蒸镀掩模制造技术

本发明专利技术提供一种抑制了在掩模图案产生的变形的蒸镀掩模，蒸镀掩模包括具有多个开口部的掩模部、保持所述掩模部的保持框和连接所述掩模部与所述保持框的连接部，所述连接部包含以具有第1膜厚的方式与所述掩模部接触的第1部分和以具有比所述第1膜厚薄的第2膜厚的方式与所述掩模部接触的第2部分。所述第2部分也可以位于比所述第1部分靠所述掩模部的内侧的位置。位置。位置。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模


[0001]本专利技术涉及蒸镀掩模。

技术介绍

[0002]通常，在制造有机EL显示装置的过程中，在由有机EL材料构成的层(有机EL层)的形成中使用真空蒸镀法。在真空蒸镀法中，使蒸镀掩模靠近被处理基板，隔着蒸镀掩模对被处理基板进行有机EL材料的蒸镀。蒸镀掩模具有多个开口部。有机EL材料通过多个开口而到达被处理基板，因此能够在与多个开口部对应的位置选择性地形成有机EL层。
[0003]蒸镀掩模分为使用蚀刻技术来形成开口图案的精细金属掩模(FMM)和使用电铸(电铸造)技术来形成开口图案的电致成型掩模(EFM)。例如，在专利文献1中，公开有利用电铸技术形成具有高精细的开口图案的掩模部，并利用电铸技术将所形成的掩模部固定在框体部的方法。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2017
‑
210633号公报。

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的问题
[0008]在上述现有技术中，在由金属板构成的母模上形成掩模图案(电铸层本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀掩模，其特征在于，包括：具有多个开口部的掩模部；保持所述掩模部的保持框；和连接所述掩模部与所述保持框的连接部，所述连接部包含：以具有第1膜厚的方式与所述掩模部接触的第1部分；和以具有比所述第1膜厚薄的第2膜厚的方式与所述掩模部接触的第2部分。2.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于：所述第2部分位于比所述第1部分靠所述掩模部的内侧的位置。3.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于：俯视时，所述第2部分的宽度为10μm以上。4.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于：所述连接部以具有所述第1膜厚的方式与所述保持框的侧面接触。5.如权利要求1所述的蒸镀掩...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村辽太郎，渡部将弘，
申请(专利权)人：株式会社日本显示器，
类型：发明
国别省市：