一种用于调节半导体阀门位置的夹具制造技术

本申请涉及阀门夹具的技术领域，尤其涉及一种用于调节半导体阀门位置的夹具，其技术方案是：包括连接体，所述连接体包括固定块与卡接组件，所述卡接组件设置在固定块外侧壁上，所述卡接组件用于包裹真空阀门外侧壁，所述固定块的底壁用于抵接真空阀门顶部，所述固定块底部中心出设置有让位凹槽；所述卡接组件包括固定卡接块与调节卡接块，所述固定卡接块与调节卡接块的底部均设有卡爪，所述调节卡接块的侧壁上设有调节螺杆，所述固定块的侧壁上设有供调节螺杆穿设的调节螺孔，所述调节螺杆上设有螺纹连接的调节螺母；本申请具有适应不同大小真空阀门大小。小真空阀门大小。小真空阀门大小。

【技术实现步骤摘要】
一种用于调节半导体阀门位置的夹具


[0001]本技术涉及阀门夹具的
，特别是涉及一种用于调节半导体阀门位置的夹具。

技术介绍

[0002]真空阀门是指在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件。
[0003]真空阀门在使用一段时间后，需要对真空阀门进行检测或者维修，检测维修的过程中对真空阀门进行拆卸处理，但由于真空阀门内设有弹簧，安装常规的拆卸方法，在松动螺丝后，设置在阀门内的弹簧在自身弹性的作用下，弹射阀体，进而造成了一定危险。因此在有效拆卸真空阀门的前提下，还要保证减小对真空阀门损伤，进而本申请提供了一种用于调节半导体阀门位置的夹具。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供了一种用于调节半导体阀门位置的夹具。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0006]一种用于调节半导体阀门位置的夹具，包括连接体，所述连接体包括固定块与卡接组件，所述卡接组件设置在固定块外侧壁上，所述卡接组件用于包裹真空阀门外侧壁，所述固定块的底壁用于抵接真空阀门顶部，所述固定块底部中心出设置有让位凹槽；
[0007]所述卡接组件包括固定卡接块与调节卡接块，所述固定卡接块与调节卡接块的底部均设有卡爪，所述调节卡接块的侧壁上设有调节螺杆，所述固定块的侧壁上设有供调节螺杆穿设的调节螺孔，所述调节螺杆上设有螺纹连接的调节螺母；
[0008]所述让位凹槽用于包裹真空阀门顶部数据线。
[0009]优选的，所述调节卡接块上设有调节件，所述调节件包括套设在调节螺杆上的调节弹簧，所述调节螺孔设置为阶梯状，所述调节螺孔包括调节孔与固定孔，所述调节弹簧设置的调节孔内。
[0010]优选的，所述调节件还包括设置在调节卡接块侧壁上的调节块，所述调节块穿设在调节螺杆上，所述调节块上设有供调节螺杆穿设的安装孔。
[0011]优选的，所述调节块的侧壁上还有橡胶层。
[0012]优选的，所述卡爪上用于夹持真空阀门的一侧设有保护垫。
[0013]优选的，所述让位凹槽包括设置在固定块中心轴处的圆形凹槽，还包括连通圆形凹槽的直线凹槽。
[0014]优选的，所述连接体的外周侧设置有均匀分布的定位凹槽，所述定位凹槽用于拆卸底部真空阀门。
[0015]优选的，所述连接体的底部设置有缓冲橡胶垫。
[0016]本技术的有益效果：
[0017]1、在拆卸真空阀门时，将连接体放置到真空阀门的顶部，并利用调节卡接块对真空阀门的顶部外周侧进行调节卡接，使得连接体固定在真空阀门顶部，进而连接体顶部的压缩机向下压缩连接体顶部，在拆卸真空阀门后，由于顶部设置有连接体，使得真空阀门内的弹簧不会在弹性作用下直接弹出，进而达到保护真空阀门的效果；
[0018]2、利用可调节设置的调节卡接块，使得连接体的底部能够适应不同大小的真空阀门，提高连接体的适应性；
[0019]3、通过调节件的设置，采用调节弹簧穿设在调节孔内，转动调节螺母使得调节卡接块跟随移动，进而改变两个相对卡爪的距离，以适应不同大小的真空阀门。
附图说明
[0020]图1为本申请实施例的整体结构示意图；
[0021]图2为本申请实施例的整体结构俯视图；
[0022]图3为本申请实施例的整体结构仰视图。
[0023]其中，1、连接体；11、缓冲橡胶垫；2、固定块；3、卡接组件；31、固定卡接块；32、调节卡接块；321、调节螺杆；322、调节螺孔；323、调节螺母；33、卡爪；331、保护垫；34、调节件；341、调节弹簧；342、调节块；343、安装孔；344、橡胶层；36、调节孔；37、固定孔；4、让位凹槽；41、圆形凹槽；42、直线凹槽；5、定位凹槽。
