温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及管道对接技术领域，具体为一种半导体生产设备上输液系统的管道对接结构包括；进液管，固定板一，定位槽，输液管，固定板二，定位块，橡胶块，定位板，螺杆，防脱槽；有益效果为：当需要拆卸输液管进行清洗时，将螺母旋拧下来，然后向外抽动螺杆...
该专利属于合肥博朗特半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥博朗特半导体设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。