脉冲宽度扩展装置、激光装置和电子器件的制造方法制造方法及图纸

本公开的一个观点的脉冲宽度扩展装置具有：第1延迟光学系统，在第1延迟光学系统中，由第1分束器和多个第1凹面镜构成的第1循环光路被形成于第1平面上；第2延迟光学系统，在第2延迟光学系统中，由第2分束器和多个第2凹面镜构成的第2循环光路被形成于与第1平面平行且与第1平面不同的第2平面上；以及第1射束旋转机构，其被配置于第1延迟光学系统与第2延迟光学系统之间的光路上，使通过第1延迟光学系统后的脉冲激光的射束旋转，以使在第2循环光路中行进的脉冲激光的射束截面形状的长度方向与第2平面正交。第2平面正交。第2平面正交。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】脉冲宽度扩展装置、激光装置和电子器件的制造方法


[0001]本公开涉及脉冲宽度扩展装置、激光装置和电子器件的制造方法。

技术介绍

[0002]近年来，在半导体曝光装置中，随着半导体集成电路的微细化和高集成化，要求分辨率的提高。因此，从曝光用光源放出的光的短波长化得以发展。例如，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长大约为248nm的激光的KrF准分子激光装置、以及输出波长大约为193nm的激光的ArF准分子激光装置。
[0003]KrF准分子激光装置和ArF准分子激光装置的自然振荡光的谱线宽度较宽，为350～400pm。因此，在利用使KrF和ArF激光这种紫外线透过的材料构成投影透镜时，有时产生色差。其结果，分辨率可能降低。因此，需要将从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带化到能够无视色差的程度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内，为了使谱线宽度窄带化，有时具有包含窄带化元件(标准具、光栅等)的窄带化模块(Line Narrow Module：LNM)。下面，将谱线宽度被窄带化的气体激光装置称为窄带化气体激光装置。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2011
‑
176358号
[0007]专利文献2：美国专利第7184204号

