一种Ⅱ类超晶格红外探测器单元结构及其制备方法、Ⅱ类超晶格红外焦平面探测器技术

本申请提供一种Ⅱ类超晶格红外探测器单元结构及其制备方法、Ⅱ类超晶格红外焦平面探测器，属于红外探测技术领域。Ⅱ类超晶格红外探测器单元结构，其包括红外探测器外延片、金属接触层和金属连接柱。金属接触层包括依次层叠布置的粘附层、反射层、连接层、第一保护层和第二保护层，粘附层连接于红外探测器外延片。金属连接柱连接于第二保护层。本申请的Ⅱ类超晶格红外探测器单元结构在金属接触层中增加反射层，即将接触电极和反射电极融合，在形成良好欧姆接触的同时，能够通过光反射实现部分损失光的二次吸收，从而提升制作的红外探测器的量子效率，进而优化红外探测器的成像效果。进而优化红外探测器的成像效果。进而优化红外探测器的成像效果。

【技术实现步骤摘要】
一种Ⅱ类超晶格红外探测器单元结构及其制备方法、Ⅱ类超晶格红外焦平面探测器


[0001]本申请涉及红外探测
，具体而言，涉及一种Ⅱ类超晶格红外探测器单元结构及其制备方法、Ⅱ类超晶格红外焦平面探测器。

技术介绍

[0002]由于具有可穿透烟雾、抗干扰能力强以及全天候工作等特点，红外探测器在国防和国民经济等多个领域得到了广泛应用。随着新需求的不断发展，长波红外探测器呈现良好的市场前景。碲镉汞红外探测器具有量子效率高、响应速度快等优点，已成为目前应用最为广泛的红外探测器。但碲镉汞红外探测器在长波波段存在均匀性差、成品率低和成本高的问题，导致高性能长波红外探测器难以得到广泛应用。
[0003]Ⅱ类超晶格红外探测器是近年来兴起的一种新型红外探测器，它具有以下几个特点：(1)材料带隙可调，光谱响应可覆盖2μm～30μm波长范围；(2)独特的能带结构决定其具有较大的电子有效质量，并且随着探测波长的增大，电子有效质量却几乎保持不变；在长波红外波段，其电子有效质量约为碲镉汞材料的3倍，导致此类探测器隧穿电流小；(3)通过应变调节能带结构，可以降低俄歇本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种Ⅱ类超晶格红外探测器单元结构，其特征在于，所述Ⅱ类超晶格红外探测器单元结构包括：红外探测器外延片；金属接触层，所述金属接触层包括依次层叠布置的粘附层、反射层、连接层、第一保护层和第二保护层，所述粘附层连接于所述红外探测器外延片；金属连接柱，所述金属连接柱连接于所述第二保护层。2.根据权利要求1所述的Ⅱ类超晶格红外探测器单元结构，其特征在于，所述反射层由Ag或Al制成。3.根据权利要求1所述的Ⅱ类超晶格红外探测器单元结构，其特征在于，所述粘附层为Ni层，所述反射层为Ag层，所述连接层为Ni层，所述第一保护层为Pt层，所述第二保护层为Au层；可选地，所述粘附层的厚度为5nm～20nm。4.根据权利要求1所述的Ⅱ类超晶格红外探测器单元结构，其特征在于，所述粘附层为Ti层，所述反射层为Al层，所述连接层为Ti层，所述第一保护层为Pt层，所述第二保护层为Au层；可选地，所述粘附层的厚度为5nm～20nm。5.根据权利要求1所述的Ⅱ类超晶格红外探测器单元结构，其特征在于，所述粘附层为ITO层，所述反射层为Al层，所述连接层为Ti层，所述第一保护层为Pt层，所述第二保护层为Au层...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛建凯，张培峰，雷宇，宫联国，许多，苏莹，李斌，文晋，冯伟，朱坤，赵毅，徐文艾，
申请(专利权)人：太原国科半导体光电研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：