一种用于光掩模的防静电破坏结构制造技术

本申请提供了一种用于光掩模的防静电破坏结构，属于光掩模技术领域，具体包括用于光掩模防静电破坏结构，包括设置在光掩模客户图形区周围的抗静电环，抗静电环设置为沿客户图形区外周的绝缘的闭环结构，抗静电环用于防止静电放电破坏客户图形区；与抗静电环的外周相隔一定距离处设有电荷释放区，电荷释放区设置为条形结构，条形结构的一端始于光掩模的第一边，条形结构的另一端始于光掩模的第二边，第一边与第二边为相对边，电荷释放区用于将静电产生的电荷引到客户图形区外进行释放。通过本申请的处理方案，有效保护光掩模客户图形区，提高了芯片的良率。提高了芯片的良率。提高了芯片的良率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光掩模的防静电破坏结构


[0001]本申请涉及光掩模
，尤其涉及一种用于光掩模防静电破坏结构。

技术介绍

[0002]光掩模生产及使用过程会与生产设备、储存盒、操作人员相接触，因摩擦产生或传导静电，产生的电荷通过光掩模表面金属铬传导进入客户图形区域 (如图1)，最终聚集在线宽及间距较小的地方发生“爆炸”，从而导致光掩模图形的毁损(如图2)。而光掩模作为生产芯片之模板,其图形的毁损终将造成芯片报废，从而带来高额的损失，因此需要一种设计来引导电荷集中在客户图形区域外释放。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请实施例提供一种用于光掩模防静电破坏结构，至少部分解决现有技术中存在的由于静电作用导致光掩模图形毁损的问题。
[0004]本申请实施例提供一种用于光掩模防静电破坏结构，包括设置在光掩模客户图形区周围的抗静电环，所述抗静电环设置为沿所述客户图形区外周的绝缘的闭环结构，所述抗静电环用于防止静电放电破坏所述客户图形区；与所述抗静电环的外周相隔一定距离处设有电荷释放区，所述电荷释放区设置为条形结构，所述条形结构的一端始于所述光掩模的第一边，所述条形结构的另一端始于所述光掩模的第二边，所述第一边与所述第二边为相对边，所述电荷释放区用于将静电产生的电荷引到所述客户图形区外进行释放。
[0005]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述电荷释放区内包括设计图形区和放电棒，所述设计图形区的图案具有标识性；所述放电棒的一端与所述设计图形区的边缘连接，所述放电棒的另一端与所述电荷释放区的边缘相隔一定距离，所述放电棒用于吸引电荷并在所述放电棒尖端放电。
[0006]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述放电棒设置为多个，多个所述放电棒均匀平行排列布置。
[0007]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述放电棒与相邻放电棒之间的间距小于等于1000nm。
[0008]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述设计图形区的面积大于等于 4倍所述放电棒的面积。
[0009]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述放电棒的另一端与所述电荷释放区的边缘相隔的距离小于1μm。
[0010]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述放电棒的宽度小于等于 1000nm，所述放电棒的长度大于4倍的所述放电棒的宽度。
[0011]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述电荷释放区设置为两个，两个所述电荷释放区分别位于所述光掩模的一相对侧的边缘。
[0012]有益效果
[0013]本申请实施例中的用于光掩模防静电破坏结构，通过设置电荷释放区，可将电荷引入客户图形区域外的放电棒提前释放，而不会传到客户图形区，以保证光掩模图形质量，并且在客户图形区域周围还有一圈绝缘的抗静电环来阻止电荷进入，起到二次保护的作用，更进一步的保护了光掩模的客户图形区域的良好性，降低了图形毁损的概率，提升光掩模品质及使用年限,并为芯片客户端创造极大利益。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0015]图1为现有技术的静电传递示意图；
[0016]图2为现有技术的静电在尖端放电示意图；
[0017]图3为根据本技术一实施例的用于光掩模防静电破坏结构示意图；
[0018]图4为根据本技术一实施例的用于光掩模防静电破坏结构的电荷释放区的结构示意图。
[0019]图中：1、光掩模；2、抗静电环；3、电荷释放区；31、设计图形区；32、放电棒；4、客户图形区。
具体实施方式
[0020]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0021]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0022]要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目个方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
[0023]还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0024]另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的
技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。
[0025]本申请实施例提供了一种用于光掩模防静电破坏结构，下面参照图3和图 4进行详细描述。
[0026]参照图3，本实施例的用于光掩模防静电破坏结构，包括设置在光掩模1 的客户图形区4周围的抗静电环2，抗静电环2设置为沿客户图形区4外周的绝缘的闭环结构，抗静电环2用于防止静电放电破坏客户图形区4；与抗静电环2的外周相隔一定距离处设有电荷释放区3，电荷释放区3设置为条形结构，条形结构的一端始于光掩模1的第一边，条形结构的另一端始于光掩模1 的第二边，第一边与第二边为相对边，电荷释放区3用于将静电产生的电荷引到客户图形区4外进行释放。需要解释的是，本实施例中所描述的客户图形区 4即为布置的电路图区域。
[0027]在上述实施例中，光掩模1的制作会曝掉有颜色的区域，最终留下没有曝到的金属铬，光掩模1生产过程中产生或传导静电，随之产生的电荷会沿着金属铬传导进入客户图形区4，最终聚集在线宽及间距较小的地方发生“爆炸”，从而导致光掩模图形的毁损。通过设置电荷释放区3，可以将电荷引入客户图形区4外提前释放，而不会传到客户图形区4，以保证光掩模图形的质量。为了更进一步保护客户图形区4，在客户图形区4的外周围还有一圈绝缘的抗静电环2来阻止电荷进入，起到二次保护的作用。
[0028]在一个实施例中，电荷释放区3内包括设计图形区31和放电棒32，设计图形区3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光掩模的防静电破坏结构，其特征在于，包括设置在光掩模客户图形区周围的抗静电环，所述抗静电环设置为沿所述客户图形区外周的绝缘的闭环结构，所述抗静电环用于防止静电放电破坏所述客户图形区；与所述抗静电环的外周相隔一定距离处设有电荷释放区，所述电荷释放区设置为条形结构，所述条形结构的一端始于所述光掩模的第一边，所述条形结构的另一端始于所述光掩模的第二边，所述第一边与所述第二边为相对边，所述电荷释放区用于将静电产生的电荷引到所述客户图形区外进行释放。2.根据权利要求1所述的用于光掩模的防静电破坏结构，其特征在于，所述电荷释放区内包括设计图形区和放电棒，所述设计图形区的图案具有标识性；所述放电棒的一端与所述设计图形区的边缘连接，所述放电棒的另一端与所述电荷释放区的边缘相隔一定距离，所述放电棒用于吸引电荷并在所述放电棒尖端放电。3.根据权利要求2所述的用于光掩模的防静...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭贵琦，张家玮，韦丽萍，
申请(专利权)人：广州新锐光掩模科技有限公司，
类型：新型
国别省市：