一种张网控制方法技术

本发明专利技术实施例公开了一种张网控制方法，张网控制系统执行该张网控制方法，张网控制系统包括视觉测量装置和张网设备；张网控制方法包括：张网设备控制物料移动至预定张网位置；物料具有z组标记，预定张网位置处一一对应的设置有与每组标记对应的目标位置；视觉测量装置测量第i组标记所在位置与第i组标记所对应的第i目标位置的第i位置偏差，根据第i位置偏差参数计算第i对准补偿量；张网设备根据第i对准补偿量对物料进行补偿调节，使物料移动至第i目标位置；至少一个对准补偿量的对准精度小于前一对准补偿量的对准精度。本发明专利技术中，张网流程多阶段控制，范围逐渐缩小，且精度逐步提升，使得张网过程由粗到细控制，提升了张网效率和精度。精度。精度。

【技术实现步骤摘要】
一种张网控制方法


[0001]本专利技术实施例涉及张网技术，尤其涉及一种张网控制方法。

技术介绍

[0002]蒸镀工艺是当前用于OLED制造的唯一商业化的制备方法，它借用金属掩模的界定作用，把规定形状的图案蒸镀在玻璃表面上，形成特定图形结构。而张网焊接设备正是蒸镀产线的关键设备，它负责将高精度的蒸镀金属掩模版固定在金属框架上，制作具有屏蔽功能的掩模。
[0003]目前张网焊接设备焊接一条子网版的时间为1h～2h，完成整张网版张网焊接约需要20小时～2.5天时间。
[0004]由此可知，现有张网焊接效率极低。并且目前张网焊接还存在较大的张网误差。

技术实现思路

[0005]本专利技术实施例提供一种张网控制方法，以解决张网焊接效率低且精度差的问题。
[0006]本专利技术实施例提供了一种张网控制方法，张网控制系统执行该张网控制方法，所述张网控制系统包括视觉测量装置和张网设备；
[0007]所述张网控制方法包括：
[0008]所述张网设备控制物料移动至预定张网位置；
[0009]所述物料本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种张网控制方法，其特征在于，张网控制系统执行该张网控制方法，所述张网控制系统包括视觉测量装置和张网设备；所述张网控制方法包括：所述张网设备控制物料移动至预定张网位置；所述物料具有z组标记，所述预定张网位置处一一对应的设置有与每组标记对应的目标位置；所述视觉测量装置测量第i组标记所在位置与所述第i组标记所对应的第i目标位置的第i位置偏差，根据所述第i位置偏差参数计算第i对准补偿量；所述张网设备根据所述第i对准补偿量对所述物料进行补偿调节，使所述物料移动至所述第i目标位置；i＝1,2,
…
,z，z为大于1的正整数；z个对准补偿量的对准精度中，至少1个对准补偿量的对准精度小于前一对准补偿量的对准精度。2.根据权利要求1所述的张网控制方法，其特征在于，i＝1，其中，第1组标记包括位于所述物料两端的至少两个粗对准标记，第1目标位置为粗对准目标位置；第1对准补偿量包括：所述物料沿X向平移的距离Tx_coarse，所述物料向Y向平移的距离Ty_coarse，所述物料的整体倍率M_coarse和所述物料绕Z轴旋转的整体旋转Rz_coarse；其中，Tx_coarse＝(dX1_al+dX2_al)/2；Ty_coarse＝(dY1_al+dY2_al)/2；M_coarse＝(dX2_al
‑
dX1_al)/(X2_al
‑
X1_al)；Rz_coarse＝(dY2_al
‑
dY1_al)/(X2_al
‑
X1_al)；其中，所述第1目标位置为(X1_al，Y1_al)、(X2_al，Y2_al)，所述第1位置偏差为(dX1_al，dY1_al)、(dX2_al，dY2_al)。3.根据权利要求1所述的张网控制方法，其特征在于，i＝2；所述视觉测量装置测量所述第i组标记所在位置与所述第i目标位置的第i位置偏差，根据所述第i位置偏差参数计算第i对准补偿量包括：根据测量的第2组标记所在位置和第1对准补偿量，计算第2目标位置；根据所述第2组标记所在位置与所述第2目标位置计算第2位置偏差，并根据所述第2位置偏差参数和所述第2组标记所在位置计算第2对准补偿量。4.根据权利要求3所述的张网控制方法，其特征在于，所述第2组标记包括位于所述物料中最边缘两个图形区外围的四个精对准标记(Xm_TP，Ym_...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋涛，徐兵，周畅，李煜芝，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：