一种半导体生产设备上输液系统的管道对接结构技术方案

本实用新型专利技术涉及管道对接技术领域，具体为一种半导体生产设备上输液系统的管道对接结构包括；进液管，固定板一，定位槽，输液管，固定板二，定位块，橡胶块，定位板，螺杆，防脱槽；有益效果为：当需要拆卸输液管进行清洗时，将螺母旋拧下来，然后向外抽动螺杆使螺杆的端部脱离出固定板一表面开设的通口，设于固定板二表面通口中的定位块处于防脱槽中，定位块有效防止螺杆的丢失，有效提高其使用效果，将输液管向外拔出即可对其进行清洗。向外拔出即可对其进行清洗。向外拔出即可对其进行清洗。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产设备上输液系统的管道对接结构


[0001]本技术涉及管道对接
，具体为一种半导体生产设备上输液系统的管道对接结构。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。
[0003]现有技术中，半导体在加工过程中，通常使用双氧水来作为洗净液，通过输液管将双氧水输送到设于半导体生产设备上的进液管中进行工作，双氧水能有效的将半导体表面附着的有机物和粒子进行移除，为保证输液管工作时的稳定性，通常使用螺栓将其固定在进液管上进行输液工作。
[0004]但是，当定期对输液管进行清洗时需先将螺栓进行拆除，拆除后的螺栓容易发生丢失的现象，且输液管和进液管对接时较为费力，致使其对接过程较为漫长，影响其工作效率的提高。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种半导体生产设备上输液系统的管道对接结构，以解决上述
技术介绍
中提出的当定期对输液管进行清洗时需先将螺栓进行拆除，拆除后的螺栓容易发生丢失的现象，且输液管和进液管对接时较为费力，致使其对接过程较为漫长，影响其工作效率的提高的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体生产设备上输液系统的管道对接结构，所述半导体生产设备上输液系统的管道对接结构包括；
[0007]进液管；进液管的表面固定连接有固定板一，固定板一的表面开设有通口，且进液管的外端部表面开设有定位槽；
[0008]输液管；输液管的表面固定连接有固定板二，固定板二的表面开设有通口，通口的表面上方固定连接有定位块，且输液管的内端部表面固定连接有橡胶块，且输液管的内壁表面固定连接有定位板，定位板的一端贯穿出输液管的端部；及
[0009]螺杆；螺杆的一端设有外螺纹，且螺杆的表面开设有防脱槽。
[0010]优选的，所述进液管固定连接在半导体生产设备主体上，且进液管和半导体生产设备主体内部相通。
[0011]优选的，所述固定板一表面开设的通口共设有多个，多个通口呈均匀分布，且定位槽呈环形状。
[0012]优选的，所述固定板二表面开设的通口和固定板一表面开设的通口相对应。
[0013]优选的，所述橡胶块呈环形状，且橡胶块和定位槽相匹配，且橡胶块插入在定位槽中，且橡胶块抵持在定位槽的表面上。
[0014]优选的，所述定位板呈环形状，且定位板的外端部设于进液管中，且定位板抵持在进液管的内壁表面。
[0015]优选的，所述螺杆设于固定板二表面开设的通口中，且定位块设于防脱槽中，且螺杆的一端贯穿出固定板一表面开设的通口，且螺母螺接在螺杆端部设有的外螺纹上。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]本技术提出的一种半导体生产设备上输液系统的管道对接结构；将螺杆的端部推入进固定板一表面开设的通口中，然后使用螺母螺接在螺杆的端部实现对螺杆的固定，螺杆有效对输液管和进液管连接起到固定作用，当需要拆卸输液管进行清洗时，将螺母旋拧下来，然后向外抽动螺杆使螺杆的端部脱离出固定板一表面开设的通口，设于固定板二表面通口中的定位块处于防脱槽中，定位块有效防止螺杆的丢失，有效提高其使用效果，将输液管向外拔出即可对其进行清洗。
附图说明
[0018]图1为本技术主体结构示意图；
[0019]图2为本技术管道连接结构示意图；
[0020]图3为本技术管道内部连接结构示意图；
[0021]图4为本技术螺杆结构示意图；
[0022]图5为本技术定位块结构示意图；
[0023]图6为图3中A处结构放大示意图。
