一种用于集成电路制造的数据处理的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于集成电路制造的数据处理的装置，属于集成电路技术领域，一种用于集成电路制造的数据处理的装置，包括处理箱本体，盖板远离连杆的一端固定安装有弹性密封垫，处理箱本体的上壁开设有多个固定插槽，盖板的上端设有与固定插槽相配合的连接机构，盖板的上端设有固定机构，本方案可通过固定机构和连接机构的配合对盖板和弹性密封垫的进行限制固定以及解除固定，实现了对处理箱本体的检修时的安装拆卸过程的简便性，不但省时省力，工作效率高，而且极大防止了螺丝长时间使用会产生锈蚀和滑丝等情况的发生，使得安装拆卸方便以及更牢固和密闭，提高数据处理装置的使用效果。置的使用效果。置的使用效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于集成电路制造的数据处理的装置


[0001]本技术涉及集成电路
，更具体地说，涉及一种用于集成电路制造的数据处理的装置。

技术介绍

[0002]集成电路是一种微型电子器件或部件。是采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，成为具有所需电路功能的微型结构。在集成电路的制造过程中，需要数据处理装置对集成电路采集的数据进行初步的分析和监测，可以判断生产过程中的机台是否正常工作，并根据数据的结果查找问题，以便于及时调整生产的参数。
[0003]目前集成电路的数据处理装置一般都是封闭的，检修口也是通过螺丝等安装固定的，在对其内部零件检修更换时不但拆装繁琐，耗费较多的人力，导致整个工作效率较低，而且螺丝等多零件长期的使用会产生锈蚀、滑丝等问题，从而导致检修板无法无法安装拆卸或者是安装不牢固，密闭性差，进而直接影响数据处理装置的使用效果。
[0004]因此，有必要提供一种用于集成电路制造的数据处理的装置解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种用于集成电路制造的数据处理的装置以解决上述技术问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采用如下的技术方案：
[0007]一种用于集成电路制造的数据处理的装置，包括处理箱本体，所述处理箱本体的下侧外壁固定连接有连接板，所述连接板的左端铰接有转动板，所述转动板的中部滑动贯穿有多个连杆，所述连杆的两端分别固定连接有推板和盖板，所述盖板远离连杆的一端固定安装有弹性密封垫，所述处理箱本体的上壁开设有多个固定插槽，所述盖板的上端设有与固定插槽相配合的连接机构，所述盖板的上端设有固定机构。
[0008]进一步的，所述连接机构包括有固定连接于盖板上端的转接板，所述转接板的外壁固定连接有多个固定插板，所述固定插板上开设有多个固定孔。
[0009]进一步的，所述固定机构包括有多个开设于处理箱本体上壁的传动腔，所述传动腔与固定插槽相连通，所述传动腔的上壁活动贯穿有固定杆，所述固定杆的外壁固定连接有活塞块，所述的活塞块外壁与传动腔的内壁滑动连接，所述活塞块与传动腔的上壁之间固定连接有第一弹簧。
[0010]进一步的，所述第一弹簧套设于固定杆的外部，所述固定杆的上端固定连接有拉块。
[0011]进一步的，所述固定杆的下端左侧设有弧边，所述固定插板的端部设有与固定杆下端的弧边相适配。
[0012]进一步的，所述转动板的外壁固定连接有多个第二弹簧，所述第二弹簧远离转动
板的一端与盖板的外壁固定连接。
[0013]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0014]本方案在需要对处理箱本体的内部进行检修或更换时，可通过固定机构和连接机构的配合解除对盖板和弹性密封垫的限制固定，然后即可使转动板带动盖板和弹性密封垫逆时针朝外旋转，此时即可方便的对处理箱本体的内部进行检修更换等操作；当处理完毕后安装时，可将转动板顺时针转动，然后可推动推板通过连杆带动盖板和弹性密封垫右移，在此过程中，通过固定机构和连接机构的配合对盖板和弹性密封垫进行固定。实现了对处理箱本体的检修时的安装拆卸过程的简便性，不但拆装简单省时省力，工作效率高，而且极大防止了螺丝长时间使用会产生锈蚀和滑丝等情况的发生，使得安装拆卸方便以及更牢固和密闭，提高数据处理装置的使用效果。
