一种机械抓手和移载设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种机械抓手和移载设备，包括底板，所述底板上设置有夹取机构，所述夹取机构包括至少两个相对于中心轴镜像对称布置的夹爪和用于驱动所述夹爪沿第一轴的轴向相互靠近或背离的驱动源，每个夹爪包括用于连接所述驱动源且沿第一轴的轴向延伸的连接部和设置于所述连接部上的多个沿第一轴的轴向平行间隔布置的夹持部，相邻两个夹持部的高度不相等。本实用新型专利技术不仅结构简单，而且能够适配多种不同尺寸的物料盘的抓取。适配多种不同尺寸的物料盘的抓取。适配多种不同尺寸的物料盘的抓取。

【技术实现步骤摘要】
一种机械抓手和移载设备


[0001]本技术属于移载设备
，具体公开了一种机械抓手和移载设备。

技术介绍

[0002]在半导体、显示以及新能源等测试领域，待测物料一般放在物料盘进行流转。以晶圆的生产过程为例，晶圆的检测过程是必不可少的，其往往关系着晶圆后续使用的可靠性和准确性。晶圆切割成晶粒后，晶粒装载于物料盘的槽格内，一般由机械手将物料盘抓取再搬运到检测工位。对晶粒进行自动光学检测时需要对晶粒特定表面进行检测，因此晶粒在搬运过程中其朝向如果发生翻转则对后段检测工序有不利的影响。此外在物料盘搬运过程中由于振动或升降速度变化等原因晶粒容易从槽格内脱离散落，造成物料损失影响检测工作的顺利进行。由于产品的多样性，为了满足物料的转运，物料盘的尺寸各种各样，现有的抓取机构一般通过一对夹爪的相对运动夹取不同大小的物料盘，但夹爪行程有限，故需要针对不同尺寸物料盘匹配不同长度的夹爪，故在不同尺寸物料盘的自动化共线生产时需要人工或机械切换夹爪，其不仅成本高(因为每个型号的物料盘需要匹配一个长度的夹爪，否则当物料盘的宽度大于夹爪之间的最大间距时会造成无法抓取的问题)，且夹爪切换工序会消耗一定的工时，不利于快速的自动化加工。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中存在的技术问题，本技术提供了一种机械抓手和移载设备，其不仅结构简单，而且能够适配多种不同尺寸的物料盘的抓取。
[0004]本技术公开了一种机械抓手，包括底板，所述底板上设置有夹取机构，所述夹取机构包括至少两个相对于中心轴镜像对称布置的夹爪和用于驱动所述夹爪沿第一轴的轴向相互靠近或背离的驱动源，每个夹爪包括用于连接所述驱动源且沿第一轴的轴向延伸的连接部和设置于所述连接部上的多个沿第一轴的轴向平行间隔布置的夹持部，相邻两个夹持部的高度不相等。
[0005]本技术公开了一种机械抓手，包括底板，所述底板上设置有夹取机构，所述夹取机构包括至少两个相对于中心轴镜像对称布置的夹爪和用于驱动所述夹爪沿第一轴的轴向相互靠近或背离的驱动源，每个夹爪包括用于连接所述驱动源且沿第一轴的轴向延伸的连接部，所述连接部上设置沿第一轴的轴向延伸布置的滑动导向组件，所述滑动导向组件的移动端连接有夹持部。
[0006]在本技术的一种优选实施方案中，所述连接部所在的平面与中心轴垂直布置，所述夹持部所在的平面与第一轴垂直布置，中心轴与第一轴相互垂直布置。
[0007]在本技术的一种优选实施方案中，所述夹持部包括两个相对于所述连接部对称布置的夹持板，每个夹持板的朝向所述中心轴的一侧端面上设置有沿第二轴的轴向延伸的夹持槽，第一轴的轴向、第二轴的轴向和中心轴三者两两相互垂直布置。
[0008]在本技术的一种优选实施方案中，所述底板上连接有沿所述中心轴的轴向延
伸的弹性浮动单元，所述弹性浮动单元的下端连接有压板单元，所述夹取机构位于所述底板和所述压板单元之间。
[0009]在本技术的一种优选实施方案中，所述弹性浮动单元包括设置于所述底板上的导向孔和滑动配合安装于所述导向孔内的导向柱，所述导向柱上套装有弹簧，所述导向柱的端部连接有所述压板单元。
[0010]在本技术的一种优选实施方案中，所述压板单元包括用于连接所述弹性浮动单元的安装板和用于与物料盘配合的压板，所述压板可拆卸地连接于所述安装板上。
[0011]在本技术的一种优选实施方案中，所述安装板和/或所述压板上设置有用于实现两者连接的磁性吸附组件。
[0012]在本技术的一种优选实施方案中，所述底板连接有用于调节其空间位置的线性模组。
[0013]本技术还公开了一种移载设备，其使用了前述的机械抓手。
