一种机械手臂用真空吸盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种机械手臂用真空吸盘，涉及真空吸盘技术领域，包括吸盘，所述吸盘的顶面圆心位置贯穿有圆柱腔，所述吸盘的侧面开设有卡槽，所述吸盘的底面靠近圆柱腔外围位置固定连接有凸面卡点；通过在吸盘设置的凸面卡点，在放真空时，凸面卡点会形成破真空排气管道，提高破真空效率，吸盘与集成电路芯片的晶圆背面会形成短暂的虹吸效应，虹吸效应会导致气体在圆柱腔内快速流动，而导致圆柱腔内压低，此时凸面卡点可以起到支撑作用，防止吸盘内陷，从而保证吸盘不会从机械手臂安装面脱落。落。落。

【技术实现步骤摘要】
一种机械手臂用真空吸盘


[0001]本技术涉及真空吸盘
，具体涉及一种机械手臂用真空吸盘。

技术介绍

[0002]在集成电路芯片表面溅镀金属膜前，需进行真空手臂传送进制程舱体做高压水清洗制程做业，在清洗完后由于真空手臂上的吸盘设计，会因特定晶圆变翘曲量变化导致机器臂上真空呈现闭环状况，如附图4所示，形成闭环后真空吸盘在释放真空时会发生虹吸效应，虹吸效应会导致气体在圆柱腔内快速流动，而导致圆柱腔内压低，吸盘会内陷，脱离与真空手臂的接触，造成真空异常或者真空吸盘脱落；
[0003]因此，需要一种机械手臂用真空吸盘，可以在放真空时，避免虹吸效应导致真空异常或者真空吸盘脱落。

技术实现思路

[0004]为了克服上述的技术问题，本技术的目的在于提供一种机械手臂用真空吸盘，通过在吸盘设置的凸面卡点，在放真空时，凸面卡点会形成破真空排气管道，提高破真空效率，吸盘与集成电路芯片的晶圆背面会形成短暂的虹吸效应，虹吸效应会导致气体在圆柱腔内快速流动，而导致圆柱腔内压低，此时凸面卡点可以起到支撑作用，防止吸盘内陷，从而保证吸盘不会从机械手臂安装面脱落。
[0005]本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0006]一种机械手臂用真空吸盘，包括吸盘，所述吸盘的顶面圆心位置贯穿有圆柱腔，所述吸盘的侧面开设有卡槽，所述吸盘的底面靠近圆柱腔外围位置固定连接有凸面卡点。
[0007]作为本技术进一步的方案：所述卡槽为圆环形。
[0008]作为本技术进一步的方案：所述凸面卡点的数量为若干个，若干所述凸面卡点呈圆环形等距排列，呈圆环形等距排列的凸面卡点可以保证吸盘的底面受力均匀，使吸盘在机械手臂安装面的安装槽内更加稳定。
[0009]作为本技术进一步的方案：所述吸盘的顶面为弧形凹面，调整弧形凹面的弧度，增大弧形凹面的面积。
[0010]作为本技术进一步的方案：所述吸盘的底部设有机械手臂安装面，所述机械手臂安装面的表面靠近吸盘的位置开设有与吸盘相互契合的安装槽，所述凸面卡点的底面与安装槽的底面接触。
[0011]本技术的有益效果：通过在吸盘设置的凸面卡点，在放真空时，凸面卡点会形成破真空排气管道，提高破真空效率，吸盘与集成电路芯片的晶圆背面会形成短暂的虹吸效应，虹吸效应会导致气体在圆柱腔内快速流动，而导致圆柱腔内压低，此时凸面卡点可以起到支撑作用，防止吸盘内陷，从而保证吸盘不会从机械手臂安装面脱落。
附图说明
[0012]下面结合附图对本技术作进一步的说明。
[0013]图1是本技术中吸盘的结构示意图；
[0014]图2是本技术中吸盘的俯视图；
[0015]图3是图2中A
‑
A处的剖面图；
[0016]图4是现有技术中吸盘的结构示意图。
[0017]图中：1、吸盘；11、圆柱腔；12、卡槽；13、凸面卡点；2、机械手臂安装面；21、安装槽。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]如图1
‑
图3所示，一种机械手臂用真空吸盘，该机械手臂用真空吸盘包括吸盘1，吸盘1的顶面圆心位置贯穿有圆柱腔11，吸盘1的底面靠近圆柱腔11外围位置固定连接有凸面卡点13，吸盘1的顶面为弧形凹面，吸盘1的侧面开设有卡槽12，卡槽12为圆环形，吸盘1的底部设有机械手臂安装面2，机械手臂安装面2的表面靠近吸盘1的位置开设有与吸盘1相互契合的安装槽21，凸面卡点13的底面与安装槽21的底面接触；
[0020]工作时，吸盘1受到挤压，会吸合在集成电路芯片表面，通过圆柱腔11抽空吸盘1与集成电路芯片之间的空气，使吸盘1在大气压的作用下紧紧吸住集成电路芯片，当机械手臂将集成电路芯片运输至指定位置后，可以对安装槽21内冲入空气，使吸盘1与集成电路芯片分离，在吸盘1底面设置的凸面卡点13会形成破真空排气管道，提高破真空效率，在放真空时，吸盘1与集成电路芯片的晶圆背面会形成短暂的虹吸效应，虹吸效应会导致气体在圆柱腔11内快速流动，而导致圆柱腔11内压低，此时凸面卡点13可以起到支撑作用，防止吸盘1内陷，从而保证吸盘1不会从机械手臂安装面2脱落。
[0021]凸面卡点13的数量为若干个，若干凸面卡点13呈圆环形等距排列；
[0022]呈圆环形等距排列的凸面卡点13可以保证吸盘1的底面受力均匀，使吸盘1在机械手臂安装面2的安装槽21内更加稳定。
[0023]本技术的工作原理：通过机械手臂控制吸盘1，使吸盘1向集成电路芯片表面挤压，在吸盘1接触到集成电路芯片表面后，吸真空，通过圆柱腔11抽空吸盘1与集成电路芯片之间的空气，使吸盘1在大气压的作用下紧紧吸住集成电路芯片，然后在通过机械手臂将集成电路芯片运输至指定位置，对安装槽21内冲入空气，使吸盘1与集成电路芯片分离，在吸盘1底面设置的凸面卡点13会形成破真空排气管道，在放真空时，吸盘1与集成电路芯片的晶圆背面会形成短暂的虹吸效应，虹吸效应会导致气体在圆柱腔11内快速流动，而导致圆柱腔11内压低，此时凸面卡点13可以起到支撑作用，防止吸盘1内陷。
[0024]以上对本技术的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本技术的较佳实施例，不能被认为用于限定本技术的实施范围。凡依本技术申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本技术的专利涵盖范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手臂用真空吸盘，包括吸盘(1)，所述吸盘(1)的顶面圆心位置贯穿有圆柱腔(11)，所述吸盘(1)的侧面开设有卡槽(12)，其特征在于，所述吸盘(1)的底面靠近圆柱腔(11)外围位置固定连接有凸面卡点(13)。2.根据权利要求1所述的一种机械手臂用真空吸盘，其特征在于，所述卡槽(12)为圆环形。3.根据权利要求1所述的一种机械手臂用真空吸盘，其特征在于，所述凸面卡点(13)的数量为若干个，...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭炜棠，杜俊坤，林文浩，
申请(专利权)人：合肥新汇成微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：