本实用新型专利技术的一种线性等离子体喷枪装置，包括壳体内从上往下依次设置一级气体均分板、二级气体均分板、水路焊接板块、射频高压板、四氟密封垫片及地级板；还包括光伏模块固定在壳体内部，光伏模块通过石英棒导通等离子体光束，所述石英棒通过石英棒固定套管固定于壳体内部；还包括隔板进气接头，隔板进气接头固定在壳体上，所述隔板进气接头可向装置内部通入介质气体分别通过一级气体均分板和二级气体均分板均分气体后抵达高压电极板和地级板之间；本实用新型专利技术线性设置减轻喷枪重量，减小喷枪体积，减少零件复杂度，降低制造成本。单位时间内处理材料表面的面积增加；可根据处理材料宽度选择合适的线性等离子体喷枪的宽幅喷头，增加工作效率。增加工作效率。增加工作效率。
【技术实现步骤摘要】
一种线性等离子体喷枪装置
[0001]本技术涉及等离子体表面处理
，具体涉及一种线性等离子体喷枪装置。
技术介绍
[0002]随着高性能结构材料技术和先进材料加工技术的快速发展，人们对材料的韧性、刚性、环保性、循环利用性以及使用寿命等提出了更高的要求。因此，通过对材料表面处理来改变材料表面的形态、化学成分、组织结构等性质以提高材料各方面性能的技术在近年来得到了迅速发展。在物理处理、化学处理和机械处理等众多表面处理方法中，等离子体表面处理技术因其清洁高效、能耗低、无废弃物等优点而快速发展。目前，针对不同的产业应用，不同条件下的等离子体处理技术已经出现明显分工，需要连续处理的大面积天然或合成材料一般采用常压等离子体进行处理，半导体、生物医用材料等一般采用低压等离子体进行处理。
技术实现思路
[0003]本技术提出的一种线性等离子体喷枪装置，可解决上述技术问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采用了以下技术方案：
[0005]一种线性等离子体喷枪装置，包括壳体和密封盖板，壳体为腔体结构，壳体内从上往下依次设置一级气体均分板、二级气体均分板、水路焊接板、射频高压板、四氟密封垫片及地级板；
[0006]还包括光伏模块，所述光伏模块固定在壳体内部，所述光伏模块通过石英棒导通等离子体光束，所述石英棒通过石英棒固定套管固定于壳体内部；
[0007]还包括隔板进气接头，隔板进气接头固定在壳体上，所述隔板进气接头可向装置内部通入介质气体分别通过一级气体均分板和二级气体均分板均分气体后抵达高压电极板和地级板之间；
[0008]所述一级气体均分板上设有出水软管一孔、进水软管一孔和黄铜杆断槽一口；
[0009]所述二级气体均分板上设有出水软管二孔，进水软管二孔和黄铜杆断槽二口；
[0010]所述水路焊接板两端设有进水口接头和出水口接头，所述进水口接头和出水口接头通过螺纹与水路焊接板连接，所述进水口接头通过进水软管分别穿过进水软管二孔和进水软管一孔与隔板式接头进水口连通，所述出水口接头通过出水软管分别穿过出水软管二孔和出水软管一孔与隔板式接头进水口连通；
[0011]还包括射频黄铜杆，所述射频黄铜杆分别穿过黄铜杆断槽一口和黄铜杆断槽二口后穿过水路焊接板与射频高压板连通；
[0012]还包括地级板，所述地级板通过陶瓷绝缘块上台阶与射频高压板之间保证间距，所述陶瓷绝缘块与射频高压板之间垫有四氟密封垫片。
[0013]进一步的，所述射频高压板与水路焊接板边对齐焊接成为一个整体。
[0014]进一步的，射频黄铜杆焊接在射频高压板上。
[0015]进一步的，进水口接头、出水口接头与水路焊接板通过螺纹连接密封固定。
[0016]进一步的，所述四氟密封垫片放置在水路焊接板上，射频高压板放进陶瓷绝缘块中，地级板放进陶瓷绝缘块中，石英棒固定套管中套入石英棒，后将石英棒固定套管放进陶瓷绝缘块中。
[0017]进一步的，所述石英棒固定套管与陶瓷绝缘块之间放置密封圈挤压密封。
[0018]进一步的，还包括射频同轴线缆接头通过螺纹形式固定在壳体上；射频黄铜杆与射频同轴线缆接头锡焊固定连接。
[0019]进一步的，光伏模块中的线路锡焊在航空插头上，航空插头通过螺纹形式固定在壳体上，航空插头带密封垫。
[0020]进一步的，还包括气瓶、减压阀、气体管路、质量流量计、电磁阀、13.56MHz 射频电源、光敏数显、电路板电源及水冷箱；
[0021]介质气体从气瓶内部依次通过减压阀、质量流量计以及电磁阀，实现气体流量的控制；
[0022]其中减压阀与电磁阀，电磁阀与质量流量计之间通过气体软管连接；电磁阀通过软管与隔板进气接头连接，作为在线性等离子体喷枪的进气管路； 13.56MHz射频电源通过同轴电缆与射频同轴电缆接头连接，作为射频电源引出信号线连接控制系统；
[0023]光敏数显通过电线与航空插头连接，光敏数显引出信号线连接控制系统；
[0024]电路板电源通过电线与航空插头连接，电路板电源引出信号线连接控制系统；
[0025]隔板式接头进水口和隔板式接头出水口通过水管软与水冷箱连接，水冷箱引出信号线连接控制系统。