具体实施方式
[0024]为了加深对本技术的理解，下面将结合实施例对本技术做进一步详细描述，该实施例仅用于解释本技术，并不对本技术的保护范围构成限定。
[0025]实施例：
[0026]参考图1，为本申请公开的一种用于调节半导体阀门位置的夹具，包括连接体1，连接体1由固定块2与卡接组件3两部分组成，固定块2用于放置在真空阀门顶部，使得顶部的压缩机压缩固定块2顶部，防止拆卸后真空阀门内的弹簧弹出；卡接组件3卡接组件3设置在固定块2外侧壁上，且卡接组件3用于适应不同大小的真空阀门。
[0027]参考图1至图3，卡接组件3包括固定卡接块31与调节卡接块32，固定卡接块31与调节卡接块32的底部均设有用于包真空阀门顶部的卡爪33，通过对调节卡接块32的长度调节，进而适应不同真空阀门的效果。调节卡接块32的侧壁上设有调节螺杆321，固定块2的侧壁上设有供调节螺杆321穿设的调节螺孔322，将调节螺杆321穿设到调节螺孔322内，并在调节螺杆321上设置螺纹连接的调节螺母323，利用调节螺母323对穿设后的调节螺杆321进行的紧固处理。
[0028]调节卡接块32上设有调节件34，调节件34包括套设在调节螺杆321上的调节弹簧341，将调节螺孔322设置为调节孔36与固定孔37两部分。且调节孔36与固定孔37呈阶梯状设置，调节弹簧341设置的调节孔36内，且调节弹簧341的一侧抵接在调节卡接块32的侧壁上，另一侧抵接在调节孔36的侧壁上，进而转动调节螺母323使得调节卡接块32的长度进行控制，使得调节卡接块32完整的夹持在真空阀门两侧。同时卡爪33上设有用于夹持真空阀门的一侧设有保护垫331，减小夹持过程中对真空阀门的损伤。
[0029]参考图1至图3，调节件34还包括设置在调节卡接块32侧壁上的调节块342，调节块
342穿设在调节螺杆321上，调节块342上设有供调节螺杆321穿设的安装孔343，通过更换不同厚度的调节块342，使得调节卡接块32能够包裹不同大小的真空阀门。调节块342的侧壁上还有橡胶层344，提高调节块342连接的紧密性。
[0030]连接体1的外周侧设置有均匀分布的定位凹槽5，定位凹槽5便于拆卸底部的真空阀门。固定块2底部中心出设置有让位凹槽4，让位凹槽4用于包裹真空阀门顶部数据线，进而便于露出真空阀门顶部的螺栓，便于拆卸真空阀门，连接体1的底部设置有缓冲橡胶垫11。让位凹槽4包括设置在固定块2中心轴处的圆形凹槽41，还包括连通圆形凹槽41的直线凹槽42。
[0031]上述实施例不应以任何方式限制本技术，凡采+用等同替换或等效转换的方式获得的技术方案均落在本技术的保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于调节半导体阀门位置的夹具，其特征在于：包括连接体(1)，所述连接体(1)包括固定块(2)与卡接组件(3)，所述卡接组件(3)设置在固定块(2)外侧壁上，所述卡接组件(3)用于包裹真空阀门外侧壁，所述固定块(2)的底壁用于抵接真空阀门顶部，所述固定块(2)底部中心出设置有让位凹槽(4)；所述卡接组件(3)包括固定卡接块(31)与调节卡接块(32)，所述固定卡接块(31)与调节卡接块(32)的底部均设有卡爪(33)，所述调节卡接块(32)的侧壁上设有调节螺杆(321)，所述固定块(2)的侧壁上设有供调节螺杆(321)穿设的调节螺孔(322)，所述调节螺杆(321)上设有螺纹连接的调节螺母(323)；所述让位凹槽(4)用于包裹真空阀门顶部数据线。2.根据权利要求1所述的一种用于调节半导体阀门位置的夹具，其特征在于：所述调节卡接块(32)上设有调节件(34)，所述调节件(34)包括套设在调节螺杆(321)上的调节弹簧(341)，所述调节螺孔(322)设置为阶梯状，所述调节螺孔(322)包括调节孔(36)与固定孔(37)，所述调节弹簧(341)设置的调节孔(36)内。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：禹哲明，
申请(专利权)人：苏州澳科泰克半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：