技术实现思路

[0008]本公开的1个观点的脉冲宽度扩展装置具有：第1延迟光学系统，其包含第1分束器和多个第1凹面镜，由第1分束器和多个第1凹面镜构成的第1循环光路被形成于第1平面上；第2延迟光学系统，其包含第2分束器和多个第2凹面镜，由第2分束器和多个第2凹面镜构成的第2循环光路被形成于与第1平面平行且与第1平面不同的第2平面上；以及第1射束旋转机构，其被配置于第1延迟光学系统与第2延迟光学系统之间的光路上，使通过第1延迟光学系统后的脉冲激光的射束旋转，以使在第2循环光路中行进的脉冲激光的射束截面形状的长度方向与第2平面正交。
[0009]本公开的另1个观点的激光装置包含：激光振荡器，其输出脉冲激光；以及脉冲宽度扩展装置，其被配置于脉冲激光的光路上，其中，脉冲宽度扩展装置具有：第1延迟光学系统，其包含第1分束器和多个第1凹面镜，由第1分束器和多个第1凹面镜构成的第1循环光路被形成于第1平面上；第2延迟光学系统，其包含第2分束器和多个第2凹面镜，由第2分束器和多个第2凹面镜构成的第2循环光路被形成于与第1平面平行且与第1平面不同的第2平面上；以及第1射束旋转机构，其被配置于第1延迟光学系统与第2延迟光学系统之间的光路上，使通过第1延迟光学系统后的脉冲激光的射束旋转，以使在第2循环光路中行进的脉冲激光的射束截面形状的长度方向与第2平面正交。
[0010]本公开的另1个观点的电子器件的制造方法包含以下工序：通过激光装置生成脉
冲宽度被扩展后的激光；将激光输出到曝光装置；以及在曝光装置内在感光基板上曝光激光，以制造电子器件，激光装置具有：第1延迟光学系统，其包含第1分束器和多个第1凹面镜，由第1分束器和多个第1凹面镜构成的第1循环光路被形成于第1平面上；第2延迟光学系统，其包含第2分束器和多个第2凹面镜，由第2分束器和多个第2凹面镜构成的第2循环光路被形成于与第1平面平行且与第1平面不同的第2平面上；以及第1射束旋转机构，其被配置于第1延迟光学系统与第2延迟光学系统之间的光路上，使通过第1延迟光学系统后的脉冲激光的射束旋转，以使在第2循环光路中行进的脉冲激光的射束截面形状的长度方向与第2平面正交。
附图说明
[0011]下面，参照附图将本公开的若干个实施方式作为简单例子进行说明。
[0012]图1概略地示出比较例的激光装置的结构例。
[0013]图2是概略地示出实施方式1的激光装置的结构的俯视图。
[0014]图3是概略地示出实施方式1的激光装置的结构的主视图。
[0015]图4是概略地示出实施方式1的庞大的光学脉冲展宽器(L
‑
OPS)的结构的立体图。
[0016]图5是概略地示出实施方式2的L
‑
OPS的结构的立体图。
[0017]图6是将一对凹面镜对脉冲激光的传播动作置换为一对凸透镜而示意地示出的图。
[0018]图7示出被应用于L
‑
OPS的射束旋转机构的变形例1。
[0019]图8示出被应用于L
‑
OPS的射束旋转机构的变形例2。
[0020]图9是概略地示出实施方式3的激光装置的结构的俯视图。
[0021]图10是概略地示出实施方式3的激光装置的结构的主视图。
[0022]图11是概略地示出实施方式3的L
‑
OPS的结构的立体图。
[0023]图12概略地示出曝光装置的结构例。
具体实施方式
[0024]‑
目录
‑
[0025]1.比较例的激光装置的概要
[0026]1.1结构
[0027]1.2动作
[0028]1.3课题
[0029]2.实施方式1
[0030]2.1结构
[0031]2.2动作
[0032]2.3 L
‑
OPS的具体例
[0033]2.3.1结构
[0034]2.3.2动作
[0035]2.4作用/效果
[0036]2.5变形例
[0037]3.实施方式2
[0038]3.1结构
[0039]3.2动作
[0040]3.3作用/效果
[0041]4.射束旋转机构的变形例1
[0042]4.1结构
[0043]4.2动作
[0044]4.3作用/效果
[0045]5.射束旋转机构的变形例2
[0046]5.1结构
[0047]5.2动作
[0048]5.3作用/效果
[0049]6.实施方式3
[0050]6.1结构
[0051]6.2动作
[0052]6.3 L
‑
OPS的具体例
[0053]6.3.1结构
[0054]6.3.2动作
[0055]6.4作用/效果
[0056]6.5变形例
[0057]7.关于电子器件的制造方法
[0058]8.其他
[0059]下面，参照附图对本公开的实施方式进行详细说明。以下说明的实施方式示出本公开的几个例子，不限定本公开的内容。此外，各实施方式中说明的结构和动作并不一定全都是本公开的结构和动作所必须的。另外，对相同结构要素标注相同参照标号并省略重复说明。
[0060]1.比较例的激光装置的概要
[0061]1.1结构
[0062]图1概略地示出比较例的激光装置2的结构例。本公开的比较例是申请人认识到仅申请人知道的方式，不是申请人自己承认的公知例。激光装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种脉冲宽度扩展装置，其具有：第1延迟光学系统，其包含第1分束器和多个第1凹面镜，由所述第1分束器和所述多个第1凹面镜构成的第1循环光路被形成于第1平面上；第2延迟光学系统，其包含第2分束器和多个第2凹面镜，由所述第2分束器和所述多个第2凹面镜构成的第2循环光路被形成于与所述第1平面平行且与所述第1平面不同的第2平面上；以及第1射束旋转机构，其被配置于所述第1延迟光学系统与所述第2延迟光学系统之间的光路上，使通过所述第1延迟光学系统后的脉冲激光的射束旋转，以使在所述第2循环光路中行进的脉冲激光的射束截面形状的长度方向与所述第2平面正交。2.根据权利要求1所述的脉冲宽度扩展装置，其中，所述脉冲宽度扩展装置还具有返回传播光学系统，该返回传播光学系统传播通过所述第2延迟光学系统后的脉冲激光，被形成于所述返回传播光学系统内的光路被形成于与所述第2平面为同一平面的平面上。3.根据权利要求2所述的脉冲宽度扩展装置，其中，所述返回传播光学系统由多个镜构成。4.根据权利要求1所述的脉冲宽度扩展装置，其中，在所述第1延迟光学系统的前级还具有第2射束旋转机构，所述第2射束旋转机构使入射到所述第1延迟光学系统的脉冲激光的射束旋转，以使在所述第1循环光路中行进的脉冲激光的射束截面形状的长度方向与所述第1平面正交。5.根据权利要求4所述的脉冲宽度扩展装置，其中，所述第2射束旋转机构包含2枚以上的镜。6.根据权利要求1所述的脉冲宽度扩展装置，其中，所述第1延迟光学系统包含4枚以上的所述第1凹面镜。7.根据权利要求1所述的脉冲宽度扩展装置，其中，所述第1延迟光学系统配置有偶数组相互面对地配置的一对所述第1凹面镜。8.根据权利要求1所述的脉冲宽度扩展装置，其中，所述第2延迟光学系统包含4枚以上的所述第2凹面镜。9.根据权利要求1所述的脉冲宽度扩展装置，其中，所述第2延迟光学系统配置有偶数组相互面对地配置的一对所述第2凹面镜。10.根据权利要求1所述的脉冲宽度扩展装置，其中，所述第1射束旋转机构包含2枚以上的镜。11.根据权利要求1所述的脉冲宽度扩展装置，其中，所述第1射束旋转机构包含4枚以上的镜。12.根据权利要求11所述的脉冲宽度扩展装置，其中，构成所述第1射束旋转机构的所述4枚以上的镜中的至少一个镜的入射光和反射光所成的角度是45度。13.根据权利要求1所述的脉冲宽度扩展装置，其中，所述脉冲宽度扩展装置被配置于输出所述脉冲激光的激光装置的背面。
14.根据权利要求1所述的脉冲宽度扩展装置，其中，所述第1平面与重力方向平行。15.根据权利要求1所述的脉冲宽度扩展装置，其中，设n和m分别为2以上的整数，所述第1延迟光学系统包含2n枚所述第1凹面镜，所述第2延迟光学系统包含2m枚所述第2凹面...

【专利技术属性】
技术研发人员：大贺仁，松本慎一，宫本浩孝，
申请(专利权)人：极光先进雷射株式会社，
类型：发明
国别省市：