[0026]进一步的，一级气体均分板置于壳体上槽口，二级气体均分板置于壳体下槽口，两块分气板均通过密封盖板与壳体压紧固定。
[0027]由上述技术方案可知，本实施例的等离子体喷枪装置采用腔体结构，有效的减轻了喷枪重量和体积，降低了零件复杂度，减少了设备的制造成本；线性的等离子体喷枪放电形式，使得单位时间内处理材料表面的面积增加；可根据处理材料宽度选择合适的线性等离子体喷枪的宽幅喷头，可满足不同宽幅材料的表面处理，增加了工作效率；采用分级板的结构分级布气，射频高压电极与地电级之间的气氛相对稳定均匀，提高了地电极与高压电极之间放电的均匀性，保证了材料的表面处理效果一致；光伏模块的诊断，进一步提高了设备的稳定性，为设备工业化安全使用提供了保障。
[0028]具体的说：
[0029]本技术线性等离子体喷枪小型化带来的益处有减轻喷枪重量，减小喷枪体积，减少零件复杂度，降低制造成本。
[0030]本技术线性等离子体喷枪宽幅带来的益处：单位时间内处理材料表面的面积增加；可根据处理材料宽度选择合适的线性等离子体喷枪的宽幅喷头，增加工作效率。
[0031]气体的均匀性使得放电的均匀性导致材料表面处理的均一性所带来的益处：保证线性等离子喷枪在工作时通过材料表面即截面都清洗合格，避免往复清洗带来的麻烦，增加工作效率；
[0032]增加了光学诊断的可靠性，保证设备的稳定运行。
附图说明
[0033]图1是本实施例的线性等离子体喷腔的内部结构示意图；
[0034]图2是本实施例的线性等离子体喷腔系统示意图；
[0035]图3是本实施例的一级气体均分板结构示意图；
[0036]图4是本实施例的二级气体均分板结构示意图。
[0037]1壳体；2密封端面垫圈；3密封盖板；4一级气体均分板；5二级气体均分板；6射频黄铜杆；7水路焊接板；8射频高压板；9四氟密封垫片；10陶瓷绝缘块；11地级板；12石英棒固定套管；13光伏模块；14进水口接头；15 出水口接头；16航空插头；17隔板式接头进水口；18隔板式接头出水口；19 隔板进气接头；20射频同轴线缆接头；401出水软管一孔；402进水软管一孔； 403黄铜杆断槽一口；501出水软管二孔；502进水软管二孔；503黄铜杆断槽二口。
具体实施方式
[0038]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0039]如图1所示，本实施例所述的线性等离子体喷枪装置，包括壳体1，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种线性等离子体喷枪装置，包括壳体(1)和密封盖板(3)，壳体(1)为腔体结构，其特征在于，壳体(1)内从上往下依次设置一级气体均分板(4)、二级气体均分板(5)、水路焊接板(7)、射频高压板(8)、四氟密封垫片(9)及地级板(11)；还包括光伏模块(13)，所述光伏模块(13)固定在壳体(1)内部，所述光伏模块(13)通过石英棒导通等离子体光束，所述石英棒通过石英棒固定套管(12)固定于壳体(1)内部；还包括隔板进气接头(19)，隔板进气接头(19)固定在壳体(1)上，所述隔板进气接头(19)可向装置内部通入介质气体分别通过一级气体均分板(4)和二级气体均分板(5)均分气体后抵达高压电极板和地级板(11)之间；所述一级气体均分板(4)上设有出水软管一孔(401)、进水软管一孔(402)和黄铜杆断槽一口(403)；所述二级气体均分板(5)上设有出水软管二孔(501)，进水软管二孔(502)和黄铜杆断槽二口(503)；所述水路焊接板(7)两端设有进水口接头和出水口接头，所述进水口接头和出水口接头通过螺纹与水路焊接板(7)连接，所述进水口接头通过进水软管分别穿过进水软管二孔和进水软管一孔与隔板式接头进水口连通，所述出水口接头通过出水软管分别穿过出水软管二孔和出水软管一孔与隔板式接头进水口连通；还包括射频黄铜杆(6)，所述射频黄铜杆(6)分别穿过黄铜杆断槽一口和黄铜杆断槽二口后穿过水路焊接板(7)与射频高压板(8)连通；还包括地级板(11)，所述地级板(11)通过陶瓷绝缘块(10)上台阶与射频高压板(8)之间保证间距，所述陶瓷绝缘块(10)与射频高压板(8)之间垫有四氟密封垫片。2.根据权利要求1所述的线性等离子体喷枪装置，其特征在于：所述射频高压板(8)与水路焊接板(7)边对齐焊接成为一个整体。3.根据权利要求1所述的线性等离子体喷枪装置，其特征在于：射频黄铜杆(6)焊接在射频高压板(8)上。4.根据权利要求1所述的线性等离子体喷枪装置，其特征在于：进水口接头、出水口接头与水路焊接板(7)通过螺纹连...
【专利技术属性】
技术研发人员：李淩豪，胡磊，倪国华，孙坡，
申请(专利权)人：中科等离子体科技合肥有限公司，
类型：新型
国别省市：
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