一种提升透明导电氧化物电导率和蓝光过滤效率的方法技术

技术编号:35991914 阅读:22 留言:0更新日期:2022-12-17 23:07
本发明专利技术公开了一种提升透明导电氧化物电导率和蓝光过滤效率的方法,所述方法包括如下步骤:将基于氧化铟的透明导电材料置于高压装置的样品腔内,进行如下常温高压处理:在常温常压下对样品加压至51GPa,保持5min后卸压至常压,加压和卸压过程中检测电导率,常温高压处理前后检测蓝光过滤效率。与透明导电氧化物的传统掺杂工艺相比,通过常温高压处理使基于氧化铟的透明导电材料发生由立方结构到刚玉结构的不可逆相变,不仅可以同时提升基于氧化铟的透明导电材料的电导率和蓝光过滤效率,也可以保持在可见光的范围内460~800nm波长的透明度很高,平均透光率超过80%,满足实际应用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种提升透明导电氧化物电导率和蓝光过滤效率的方法


[0001]本专利技术涉及一种提升透明导电氧化物材料性能的方法,具体涉及一种提升透明导电氧化物材料电导率和蓝光过滤效率的方法,适用于太阳能电池、光电子器件、有机发光器件、有机光伏电池和透明场效应晶体管的透明导电氧化物材料。

技术介绍

[0002]同时具有高电导率和高透明度的透明导电氧化物是现代半导体工业中最常用的透明电极材料,其广泛地用于太阳能电池、光电子器件、有机发光器件、有机光伏电池和透明场效应晶体管等领域。元素锡、钛、钼、钨、锆和氢等一种元素掺杂的氧化铟材料已经成为目前应用最广的透明导电氧化物,其作为透明电极的市场价值每年已经超过50亿美元。
[0003]目前,透明导电氧化物的研究热点是协同提高电导率和透明度,进一步提高作为透明电极的使用极限,从而减少应用于半导体器件的能耗。根据德鲁模型,电导率的大小与载流子浓度和载流子迁移率成正比。目前市场上掺杂氧化铟材料主要是在各种不同元素掺杂的氧化物或氧化物的组合前提下,采用磁控溅射、激光聚焦沉积等制备工艺,再结合热处理工艺来得到性能优异的透明导电氧化物。这种传统的制备方法在不改变氧化铟原有的立方结构的前提下,通过各种掺杂元素所引入的额外载流子来增加载流子浓度,进而提升电导率。但是,载流子浓度过高会导致强烈的光吸收,因此透明度会受限于载流子浓度。此外,尽管理论上掺杂引入的最大载流子浓度极高,电离杂质散射的过程也会导致透明导电氧化物材料的载流子迁移率受到的限制。
[0004]最近的报道表明,太阳能电池中的几种高能光诱导降解效应会降低透明导电氧化物材料作为透明电极的效率。蓝光作为一种波长为400~500nm的高能可见光,过度暴露于有害蓝光(400~460nm)可能会对视网膜中的感光细胞造成潜在的损害。因此,在评估透明导电氧化物材料的透明度时,应当重视蓝光的潜在危害。综上所述,如何克服透明导电氧化物材料中高导电性和高透明度之间的折衷并考虑蓝光过滤效率不仅是该材料设计技术的关键障碍,也成为科学家们长期以来研究的一个重要课题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是提供一种提升透明导电氧化物电导率和蓝光过滤效率的方法,使基于氧化铟的透明导电材料作为透明导电氧化物材料具有高电导率和高蓝光过滤效率,应用于太阳能电池、光电子器件、有机发光器件、有机光伏电池和透明场效应晶体管等领域。
[0006]本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的:
[0007]一种提升透明导电氧化物电导率和蓝光过滤效率的方法,包括如下步骤:
[0008]将基于氧化铟的透明导电材料置于高压装置的样品腔内,进行如下常温高压处理:在常温常压下对样品加压至51GPa,保持5min后卸压至常压,加压和卸压过程中检测电导率,常温高压处理前后检测蓝光过滤效率。
[0009]本专利技术中,所述基于氧化铟的透明导电材料包括纯氧化铟和元素锡、钛、钼、钨、锆
和氢中一种元素掺杂的氧化铟,其电导率大于10S/m,在可见光的范围内460~800nm波长的透明度的平均透光率超过75%。
[0010]本专利技术中,所述基于氧化铟的透明导电材料是由溶胶凝胶法制备出的立方结构的纯相钛掺杂氧化铟,具体制备方法如下:将含有原子百分比Ti/(In+Ti)=2.5at.%的钛酸四丁酯(C
16
H
36
O4Ti)的水合硝酸铟(InNO3·
4.5H2O)乙醇溶液与柠檬酸(C6H8O7)乙醇溶液在室温下以体积比1:10混合;然后将混合溶液在50℃下利用磁力搅拌器搅拌,直至形成凝胶;之后将凝胶在烘箱中120℃干燥3h以去除有机物和水;最后将干燥的凝胶在空气气氛中500℃下退火9h后空冷至室温,得到钛掺杂氧化铟材料。在室温常压下,利用范德堡四探针法测试得到电导率为73.17S/m,通过在可见光的400~800nm波长范围内测试透过光谱,计算得到在400~460nm波长范围内的蓝光过滤效率是44.37%,在可见光的范围内460~800nm波长的透明度的平均透光率超过75%。
[0011]本专利技术中,所述高压装置为在密闭的样品腔内能够产生高压的装置,其样品腔由金刚石对顶砧(DAC)和垫片组成,垫片材料采用T301钢片,利用红宝石荧光峰标定压力的大小;垫片打孔后将样品放置于密闭样品腔中;检测电导率时无传压介质,在样品与高压装置产生短路处覆盖绝缘物质作为绝缘层,即:在垫片与金刚石对顶砧的砧面、侧棱接触处覆盖立方氮化硼作为绝缘层,选择4根直径为10μm的金线作为与钛掺杂氧化铟材料接触的电导率测试电极,外部与电导率测试系统连接的电极选择直径为170μm漆包铜线;检测蓝光过滤效率时选择硅油作为传压介质;金刚石对顶砧装置的样品腔内部压力逐步增大,进行电导率和蓝光过滤效率测试。
[0012]本专利技术中,所述电导率测试系统由Keithley 2182A型纳伏电压表、6221型电流源和7001转换器组成的,电导率检测使用范德堡四探针法进行高压下测试。
[0013]本专利技术中,所述检测蓝光过滤效率的方法为利用紫外

