一种半导体阀门连接件制造技术

本申请涉及阀门连接件的技术领域，尤其涉及一种半导体阀门连接件，其技术方案是：一种半导体阀门连接件，包括连接管道，所述连接管道长度方向一侧设置有连接组件，所述连接组件用于连接真空阀门，所述连接管道上远离连接组件的一侧用于连接气密性检测设备；所述连接组件包括连接管嘴和连接紧固件，所述连接管嘴固定设置在连接管道长度方向一侧，所述连接管嘴的外侧壁上设置有连接螺纹，所述连接管嘴用于连接真空阀门；所述连接紧固件包括设置套设在连接管道外侧的紧固环套，所述紧固环套螺纹设置在连接管道的外侧壁上；本申请具有提高真空阀门与气密性检测设备连接的密封性，提高对真空阀门检测的准确性。空阀门检测的准确性。空阀门检测的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体阀门连接件


[0001]本技术涉及阀门连接件的
，特别是涉及一种半导体阀门连接件。

技术介绍

[0002]真空阀门是指在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件。
[0003]真空阀门在使用一端时间后，需要对真空阀门进行维修检测处理，并在维修检测后对真空阀门进行气密性检测，在进行气密性检测的过程中，需要通过管道连接气密性检测设置，使得气密性检测设备向真空阀门内通入气体，通过检测真空阀门内气压状态，判断真空阀门的气密性。但是由于真空阀门的种类比较多，在连接的过程中容易出现松懈现象，进而影响了真空阀门在气密性件检测过程中准确性，进而需要提高连接真空阀门的密封性，使得检测的准确性得到提高。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供了一种半导体阀门连接件。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0006]一种半导体阀门连接件，包括连接管道，所述连接管道长度方向一侧设置有连接组件，所述连接组件用于连接真空阀门，所述连接管道上远离连接组件的一侧用于连接气密性检测设备；
[0007]所述连接组件包括连接管嘴和连接紧固件，所述连接管嘴固定设置在连接管道长度方向一侧，所述连接管嘴的外侧壁上设置有连接螺纹，所述连接管嘴用于连接真空阀门；
[0008]所述连接紧固件包括设置套设在连接管道外侧的紧固环套，所述紧固环套螺纹设置在连接管道的外侧壁上。
[0009]优选的，所述连接紧固件还包括固定设置在紧固环套侧壁上的环形紧固垫，所述环形紧固垫用于连接环形紧固垫与真空阀门。
[0010]优选的，所述紧固环套包括用于螺纹连接在连接管道外侧壁的紧固环，还包括设置在紧固环外侧壁上的紧固片，所述环形紧固垫设置在紧固片的侧壁上，所述紧固片上设有多个均匀分布的磁吸块。
[0011]优选的，所述连接管嘴的外侧壁上还有环形凹槽，所述环形凹槽上设置有外密封圈。
[0012]优选的，所述连接管道内与连接管嘴的一侧设置有内密封圈。
[0013]优选的，所述连接管道上远离连接管嘴的一侧设有连接环，所述连接环包括固定设置在连接管道外侧壁上的内连接环，还包括对应内连接环的外连接环，所述外连接环上设有用于连接内连接环的连接螺栓。
[0014]优选的，所述外连接环用于连接气密性检测设备，所述外连接环的侧壁上设置有密封垫。
[0015]本技术的有益效果：
[0016]1、通过连接紧固件的设置，在连接管嘴与真空阀门连接后，旋转紧固环向真空阀门方向移动，并紧贴在真空阀门的侧壁上，提高连接管嘴与真空阀门连接紧密性的效果，使得检测准确性得到提高；
[0017]2、在紧固环旋转后与真空阀门连接，使得真空阀门与连接管道的密封性得到提高，通过磁吸块的设置，使得紧固环吸附在真空阀门的连接处，避免紧固环出现滑丝现象，进一步提高连接的密封性。
附图说明
[0018]图1为本申请实施例的整体结构示意图；
[0019]图2为本申请实施例的连接紧固件的剖视图；
[0020]图3为本申请实施例的侧视图。
