离子浓度检测装置制造方法及图纸

一种离子浓度检测装置，其中离子获取单元，用于获取具有待检测件表面残留离子的待测溶液；与所述离子获取单元相连通的检测单元，用于对所述待测溶液进行检测，以获取所述待检测件表面的残留离子浓度；一方面由于所述离子获取单元与所述检测单元相连通，所述离子获取单元获取了待测溶液之后，直接流通到所述检测单元中进行检测，减少了中间交换容器导致待测溶液污染的问题，确保了检测结果的准确性；另外一方面，待测溶液直接流到所述检测单元中进行检测，节省了检测所需要的时间，大大地提高了检测的效率。了检测的效率。了检测的效率。

【技术实现步骤摘要】
离子浓度检测装置


[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及一种离子浓度检测装置。

技术介绍

[0002]随着半导体制造工艺的发展，半导体芯片的面积越来越小，因此半导体工艺的精度也变得更加重要。在半导体制造工艺中，其中一个重要的工艺就是光刻，光刻是将掩膜版上的图案转移到半导体上的光刻图案的工艺过程。
[0003]掩膜版也称为光罩(mask)，其通常为玻璃质地，当玻璃在制作过程中，其内部可能会混杂一些负离子，负离子主要为酸根离子，例如硫酸根离子(SO
42
‑
)，而且，由于清洗掩膜版会使用酸性溶液，当在清洗掩膜版的过程中，也会将少量负离子残留在掩膜版的表面，负离子主要为酸根离子，例如硫酸根离子(SO
42
‑
)。而空气中有可能存在正离子，常见的为胺根离子(NH
4+
)。当掩膜版长时间曝光于短波长光线下时，在短波长光线的作用下，掩膜版表面残留的负离子和空气中的正离子相结合生成晶体，并析出于掩膜版的表面。根据正、负离子种类的不同，常见的晶体例如为：硫酸铵、磷酸胺、草酸胺等。这些晶体析出后附着在掩膜版的表面，影响了掩膜版图案的精度，也影响了光刻图案的精度。
[0004]然而，现有技术中在检测掩膜版表面上残留的离子浓度方面仍然存在较大的问题。