[0015]通过盖板和弹性密封垫可将处理箱本体开口封闭，极大提高了处理箱本体内部元器件的保护效果，进而提高了处理箱本体的使用寿命和使用效果。后续使用一段时间后，通过和固定机构和连接机构的配合情况可知弹性密封垫是否需要更换，更换及时有效，提高处理箱本体的长期使用效果。
附图说明
[0016]图1为本技术的立体结构示意图；
[0017]图2为图1中部A处放大结构示意图；
[0018]图3为本技术的处理箱本体正视内剖结构示意图；
[0019]图4为图3中B处放大结构示意图；
[0020]图5为本技术在打开盖板时的形态结构示意图；
[0021]图6为图5中C处放大结构示意图；
[0022]图7为本技术的固定杆局部结构示意图。
[0023]图中标号说明：
[0024]1、处理箱本体；2、连接板；3、转动板；4、连杆；5、推板；6、盖板；7、弹性密封垫；8、连接机构；801、转接板；802、固定插板；803、固定孔；9、固定机构；901、传动腔；902、固定杆；903、活塞块；904、第一弹簧；10、固定插槽；11、拉块；12、第二弹簧。
具体实施方式
[0025]实施例一：
[0026]请参阅图1和图3
‑
5，一种用于集成电路制造的数据处理的装置，包括处理箱本体1，处理箱本体1的下侧外壁固定连接有连接板2，连接板2的左端铰接有转动板3，转动板3的中部滑动贯穿有多个连杆4，连杆4的两端分别固定连接有推板5和盖板6，盖板6远离连杆4的一端固定安装有弹性密封垫7，处理箱本体1的上壁开设有多个固定插槽10，盖板6的上端设有与固定插槽10相配合的连接机构8，盖板6的上端设有固定机构9。使用时，在需要对数据处理装置即处理箱本体1的内部进行检修或更换时，可先通过固定机构9和连接机构8的配合解除对盖板6和弹性密封垫7的限制固定，然后即可使转动板3绕着与连接板2的铰接点进行转动，可使转动板3、盖板6和弹性密封垫7逆时针朝外旋转打开，如图5所示，此时即可方便的对处理箱本体1的内部进行检修更换等操作；当处理完毕后安装时，可将转动板3绕
着与连接板2的铰接点顺时针转动，使得转动板3与连接板2垂直，然后可推动推板5通过连杆4带动盖板6和弹性密封垫7右移，最终使得盖板6和弹性密封垫7贴紧处理箱本体1的左壁，在此过程中，通过固定机构9和连接机构8的配合对盖板6和弹性密封垫7进行固定。实现了对处理箱本体1的检修时的安装拆卸过程的简便性，避免了目前需要通过螺丝固定，不但拆装简单省时省力，工作效率高，而且极大防止了螺丝长时间使用会产生锈蚀和滑丝等情况的发生，使得安装拆卸方便以及使得处理箱本体1更牢固和密闭，提高数据处理装置的使用效果。
[0027]通过盖板6和弹性密封垫7可将处理箱本体1开口封闭，并且弹性密封垫7使受压的状态，通过弹性密封垫7进行很好的密封，极大提高了处理箱本体1内部元器件的保护效果，进而提高了处理箱本体1的使用寿命和使用效果。后续使用一段时间后，弹性密封垫7会慢慢的磨损，弹性也会逐渐变小，通过和固定机构9和连接机构8的配合情况可知弹性密封垫7是否需要更换，更换及时有效，可极大避免影响处理箱本体1的封闭性效果，提高处理箱本体1的长期使用效果。
[0028]请参阅图2、图4和图6，连接机构8包括有固定连接于盖板6上端的转接板801，转接板801的外壁固定连接有多个固定插板802，固定插板802上开设有多个固定孔803。当使得盖板6和弹性密封垫本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于集成电路制造的数据处理的装置，包括处理箱本体，其特征在于：所述处理箱本体的下侧外壁固定连接有连接板，所述连接板的左端铰接有转动板，所述转动板的中部滑动贯穿有多个连杆，所述连杆的两端分别固定连接有推板和盖板，所述盖板远离连杆的一端固定安装有弹性密封垫，所述处理箱本体的上壁开设有多个固定插槽，所述盖板的上端设有与固定插槽相配合的连接机构，所述盖板的上端设有固定机构。2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路制造的数据处理的装置，其特征在于：所述连接机构包括有固定连接于盖板上端的转接板，所述转接板的外壁固定连接有多个固定插板，所述固定插板上开设有多个固定孔。3.根据权利要求2所述的一种用于集成电路制造的数据处理的装置，其特征在于：所述固定机构包括有多个开设于处...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚金标，
申请(专利权)人：武汉三合成科技有限公司，
类型：新型
国别省市：