一种高精度平面度测量设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高精度平面度测量设备，包括安装平台、设置在所述安装平台上的支撑平台、移动机构和设置在所述移动机构上的测微计，所述测微计位于所述支撑平台上方，所述支撑平台底部设置有用于调节所述支撑平台水平度的调平机构。测微计用于测量待测产品的水平度，支撑平台用于对待测产品进行支撑，移动机构用于驱动测微计进行移动，进而实现对待测产品不通过位点上的平整度测量，保证测量的准确性。准确性。准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度平面度测量设备


[0001]本技术涉及平面度测量
，更具体地说，涉及一种高精度平面度测量设备。

技术介绍

[0002]传感器的玻璃金属封装，通常采用光学玻璃或透镜作为光信号传输接口，使用高品质玻璃或透镜对于顺利和精确传输信号很重要，在这其中，玻璃或透镜的平整度要求也至关重要，通过测量平整度这样的方法能有效控制及避免产品在生产过程中遇到的一些不平整问题，减少损失。现有的平整度测量设备在使用中测量装置的移动灵活性低，无法实现对待测产品多方位高效率的测量，使得测量效率低。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种高精度平面度测量设备，用以解决上述
技术介绍
中存在的技术问题。
[0004]本技术技术方案一种高精度平面度测量设备，包括安装平台、设置在所述安装平台上的支撑平台、移动机构和设置在所述移动机构上的测微计，所述测微计位于所述支撑平台上方，所述支撑平台底部设置有用于调节所述支撑平台水平度的调平机构；
[0005]所述移动机构包括第一移动组件、设置在所述第一移动组件上的第二移动组件和设置在所述第二移本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度平面度测量设备，其特征在于：包括安装平台、设置在所述安装平台上的支撑平台、移动机构和设置在所述移动机构上的测微计，所述测微计位于所述支撑平台上方，所述支撑平台底部设置有用于调节所述支撑平台水平度的调平机构；所述移动机构包括第一移动组件、设置在所述第一移动组件上的第二移动组件和设置在所述第二移动组件上的升降移动组件，所述测微计固定在所述升降移动组件上，所述第一移动组件驱动所述第二移动组件沿X轴方向运动，所述第二移动组件驱动升降移动组件沿Y轴方向移动，所述升降移动组件驱动所述测微计沿Z轴方向移动。2.根据权利要求1所述的一种高精度平面度测量设备，其特征在于：所述第一移动组件包括第一电动滑轨，所述第二移动组件包括第二电动滑轨，所述第一电动滑轨和所述第二电动滑轨通过连接座连接，所述连接座分别与所述第一电动滑轨的滑块和所述第二电动滑轨的滑块均固定连接，且与所述第一电动滑轨和第二电动滑轨的框架均滑动卡接。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡阳，陶晓军，
申请(专利权)人：合肥卓华智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：