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本发明涉及一种高精密半导体激光器的快轴准直系统及其应用，属于半导体快轴准直技术领域。包括气浮平台、视觉系统、COS定位加电系统、高精度六轴运动控制系统和光束质量分析系统，气浮平台上设置有高精度六轴运动控制系统，高精度六轴运动控制系统一侧设置...
该专利属于山东华光光电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东华光光电子股份有限公司授权不得商用。

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