技术实现思路

[0005]本技术解决的问题是提供一种离子浓度检测装置，以提升掩膜版表面残留离子浓度的准确性和测试速率。
[0006]为解决上述问题，本技术提供一种离子浓度检测装置，包括：离子获取单元，用于获取具有待检测件表面残留离子的待测溶液；与所述离子获取单元相连通的检测单元，用于对所述待测溶液进行检测，以获取所述待检测件表面的残留离子浓度。
[0007]可选的，所述离子获取单元包括：第一容腔，所述第一容腔用于容纳第一溶液，所述待检测件浸没在所述第一溶液内。
[0008]可选的，还包括：导管，所述导管连通所述第一容腔和所述检测单元。
[0009]可选的，所述离子获取单元还包括：位于所述第一容腔内的承载台，用于固定所述待检测件。
[0010]可选的，所述承载台包括承载架和驱动所述承载架旋转的驱动件，所述承载架用于固定所述待检测件。
[0011]可选的，所述离子获取单元还包括第二容腔，所述第一容腔位于所述第二容腔内，所述第一容腔和所述第二容腔之间填充有第二溶液。
[0012]可选的，所述离子获取单元还包括连接所述第二容腔内的支撑柱，所述支撑柱将所述第一容腔固定在所述第二容腔内。
[0013]可选的，所述支撑柱为金属支撑柱。
[0014]可选的，还包括位于所述第二容腔内的加热块，所述加热块位于所述第二容腔的侧壁上。
[0015]可选的，所述第二容腔为金属容腔。
[0016]可选的，所述待检测件包括掩膜版。
[0017]可选的，所述导管为伸缩管。
[0018]可选的，还包括位于所述导管与所述第一容腔之间的控制阀，所述控制阀用于控制所述导管与所述第一容腔之间的通断。
[0019]可选的，所述检测单元为液相色谱仪。
[0020]与现有技术相比，本技术的技术方案具有以下优点：
[0021]本技术技术方案的离子浓度检测装置，其中离子获取单元，用于获取具有待检测件表面残留离子的待测溶液；与所述离子获取单元相连通的检测单元，用于对所述待测溶液进行检测，以获取所述待检测件表面的残留离子浓度；一方面由于所述离子获取单元与所述检测单元相连通，所述离子获取单元获取了待测溶液之后，直接流通到所述检测单元中进行检测，减少了中间交换容器导致待测溶液污染的问题，确保了检测结果的准确性；另外一方面，待测溶液直接流到所述检测单元中进行检测，节省了检测所需要的时间，大大地提高了检测的效率。
附图说明
[0022]图1是本技术实施例中离子浓度检测装置的结构示意图；
[0023]图2是本技术实施例中离子获取单元的内部结构示意图。
具体实施方式
[0024]正如
技术介绍
所述，现有技术中的离子浓度检测装置在使用过程中仍存在诸多问题。
[0025]目前测试掩膜板表面的离子浓度的方法是水浴加热法。先确定好需要测试的清洗流程，使用测试的掩膜板测试一遍清洗流程。在试剂盒里放入适量的去离子水，放入测试所用的掩膜板，再将试剂盒放入水浴加热箱中加热两小时，将试剂盒中的液体装入容量瓶，送去化学分析实验室进行测试。
[0026]专利技术人发现，离子浓度检测在测试流程中需要经过多次的容器转换，容易引入污染导致测试不准确，同时检测的时效性较低，影响了图形传递的准确性，从而降低了形成的半导体器件的性能，一定程度上限制了半导体器件的使用。
[0027]在此基础上，本技术提供一种离子浓度检测装置，利用所述离子获取单元与所述检测单元相连通设计，一方面所述离子获取单元获取了待测溶液之后，直接流通到所述检测单元中进行检测，减少了中间交换容器导致待测溶液污染的问题，确保了检测结果的准确性；另外一方面，待测溶液直接流到所述检测单元中进行检测，节省了检测所需要的时间，大大地提高了检测的效率。
[0028]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施例做详细地说明。
[0029]图1是本技术实施例中离子浓度检测装置的结构示意图；图2是本技术实
施例中离子获取单元的内部结构示意图。
[0030]请参考图1和图2，离子浓度检测装置100，包括离子获取单元101和检测单元102。
[0031]所述离子获取单元101，用于获取具有待检测件104表面残留离子的待测溶液；
[0032]所述检测单元102与所述离子获取单元101相连通，所述检测单元102用于对所述待测溶液进行检测，以获取所述待检测件表面的残留离子浓度。
[0033]在本实施例中，利用所述检测单元102与所述离子获取单元101相连通设置，使得在所述离子获取单元101获取到具有待检测件表面残留离子的待测溶液后，直接传递到所述待检测单元102内，去掉了中间待测溶液的转移过程，一方面减少了中间交换容器导致待测溶液污染的问题，确保了检测结果的准确性；另外一方面待测溶液直接流到所述检测单元中进行检测，节省了检测所需要的时间，大大地提高了检测的效率。
[0034]在本实施例中，所述待检测件104包括掩膜版。
[0035]在其他实施例中，所述待检测件104可以为任何需要检测表面残留离子的待检测件，而不先限定为掩膜版。
[0036]在本实施例中，所述检测单元102为液相色谱仪。
[0037]请参考图2，所述离子获取单元101包括：第一容腔103，所述第一容腔103用于容纳第一溶液108，所述待检测件104浸没在所述第一溶液108内。
[0038]在本实施例中，所述第一溶液108为去离子水。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子浓度检测装置，其特征在于，包括：离子获取单元，用于获取具有待检测件表面残留离子的待测溶液；与所述离子获取单元相连通的检测单元，用于对所述待测溶液进行检测，以获取所述待检测件表面的残留离子浓度。2.如权利要求1所述离子浓度检测装置，其特征在于，所述离子获取单元包括：第一容腔，所述第一容腔用于容纳第一溶液，所述待检测件浸没在所述第一溶液内。3.如权利要求2所述离子浓度检测装置，其特征在于，还包括：导管，所述导管连通所述第一容腔和所述检测单元。4.如权利要求2所述离子浓度检测装置，其特征在于，所述离子获取单元还包括：位于所述第一容腔内的承载台，用于固定所述待检测件。5.如权利要求4所述离子浓度检测装置，其特征在于，所述承载台包括承载架和驱动所述承载架旋转的驱动件，所述承载架用于固定所述待检测件。6.如权利要求2所述离子浓度检测装置，其特征在于，所述离子获取单元还包括第二容腔，所述第一容腔位于所述第二容腔内，所述第一容腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄达，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：