硅片测试设备用取放料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了硅片测试设备用取放料装置，包括操作台，所述操作台内部设有升降装置，所述升降装置包括清洗槽、电动机、电动推杆、第一连接板、第二放置板和固定板，所述操作台顶部设有调节装置，所述调节装置包括固定座、支撑柱、第一连接块、旋转组件和第二连接块，所述第二连接块顶部设有取放装置，所述取放装置包括第一机械臂、第二连接板、第二机械臂、第三连接块、吸嘴架和防磨垫，所述操作台顶部固定安装有第一放置板，所述操作台顶部开设有清洗槽，所述清洗槽内设有电动机，该硅片测试设备用取放料装置，不再仅限于水平角度的取放，使其取放的角度更加的多角度化，增加了硅片取放的空间，方便将清洗好的硅片进行下一步操作。操作。操作。

【技术实现步骤摘要】
硅片测试设备用取放料装置


[0001]本技术涉及硅片取放料
，具体为硅片测试设备用取放料装置。

技术介绍

[0002]经检索，中国专利授权号为CN 213264577 U的专利，公开了硅片传送设备领域，尤其是硅片取放料装置。该取放料装置包括机台、硅片花篮、硅片抬升机构、抓硅片机械手、石英舟、石英舟移动机构、硅片下降机构、花篮移动机构、定位机构，所述机台上安装有花篮移动机构、硅片抬升机构、抓硅片机械手、石英舟移动机构、硅片下降机构，机台上设有用于穿过硅片抬升机构的穿孔和用于穿过硅片下降机构的穿孔，石英舟移动机构上安装有用于定位石英舟的定位机构。本技术通过硅片花篮将一叠硅片水平移动至取料工位。通过硅片抬升机构将硅片从硅片花篮中升出。通过抓硅片机械手将升出的硅片抓走并放置到石英舟内。通过硅片下降机构将硅片沉入石英舟内。本申请提高了硅片取放料的工作效率。
[0003]上述专利存在以下不足：
[0004]现有的硅片测试设备用取放料装置只能进行水平的取放，无法将取放的硅片进行角度上的调整，导致硅片取放的地方受到限制，不能够很好地进行下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.硅片测试设备用取放料装置，其特征在于：包括操作台(1)，所述操作台(1)内部设有升降装置(3)，所述升降装置(3)包括清洗槽(31)、电动机(32)、电动推杆(33)、第一连接板(34)、第二放置板(35)和固定板(36)，所述操作台(1)顶部设有调节装置(4)，所述调节装置(4)包括固定座(41)、支撑柱(42)、第一连接块(43)、旋转组件(44)和第二连接块(45)，所述第二连接块(45)顶部设有取放装置(5)，所述取放装置(5)包括第一机械臂(51)、第二连接板(52)、第二机械臂(53)、第三连接块(54)、吸嘴架(55)和防磨垫(56)，所述操作台(1)顶部固定安装有第一放置板(2)。2.根据权利要求1所述的硅片测试设备用取放料装置，其特征在于：所述操作台(1)顶部开设有清洗槽(31)，所述清洗槽(31)内设有电动机(32)，所述电动机(32)顶部通过输出轴连接有电动推杆(33)，所述电动推杆(33)顶部焊接有第一连接板(34)。3.根据权利要求2所述的硅片测试设备用取放料装置，其特征在于：所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：高波，祝伟，
申请(专利权)人：苏州工业园区鸿齐科技有限公司，
类型：新型
国别省市：