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本发明提供了一种电镀装置及系统,包括：一个电镀槽、电镀槽內包括一個或以上的电镀区域。每一個电镀区域內配置有整流机组件、阳极导体组件和电镀工件载具，在电镀工件载具上配置了电流传感器、开关式电流控制器和与开关式电流控制器电气连接的无线模块；整流...
该专利属于赵汝谦所有，仅供学习研究参考，未经过赵汝谦授权不得商用。

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