本申请公开了一种真空镀膜抽真空装置，涉及抽真空装置的技术领域，包括和待抽真空设备相连的真空管，所述真空管一端设置有两条和所述真空管连通的连接管，两条所述连接管远离所述真空管一端连接有滑阀真空泵，所述滑阀真空泵包括用于排气的排气室，及用于吸取空气的操作室，所述排气室内设置有吸音结构，所述操作室外可拆卸套设有用于减少所述操作室振动的减振罩。本申请能够抽真空装置占用空间更小。本申请能够抽真空装置占用空间更小。本申请能够抽真空装置占用空间更小。
【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜抽真空装置
[0001]本申请涉及抽真空装置的
，尤其是涉及一种真空镀膜抽真空装置。
技术介绍
[0002]在一些生产工艺中，例如PVD工艺，会包括真空蒸发或真空镀膜的步骤，需要使用抽真空设备用于抽真空。
[0003]参照图6，为相关技术中的一种抽真空装置，包括和待抽真空设备相连的真空管3，真空管3上连接有四条连接管31，四条连接管31通过法兰盘分别和一个旋叶式真空泵2相连。
[0004]在实现本申请过程中，专利技术人发现该技术中至少存在如下问题：上述抽真空装置占用空间较大，当在较小空间内或者用地面积有限时，不方便用于抽真空。
技术实现思路
[0005]为了使得抽真空装置占用空间更小，本申请提供一种真空镀膜抽真空装置。
[0006]本申请提供一种真空镀膜抽真空装置，采用如下的技术方案：
[0007]一种真空镀膜抽真空装置，包括和待抽真空设备相连的真空管，所述真空管一端设置有两条和所述真空管连通的连接管，两条所述连接管远离所述真空管一端连接有滑阀真空泵，所述滑阀真空泵包括用于排气的排气室，及用于吸取空气的操作室，所述排气室内设置有吸音结构，所述操作室外可拆卸套设有用于减少所述操作室振动的减振罩。
[0008]通过采用上述技术方案，通过两个抽真空效率较高的滑阀真空泵替换四个旋叶式真空泵，使得占用空间更小，且使得真空管的长度得以缩短，减少真空管内存储的空气量及空气行走的路程长度，从而起到提高效率的作用，通过设置吸音结构减少滑阀真空泵产生的噪音，通过设置减振罩减少操作室的振动以及由于操作室的振动产生的噪音。
[0009]可选的，所述排气室包括可拆卸连接的第一安装罩和第二安装罩，所述第二安装罩位于所述第一安装罩正上方，所述第一安装罩开设有供气体进入的进气口，所述第二安装罩开设有供气体排出的出气口。
[0010]通过采用上述技术方案，吸音结构设置在排气室内，且排气室通过第一安装罩和第二安装罩可拆卸连接的方式连接，便于安装和处置吸音结构，且进气口位置较低，出气口位置较高，当气体排出时可以更好的和吸音结构接触。
[0011]可选的，所述吸音结构包括设置在所述排气室内相平行的多条遮挡条，所述遮挡条包括一端固定在所述第一安装罩远离第二安装罩内壁上的第一遮挡条，以及一端固定在所述第二安装罩远离所述第一安装罩内壁的第二遮挡条，所述第一遮挡条和第二遮挡条形成供气流蛇形流动的通道，所述进气口和出气口分别设置在所述排气室相对的两内侧壁内。
[0012]通过采用上述技术方案，通过第一遮挡条和第二遮挡条分隔排气室，在气体在蛇形流动时，移动距离增长，且不断和第一遮挡条和第二遮挡条碰撞，从而起到消减噪音的作
用。
[0013]可选的，相邻所述第一遮挡条和第二遮挡条相向的表面上设置有第一吸音层。
[0014]通过采用上述技术方案，通过设置第一吸音层在气体流动及和第一吸音层碰撞时，可以将部分噪音吸收。
[0015]可选的，所述排气室外壁上设置有用于覆盖所述出气口的排气道，所述排气道沿远离所述排气室方向向下倾斜，所述排气道内壁上设置第二吸音层。
[0016]通过采用上述技术方案，气流通过排气道时可以和在第二吸音层进行接触或反弹，从而进一步起到降噪的作用。
[0017]可选的，所述减振罩包括位于所述操作室外侧的遮挡罩，及位于所述遮挡罩外侧的外罩，所述外罩和遮挡罩相邻的侧壁相平行，所述遮挡罩侧壁上开设有多个第一通孔，所述第一通孔内滑动连接有用于抵接至所述操作室外壁的抵接杆，所述抵接杆外壁上固定连接有抵接沿，所述抵接沿位于所述外罩和遮挡罩之间，且所述外罩内壁和抵接沿之间设置有套设在所述抵接杆外的弹簧，当所述抵接杆抵接至操作室外壁时，所述弹簧处于压缩状态。
[0018]通过采用上述技术方案，抵接杆抵接至操作室外壁上，当操作室振动时，操作室外壁推动抵接杆移动，通过套设在抵接杆外的弹簧的缓冲，起到减少振幅的作用，从而减少振动及振动产生的噪音。
[0019]可选的，所述遮挡罩侧壁朝向所述外罩的表面上抵接有推板，所述推板上开设有供所述抵接杆滑动的第二通孔，所述推板滑动方向垂直于所述朝靠近或远离所述外罩，所述推板用于和所述抵接沿抵接。
[0020]通过采用上述技术方案，当推板朝远离遮挡罩方向移动时，推板可以推动多条的抵接杆一起移动，使得多条抵接杆一起脱离操作室外壁，便于安装罩的安装和拆卸。
[0021]可选的，所述抵接杆和所述操作室抵接的表面设置有弧形面，所述弧形面上设置有弹性垫。
