一种电镀装置及系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种电镀装置及系统,包括：一个电镀槽、电镀槽內包括一個或以上的电镀区域。每一個电镀区域內配置有整流机组件、阳极导体组件和电镀工件载具，在电镀工件载具上配置了电流传感器、开关式电流控制器和与开关式电流控制器电气连接的无线模块；整流机组件的正极与阳极导体组件电气连接，整流机组件的负极与电镀工件载具电气连接，电镀工件载具用于放置电镀工件，电镀槽放置有电镀液，开关式电流控制器的输出端与电镀工件载具电气连接，无线模块与终端进行通讯，以实现控制器与终端之间实现数据交互；因本发明专利技术实现了可对每一件电镀工件的独立电镀电流的监控，所以本发明专利技术解决了各电镀工件之间电镀金属的厚度差异大的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种电镀装置及系统


[0001]本专利技术涉及电镀领域，特别涉及一种电镀装置及系统。

技术介绍

[0002]在金属电镀的工艺中，电镀设备会给电镀工件的表面电镀上一层金属。电镀机器包含一个或已上的电镀槽，每槽内盛有电镀液。在每一个电镀槽内，会配置有一个或以上的电镀载具，用于放置电镀工件，且所述电镀载具用于连接电源的阴极，电镀槽内还会配置有阳极导体，其通过电镀液构成一个回路，使得电流从阳极流向阴极。电镀液内的金属离子便会得到电流中的电离子而使其还原成金属原子并附在电镀工件的表面上。
[0003]在大量生产时，电镀设备会给一个电镀槽内的多个电镀工件同时进行电镀，但由于每个载具的电阻的差异，这会使在同一电镀槽内的不同电镀工件有不同的电流经过，因而使各电镀工件之间有一定电镀金属量的差异。有鉴于此，提出本申请。

技术实现思路

[0004]本专利技术公开了一种电镀装置及系统，旨在解决现有同一个电镀槽内的电镀工件在同时进行电镀时，各电镀工件之间的电镀金属厚度差异大的问题。
[0005]本专利技术第一实施例提供了一种电镀装置，包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电镀装置,其特征在于，包括：一个电镀槽、电镀槽內包括一個或以上的电镀区域，每一個电镀区域內配置有整流机组件、阳极导体组件和电镀工件载具，在电镀工件载具上配置了电流传感器、开关式电流控制器和与开关式电流控制器电气连接的无线模块；其中，所述整流机组件的正极与所述阳极导体组件电气连接，所述整流机组件的负极与所述电镀工件载具电气连接，所述电镀工件载具用于放置电镀工件，所述电镀槽用于放置电镀液，所述开关式电流控制器的输出端与所述整流机组件电气连接，所述无线模块用于与终端进行通讯，以实现所述控制器与终端之间实现数据交互；其中，每一所述电镀区域之间是互相电连通。2.根据权利要求1所述的一种电镀装置,其特征在于，所述阳极导体组件包括第一阳极导体、以及第二阳极导体；其中，所述第一阳极导体配置在所述电镀槽内的第一区域，所述第二阳极导体配置在所述电镀槽内的第二区域...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵汝谦，
申请(专利权)人：赵汝谦，
类型：发明
国别省市：