一种高精密半导体激光器的快轴准直系统及其应用技术方案

本发明专利技术涉及一种高精密半导体激光器的快轴准直系统及其应用，属于半导体快轴准直技术领域。包括气浮平台、视觉系统、COS定位加电系统、高精度六轴运动控制系统和光束质量分析系统，气浮平台上设置有高精度六轴运动控制系统，高精度六轴运动控制系统一侧设置有COS定位加电系统，COS定位加电系统一侧设置有视觉系统，COS定位加电系统出光侧设置有光束质量分析系统。本发明专利技术通过光束质量分析系统和视觉系统实时控制调整准直透镜六个方向的位置，实现半导体激光器快轴准直的自动化，提高了准直精度，避免了人工操作，提高了生产效率。提高了生产效率。提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种高精密半导体激光器的快轴准直系统及其应用


[0001]本专利技术涉及一种高精密半导体激光器的快轴准直系统及其应用，属于半导体快轴准直


技术介绍

[0002]半导体激光器由于体积小、重量轻、转换效率高、使用寿命长等优点，在医疗、显示、泵浦、工业加工等领域有广泛的应用。近年来，随着半导体材料外延生长技术、半导体激光波导结构优化技术、腔面钝化技术、高稳定性封装技术、高效散热技术的飞速发展，特别是在直接半导体激光工业加工应用以及大功率光纤激光器抽运需求的推动下，高功率、高光束质量的半导体激光器飞速发展。
[0003]半导体激光器中的发光芯片所发出的光束为发散的椭圆光束，平行于发光面的方向为慢轴方向，发散角约为10
°
，垂直于发光面的方向为快轴方向，发散角可达到40
°
，激光器发光芯片在快轴上的发散角较大，为有效保证半导体激光器的发光质量，必须利用快轴透镜对发光芯片所发出的光束进行快轴准直。
[0004]传统的激光器快轴准直一般是利用手动夹具将快轴准直透镜放置在COS前腔面，然后手动调节六本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精密半导体激光器的快轴准直系统，其特征在于，包括气浮平台、视觉系统、COS定位加电系统、高精度六轴运动控制系统和光束质量分析系统，气浮平台上设置有高精度六轴运动控制系统，高精度六轴运动控制系统一侧设置有COS定位加电系统，COS定位加电系统一侧设置有视觉系统，COS定位加电系统出光侧设置有光束质量分析系统。2.如权利要求1所述的高精密半导体激光器的快轴准直系统，其特征在于，高精度六轴运动控制系统的操作台上设置有夹持器。3.如权利要求2所述的高精密半导体激光器的快轴准直系统，其特征在于，夹持器包括夹持台，夹持台上设置有2个弹性夹持片。4.如权利要求2所述的高精密半导体激光器的快轴准直系统，其特征在于，COS定位加电系统包括气缸、定位装置、导电装置、连接板、固定夹、紫外汞灯和固定座，固定座顶面上设置有定位装置，固定座侧面设置有气缸，气缸连接有连接板，连接板为L型板，连接板顶端两侧分别设置有固定夹，固定夹内设置有紫外汞灯，连接板顶端中间位置固定有导电装置，导电装置位于定位装置上方。5.如权利要求4所述的高精密半导体激光器的快轴准直系统，其特征在于，定位装置为L型安装台，定位装置设置于固定座顶面一侧。6.如权利要求4所述的高精密半导体激光器的快轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏菲菲，秦华兵，
申请(专利权)人：山东华光光电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：