“有机EL层”)。有机EL层例如包含发光层、电子注入层和空穴注入层等功能层。通过对阳极电极和阴极电极分别施加电压，在阳极电极与阴极电极之间流动电流，有机EL元件发光。为了形成有机EL元件的发光层，例如使用真空蒸镀法。在真空蒸镀法中，通过使用蒸镀掩模，形成与多个微细的开口图案对应的高精细的薄膜图案。高精细的薄膜图案为有机EL元件的发光层。另外，包括多个蒸镀掩模的蒸镀掩模单元能够形成多个有机EL显示装置的发光层。
[0003]使用电铸(电气铸造)技术制造的电精细成形掩模(EFM)是蒸镀掩模的1种。在电铸技术中，例如使用电镀(镀敷法)来制造蒸镀掩模。专利文献1公开了使用电铸技术制造蒸镀掩模的方法。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀掩模单元，其特征在于，包括：具有多个框的支承框架；设置在所述多个框各自的内侧的蒸镀掩模，其由具有多个第1开口和比所述第1开口大的第2开口的金属膜构成；和设置在所述多个框各自的内侧的连接部，其将所述多个框与所述蒸镀掩模连接，所述第2开口在距所述连接部的端部规定的距离以内的位置具有外缘。2.如权利要求1所述的蒸镀掩模单元，其特征在于：所述第2开口设置在第3开口的内侧，所述第3开口设置在所述多个框中的至少1个框上。3.如权利要求1所述的蒸镀掩模单元，其特征在于：在俯视时，所述第2开口的形状为多边形。4.如权利要求3所述的蒸镀掩模单元，其特征在于：在俯视时，所述多边形...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村辽太郎，松本优子，渡部将弘，
申请(专利权)人：株式会社日本显示器，
类型：发明
国别省市：