[0014]本技术的有益效果是：本技术具有结构简单、兼容性好、夹持稳定性高的优点，本技术提供了两种夹爪的结构设计：结构1：每个夹爪包括用于连接驱动源且沿第一轴的轴向延伸的连接部和设置于连接部上的多个沿第一轴的轴向平行间隔布置的夹持部，相邻两个夹持部中远离中心轴的夹持部的高度＞靠近中心轴的夹持部的高度；结构2：每个夹爪包括用于连接驱动源且沿第一轴的轴向延伸的连接部，连接部上设置沿第一轴的轴向延伸布置的滑动导向组件，滑动导向组件的移动端连接有夹持部，上述两种技术方案均能够在不改变原有驱动源的行程、不切换原有夹爪的前提下完成物料盘的抓取，结构1 只需要控制底板沿升降适配即可，结构2只需要基于滑动导向组件调节一对夹爪之间的间距即可，上述两种夹爪结构具有结构简单、便于装配的优点；
[0015]进一步的，本技术的连接部所在的平面与中心轴垂直布置，夹持部所在的平面与第一轴垂直布置，中心轴与第一轴相互垂直布置，使得夹爪更利于标准化批量制造；
[0016]进一步的，本技术的夹持部包括两个相对于连接部对称布置的夹持板，每个夹持板的朝向中心轴的一侧端面上设置有沿第二轴的轴向延伸的夹持槽，第一轴的轴向、第二轴的轴向和中心轴三者两两相互垂直布置，该技术方案更利于夹爪与物料盘的夹持，提高夹持的稳定性；
[0017]进一步的，本技术的底板上连接有沿中心轴的轴向延伸的弹性浮动单元，弹性浮动单元的下端连接有压板单元，夹取机构位于底板和压板单元之间，压板单元的存在能够配合物料盘在Z轴向对位于物料盘内的晶粒进行压持限位，防止物料盘搬运过程中由于振动或升降速度变化等原因晶粒从物料盘的槽格内脱离散落，造成物料损失影响检测工作的顺利进行；
[0018]进一步的，本技术的弹性浮动单元包括设置于底板上的导向孔和滑动配合安装于导向孔内的导向柱，导向柱上套装有弹簧，导向柱的端部连接有压板单元，该结构设计具有结构简单、便于装配的优点；
[0019]进一步的，本技术公开的压板单元包括用于连接弹性浮动单元的安装板和用于与物料盘配合的压板，压板可拆卸地连接于安装板上，其可以根据物料盘的大小选配压板，提高本技术的兼容性；
[0020]进一步的，本技术的安装板和/或压板上设置有用于实现两者连接的磁性吸
附组件，磁性吸附组件更利于压板的快速替换，提高本技术的兼容性；
[0021]进一步的，本技术的底板连接有用于调节其空间位置的线性模组，该结构可以实现机械手空间位置的调节；
[0022]进一步的，本技术的移载设备，包括机械抓手，其具有抓取方便、结构简单、易于控制的优点，在满足应用需要的同时且最大程度的降低了制造成本，同时其还可以有效防止物料在搬运过程中脱离及散落，使得抓取搬运更稳定。
附图说明
[0023]图1是本技术一种机械抓手的示意图；
[0024]图2是本技术一种机械抓手的侧视图；
[0025]图3是本技术一种机械抓手的夹爪结构示意图；
[0026]图中：1
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底板；2
‑
夹取机构；3
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夹爪；4
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驱动源；5
‑
中心轴；6
‑
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械抓手，包括底板(1)，所述底板(1)上设置有夹取机构(2)，所述夹取机构(2)包括至少两个相对于中心轴(5)镜像对称布置的夹爪(3)和用于驱动所述夹爪(3)沿第一轴的轴向相互靠近或背离的驱动源(4)，其特征在于：每个夹爪(3)包括用于连接所述驱动源(4)且沿第一轴的轴向延伸的连接部(3.1)和设置于所述连接部(3.1)上的多个沿第一轴的轴向平行间隔布置的夹持部(3.2)，相邻两个夹持部(3.2)的高度不相等。2.一种机械抓手，包括底板(1)，所述底板(1)上设置有夹取机构(2)，所述夹取机构(2)包括至少两个相对于中心轴(5)镜像对称布置的夹爪(3)和用于驱动所述夹爪(3)沿第一轴的轴向相互靠近或背离的驱动源(4)，其特征在于：每个夹爪(3)包括用于连接所述驱动源(4)且沿第一轴的轴向延伸的连接部(3.1)，所述连接部(3.1)上设置沿第一轴的轴向延伸布置的滑动导向组件，所述滑动导向组件的移动端连接有夹持部(3.2)。3.根据权利要求1或2所述的机械抓手，其特征在于：所述连接部(3.1)与中心轴(5)垂直布置，所述夹持部(3.2)与第一轴垂直布置，中心轴(5)与第一轴垂直布置。4.根据权利要求1或2所述的机械抓手，其特征在于：所述夹持部(3.2)包括两个相对于所述连接部(3.1)对称布置的夹持板(3.2
‑
1)，每个夹持板(3.2
‑

【专利技术属性】
技术研发人员：肖治祥，朱涛，
申请(专利权)人：武汉精测电子集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：