检测光信号的方法技术

技术编号:3610540 阅读:179 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种检测光信号的方法,包括以下步骤:    通过信号光在p型阱区中产生电子和空穴;    将所述光生电子和空穴中的空穴转移到p型重掺杂掩埋层,该重掺杂掩埋层被掩埋在形成在所述p型阱区中的绝缘栅场效应晶体管的n型源区附近并被以高于所述p型阱区的浓度掺杂,以在所述重掺杂掩埋层中积累所述转移空穴,由此根据所述积累的空穴量改变所述绝缘栅场效应晶体管的阈值电压;    读出所述阈值电压的变化,作为被接收的所述信号光的量。(*该技术在2018年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:三井田高
申请(专利权)人:伊诺太科株式会社
类型:发明
国别省市:

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