[0022]通过采用上述技术方案，抵接杆设置弧形面，使得抵接杆可以更好的和操作室外壁抵接，通过设置弹性垫起到进一步缓冲的作用，且减少抵接杆和操作室外壁的摩擦，及减少抵接杆和操作室外壁摩擦产生的声音。
[0023]可选的，所述推板上螺纹连接有定位杆，所述减振罩上开设有供所述定位杆插接的插接孔，当所述定位杆插接至所述插接孔内时，和所述推板抵接的所述抵接杆脱离所述操作室。
[0024]通过采用上述技术方案，当推板滑动并推动抵接杆和操作室外壁脱离时，通过将定位杆插接至插接孔内，从而锁定推板的位置，用于同时驱动部分的抵接杆移动，便于减振罩的安装和拆卸。
[0025]可选的，所述减振罩远离所述滑阀真空泵的一侧设置有盖板，所述盖板上开设有供所述定位杆滑动的长孔。
[0026]通过采用上述技术方案，设置盖板使得保护减振罩内部结构，且起到消减操作室振动噪音的作用，定位杆滑动在长孔内，便于移动定位杆和转动定位杆。
[0027]综上所述，本申请包括以下至少一种有益效果：
[0028]1.通过两个抽真空效率较高的滑阀真空泵替换四个旋叶式真空泵，使得占用空间
更小，且使得真空管的长度得以缩短，减少真空管内存储的空气量及空气行走的路程长度，从而起到提高效率的作用，通过设置吸音结构减少滑阀真空泵产生的噪音，通过设置减振罩减少操作室的振动以及由于操作室的振动产生的噪音；
[0029]2.吸音结构设置在排气室内，且排气室通过第一安装罩和第二安装罩可拆卸连接的方式连接，便于安装和处理吸音结构；
[0030]3.通过设置排气道和第二吸音层，气流通过排气道时可以和在第二吸音层进行接触或反弹，从而进一步起到吸音的作用。
附图说明
[0031]图1是本申请实施例的整体结构示意图；
[0032]图2是本申请实施例排气室的整体结构示意图；
[0033]图3是本申请实施例排气室的剖面结构示意图；
[0034]图4是本申请实施例减振罩使用时的局部结构示意图；
[0035]图5是本申请实施例减振罩的剖面结构示意图；
[0036]图6是相关技术中一种抽真空设备的整体结构示意图。
[0037]附图标记说明：1、滑阀真空泵；11、操作室；2、旋叶式真空泵；3、真空管；31、连接管；4、排气室；41、第一安装罩；411、进气口；42、第二安装罩；421、出气口；422、排本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜抽真空装置，包括和待抽真空设备相连的真空管（3），其特征在于：所述真空管（3）一端设置有两条和所述真空管（3）连通的连接管（31），两条所述连接管（31）远离所述真空管（3）一端连接有滑阀真空泵（1），所述滑阀真空泵（1）包括用于排气的排气室（4），及用于吸取空气的操作室（11），所述排气室（4）内设置有吸音结构，所述操作室（11）外可拆卸套设有用于减少所述操作室（11）振动的减振罩（5）。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜抽真空装置，其特征在于：所述排气室（4）包括可拆卸连接的第一安装罩（41）和第二安装罩（42），所述第二安装罩（42）位于所述第一安装罩（41）正上方，所述第一安装罩（41）开设有供气体进入的进气口（411），所述第二安装罩（42）开设有供气体排出的出气口（421）。3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜抽真空装置，其特征在于：所述吸音结构包括设置在所述排气室（4）内相平行的多条遮挡条（43），所述遮挡条（43）包括一端固定在所述第一安装罩（41）远离第二安装罩（42）内壁上的第一遮挡条（431），以及一端固定在所述第二安装罩（42）远离所述第一安装罩（41）内壁的第二遮挡条（432），所述第一遮挡条（431）和第二遮挡条（432）形成供气流蛇形流动的通道（44），所述进气口（411）和出气口（421）分别设置在所述排气室（4）相对的两内侧壁内。4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜抽真空装置，其特征在于：相邻所述第一遮挡条（431）和第二遮挡条（432）相向的表面上设置有第一吸音层（433）。5.根据权利要求2所述的一种真空镀膜抽真空装置，其特征在于：所述排气室（4）外壁上设置有用于覆盖所述出气口（421）的排气道（422），所述排气道（422）沿远离所述排气室（4）方向向下倾斜，所述排气道（422）内壁上设置第二吸音层（423）。6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜抽真...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘保国，
申请(专利权)人：有沣厦门实业有限公司，
类型：新型
国别省市：
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