可见吸收分光光度计设备,先在可见光的400~800nm波长范围内测试透过光谱,然后计算在蓝光的400~460nm波长范围内的蓝光过滤效率,即:用100%减去在蓝光的400~460nm波长范围内的平均透光率,反推出钛掺杂氧化铟材料的蓝光过滤效率,平均透光率(%)可以通过下式计算:
[0014][0015]式中,T(λ)是特定波长λ的透光率,λ1和λ2分别是最小波长和最大波长;
[0016]在环境条件下,钛掺杂氧化铟与其他元素掺杂的氧化铟一样,通常是立方方铁锰矿型结构,这种结构的掺杂氧化铟已得到充分研究,而其他可能的亚稳态被严重忽视了。考虑到晶体结构的多晶型可以提供不同的物理特性,这些亚稳态材料可以具有热力学稳定相不具备的优异特性。因此,借助常温高压处理方法可以调整结构,从而改变电子结构来提升电导率和蓝光过滤效率。在上述常温高压处理过程中,加压17.5~40.2GPa的阶段,钛掺杂氧化铟发生结构相变,从常压方铁锰矿型结构变成高压刚玉结构;继续加压到51GPa,钛掺杂氧化铟继续保持高压刚玉结果;从51GPa卸压到常压的阶段,并没有观察到可逆的结构相变,高压刚玉结构的钛掺杂氧化铟保留至常压,成为常压下亚稳态。对比常温高压处理前后的电导率和蓝光过滤效率,发现常温高压处理后的钛掺杂氧化铟的电导率提升至6368.85S/m,较常温高压处理前提升87倍;蓝光过滤效率提升至77.02%,较常温高压处理
前提升1.7倍;而且在可见光的范围内的460~800nm波长内的平均透光率仍然很高,超过80%,说明透明度很高。这种常温高压处理导致透明导电氧化物材料电导率和高蓝光过滤效率的提升不但表明压力工程是一种清洁而有效的工具,可以用于定制其他方式无法实现的功能材料,也为推进透明导电氧化技术的发展提供了一个新的方向。
[0017]相比于现有技术,本专利技术具有如下优点:
[0018]1、与透明导电氧化物的传统本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提升透明导电氧化物电导率和蓝光过滤效率的方法,其特征在于所述方法包括如下步骤:将基于氧化铟的透明导电材料置于高压装置的样品腔内,进行如下常温高压处理:在常温常压下对样品加压至51GPa,保持5min后卸压至常压。2.根据权利要求1所述的提升透明导电氧化物电导率和蓝光过滤效率的方法,其特征在于所述基于氧化铟的透明导电材料为纯氧化铟或掺杂锡、钛、钼、钨、锆和氢中一种元素的氧化铟。3.根据权利要求1所述的提升透明导电氧化物电导率和蓝光过滤效率的方法,其特征在于所述基于氧化铟的透明导电材料的电导率大于10S/m,在可见光的范围内460~800nm波长的透明度的平均透光率超过75%。4.根据权利要求1所述的提升透明导电氧化物电导率和蓝光过滤效率的方法,其特征在于所...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨文革刘旭强刘罡李娜娜
申请(专利权)人:北京高压科学研究中心
类型:发明
国别省市:

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