[0021]其中，1、连接管道；2、连接组件；21、连接管嘴；211、连接螺纹；22、连接紧固件；221、紧固环；222、紧固片；223、环形紧固垫；224、磁吸块；23、外密封圈；24、内密封圈；31、内连接环；32、外连接环；4、密封垫。
具体实施方式
[0022]为了加深对本技术的理解，下面将结合实施例对本技术做进一步详细描述，该实施例仅用于解释本技术，并不对本技术的保护范围构成限定。
[0023]实施例：
[0024]参考图1，本申请公开了一种半导体阀门连接件，包括连接管道1，连接管道1长度方向一侧设置有连接组件2，连接组件2包括连接管嘴21和连接紧固件22，连接管嘴21用于连接真空阀门，连接管嘴21上设置有连接螺纹211，将连接螺纹211螺旋连接在真空阀门的连接口处，使得真空阀门与气密性检测设备连接。气密性检测设备向真空阀门内通入气体，观察压力表的状态，根据压力表的压力状态，判断真空阀门的气密性。
[0025]参考图1和图2，连接管嘴21固定设置在连接管道1长度方向一侧，连接管嘴21螺旋进入真空阀门后，利用连接紧固件22对螺纹连接后的连接管嘴21进行紧固处理，使得连接管道1与真空阀门连接的密封性得到提高。连接紧固件22包括设置套设在连接管道1外侧的紧固环套，紧固环套螺纹设置在连接管道1的外侧壁上。连接紧固件22还包括固定设置在紧固环套侧壁上的环形紧固垫223，将环形紧固垫223设置在真空阀门的外侧壁上，减小连接真空阀门后紧固环套对真空阀门造成磨损，同时也是提高连接管嘴21与真空阀门连接的密封效果。
[0026]紧固环套包括紧固环221和紧固片222，紧固环221与连接管道1螺纹连接，紧固片222设置在紧固环221的外侧壁上，且紧固片222用于抵接真空阀门，同时紧固片222与紧固环221一体成型而成。环形紧固垫223设置在紧固片222的侧壁上，紧固片222上设有多个均匀分布的磁吸块224，利用多个磁吸块224对真空阀门进行吸附处理，避免紧固环221在连接管道1的外侧壁上出现打滑现象。
[0027]参考图1至图3，连接管嘴21的外侧壁上还有环形凹槽，环形凹槽上设置有外密封圈23，同时连接管道1内与连接管嘴21的一侧设置有内密封圈24，利用外密封圈23与外密封
圈23的设置，提高连接管道1与真空阀门连接的密封性能。连接管道1上远离连接管嘴21的一侧设有连接环，连接环包括固定设置在连接管道1外侧壁上的内连接环31，还包括对应内连接环31的外连接环32，外连接环32上设有用于连接内连接环31的连接螺栓。外连接环32用于连接气密性检测设备，外连接环32的侧壁上设置有密封垫4，利用密封垫4的设置，提高气密性检测设备与真空阀门连接的紧密性。
[0028]上述实施例不应以任何方式限制本技术，凡采用等同替换或等效转换的方式获得的技术方案均落在本技术的保护范围内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体阀门连接件，其特征在于：包括连接管道(1)，所述连接管道(1)长度方向一侧设置有连接组件(2)，所述连接组件(2)用于连接真空阀门，所述连接管道(1)上远离连接组件(2)的一侧用于连接气密性检测设备；所述连接组件(2)包括连接管嘴(21)和连接紧固件(22)，所述连接管嘴(21)固定设置在连接管道(1)长度方向一侧，所述连接管嘴(21)的外侧壁上设置有连接螺纹(211)，所述连接管嘴(21)用于连接真空阀门；所述连接紧固件(22)包括设置套设在连接管道(1)外侧的紧固环套，所述紧固环套螺纹设置在连接管道(1)的外侧壁上。2.根据权利要求1所述的一种半导体阀门连接件，其特征在于：所述连接紧固件(22)还包括固定设置在紧固环套侧壁上的环形紧固垫(223)，所述环形紧固垫(223)用于连接环形紧固垫(223)与真空阀门。3.根据权利要求2所述的一种半导体阀门连接件，其特征在于：所述紧固环套包括用于螺纹连接在连接管道(1)外侧壁的紧固环(221)，还包括设置在...

【专利技术属性】
技术研发人员：禹哲明，
申请(专利权)人：苏州澳科泰克半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：