[0024]图中：1进液管、2固定板一、3螺杆、4固定板二、5输液管、6半导体生产设备主体、7定位板、8防脱槽、9定位块、10定位槽、11橡胶块。
具体实施方式
[0025]为了使本专利技术的目的、技术方案进行清楚、完整地描述，及优点更加清楚明白，以下结合附图对本专利技术实施例进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例，仅仅用以解释本专利技术实施例，并不用于限定本专利技术实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1
‑
图6，本技术提供一种技术方案：一种半导体生产设备上输液系统的管道对接结构。
[0026]实施例一：
[0027]为了增加输液管5和进液管1连接的便利性，在输液管5的内壁表面固定连接有定位板7，定位板7的一端贯穿出输液管5的端部，且进液管1的外端部表面开设有定位槽10，且定位槽10呈环形状，且输液管5的内端部表面固定连接有橡胶块11，橡胶块11呈环形状，且橡胶块11和定位槽10相匹配，且橡胶块11插入在定位槽10中，且橡胶块11抵持在定位槽10的表面上，定位板7呈环形状，且定位板7的外端部设于进液管1中，且定位板7抵持在进液管1的内壁表面，输液管5和进液管1连接时先将定位板7放置到进液管1中，定位板7有效增加输液管5连接的便利性，向内推动输液管5使橡胶块11卡合进定位槽10中，橡胶块11有效增加输液管5和进液管1之间的密封性，有效提高其使用效果。
[0028]实施例二：
[0029]在实施例一的基础上，为了实现输液管5和进液管1之间连接的更加稳固，在进液管1的表面固定连接有固定板一2，固定板一2的表面开设有通口，输液管5的表面固定连接
有固定板二4，固定板二4的表面开设有通口，螺杆3的一端设有外螺纹，固定板一2表面开设的通口共设有多个，多个通口呈均匀分布，固定板二4表面开设的通口和固定板一2表面开设的通口相对应，将螺杆3的端部推入进固定板一2表面开设的通口中，然后使用螺母螺接在螺杆3的端部实现对螺杆3的固定，螺杆3有效对输液管5和进液管1连接起到固定作用。
[0030]实施例三：
[0031]在实施例二的基础上，为了实现拆卸输液管5进行清洗时螺杆3不发生丢失的状况，在螺杆3的表面开设有防脱槽8，进液管1固定连接在半导体生产设备主体6上，且进液管1和半导体生产设备主体6内部相通，螺杆3设于固定板二4表面开设的通口中，且定位块9设于防脱槽8中，且螺杆3的一端贯穿出固定板一2表面开设的通口，且螺母螺接在螺杆3端部设有的外螺纹上，当需要拆卸输液管5进行清洗时，将螺母旋拧下来，然后向外抽动螺杆3使螺杆3的端部脱离出固定板一2表面开设的通口，设于固定板二4表面通口中的定位块9处于防脱槽8中，定位块9有效防止螺杆3的丢失，有效提高其使用效果，将输液管5向外拔出即可对其进行清洗。
[0032]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产设备上输液系统的管道对接结构，其特征在于：所述半导体生产设备上输液系统的管道对接结构包括；进液管(1)；进液管(1)的表面固定连接有固定板一(2)，固定板一(2)的表面开设有通口，且进液管(1)的外端部表面开设有定位槽(10)；输液管(5)；输液管(5)的表面固定连接有固定板二(4)，固定板二(4)的表面开设有通口，通口的表面上方固定连接有定位块(9)，且输液管(5)的内端部表面固定连接有橡胶块(11)，且输液管(5)的内壁表面固定连接有定位板(7)，定位板(7)的一端贯穿出输液管(5)的端部；及螺杆(3)；螺杆(3)的一端设有外螺纹，且螺杆(3)的表面开设有防脱槽(8)。2.根据权利要求1所述的一种半导体生产设备上输液系统的管道对接结构，其特征在于：所述进液管(1)固定连接在半导体生产设备主体(6)上，且进液管(1)和半导体生产设备主体(6)内部相通。3.根据权利要求1所述的一种半导体生产设备上输液系统的管道对接结构，其特征在于：所述固定板一(2)表面开设的通口共设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵国飞，瞿稚华，郭甫，
申请(专利权)人：合肥博朗特半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：